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公开(公告)号：CN1697768A
公开(公告)日：2005-11-16
申请号：CN200480000436.5
申请日：2004-04-26
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 冈平裕幸
CPC classification number: H01L21/68778 , B65G49/064 , B65G49/065 , H01L21/6838
Abstract: 本发明在使基板(2)上浮的状态下，利用升降机构(6)，使设置在支承构件(10)的前端上的接触构件(13)上升，使该接触构件(13)接触基板(2)的背面，从而限制上浮的基板(2)的移动。
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公开(公告)号：CN1828280B
公开(公告)日：2011-07-13
申请号：CN200610057689.7
申请日：2006-02-24
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 冈平裕幸
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明的课题是提供能够识别因光源或光学元件等的不良因素造成的伪缺陷和基板本身的真缺陷的外观检查装置、及使用该装置的外观检查方法。作为解决手段，本发明的外观检查装置(1)通过观察照射到基板(6)的表面(6a)上的照明光的反射光进行基板(6)的检查，使光源(2)、以及使从光源(2)射出的光的方向偏转的第2反射镜(3)和第1反射镜(4)、或会聚偏转后的光的会聚透镜(5)等的光学元件中的至少一方周期性地或随机地摆动、或弯曲，来改变光轴或焦点位置，由此使由于照明光学系统的不良因素而在基板(6)上出现的伪缺陷摆动，从而识别伪缺陷和基板(6)本身所产生的真缺陷。
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公开(公告)号：CN1906476B
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN200580001591.3
申请日：2005-09-26
Applicant: 奥林巴斯株式会社
CPC classification number: G01N21/84
Abstract: 一种宏观检查装置，其具有：基板保持器，其保持接受检查的基板；宏观照明光学系统，其将照明光照射到所述基板上；基板保持器驱动机构，其支承所述基板保持器，同时，在所述基板被所述照明光照射的状态下，控制所述基板保持器的姿态；基板搬送机构，其在与所述基板保持器之间进行所述基板的交接；基板浮起机构，其通过对交接在所述基板保持器上的所述基板进行空气的喷出，使该基板从所述基板保持器上浮起；基板定位机构，其使通过该基板浮起机构而处于浮起状态的所述基板定位在所述基板保持器上的基准位置；以及基板固定机构，其将由该基板定位机构定位后的所述基板固定在所述基板保持器上。
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公开(公告)号：CN102608121A
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：CN201210003880.9
申请日：2012-01-04
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 冈平裕幸
IPC: G01N21/88
Abstract: 本发明提供一种基板检查系统。在大型基板用的基板检查系统中，不降低生产效率及检查性能就能谋求节省空间。在用多种检查方法对被检查对象基板(G)进行检查的基板检查系统(31)中，包括：自动检查装置(50)，其用于利用摄像部拍摄被检查对象基板(G)而进行检查；架台，其具有横跨该自动检查装置(50)的门型形状的腿部；人工宏观检查装置(40)，其配置在该架台上，用于直视被检查对象基板(G)而进行目视检查；基板输送机器人，其用于对于自动检查装置(50)和人工宏观检查装置(40)输入、输出被检查对象基板(G)，人工宏观检查装置(40)借助上述架台独立于自动检查装置(50)地配置在自动检查装置(50)的上方。
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公开(公告)号：CN1697768B
公开(公告)日：2011-03-30
申请号：CN200480000436.5
申请日：2004-04-26
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 冈平裕幸
CPC classification number: H01L21/68778 , B65G49/064 , B65G49/065 , H01L21/6838
Abstract: 本发明在使基板(2)上浮的状态下，利用升降机构(6)，使设置在支承构件(10)的前端上的接触构件(13)上升，使该接触构件(13)接触基板(2)的背面，从而限制上浮的基板(2)的移动。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101027547A
公开(公告)日：2007-08-29
申请号：CN200580032201.9
申请日：2005-09-26
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 冈平裕幸
CPC classification number: B65G49/067 , B65G49/061 , B65G2249/02 , B65G2249/04
Abstract: 本发明提供一种基板检查装置的基板支架和基板检查装置。基板检查装置具有保持基板(W)的基板支架(6)。在基板支架(6)中，从安装于多关节自动装置(8)的基部(7)使多个支撑臂部(10)平行且等间隔地延伸设置，从而整体成为梳齿状。在各支撑臂部(10)的上表面(10a)上配设有用于吸附保持基板(W)的吸附部(12)。另外，横档(15)分别安装于支撑臂部(10)的基端部(11a)侧和前端部(11b)侧，在外侧的支撑臂部(10)的外侧面上安装有支撑横档(17)，通过这些横档(15、17)能够保持基板(W)的侧缘。
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公开(公告)号：CN1828280A
公开(公告)日：2006-09-06
申请号：CN200610057689.7
申请日：2006-02-24
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 冈平裕幸
IPC: G01N21/88
Abstract: 外观检查装置及外观检查方法。本发明的课题是提供能够识别因光源或光学元件等的不良因素造成的伪缺陷和基板本身的真缺陷的外观检查装置、及使用该装置的外观检查方法。作为解决手段，本发明的外观检查装置(1)通过观察照射到基板(6)的表面(6a)上的照明光的反射光进行基板(6)的检查，使光源(2)、以及使从光源(2)射出的光的方向偏转的第2反射镜(3)和第1反射镜(4)、或会聚偏转后的光的会聚透镜(5)等的光学元件中的至少一方周期性地或随机地摆动、或弯曲，来改变光轴或焦点位置，由此使由于照明光学系统的不良因素而在基板(6)上出现的伪缺陷摆动，从而识别伪缺陷和基板(6)本身所产生的真缺陷。
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公开(公告)号：CN102152966A
公开(公告)日：2011-08-17
申请号：CN201110033659.3
申请日：2004-04-26
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 冈平裕幸
CPC classification number: H01L21/68778 , B65G49/064 , B65G49/065 , H01L21/6838
Abstract: 一种基板上浮装置，在使基板(2)上浮的状态下，利用升降机构(6)，使设置在支承构件(10)的前端上的接触构件(13)上升，使该接触构件(13)接触基板(2)的背面，从而限制上浮的基板(2)的移动。
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公开(公告)号：CN101027547B
公开(公告)日：2011-02-02
申请号：CN200580032201.9
申请日：2005-09-26
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 冈平裕幸
IPC: G01N21/84
CPC classification number: B65G49/067 , B65G49/061 , B65G2249/02 , B65G2249/04
Abstract: 本发明提供一种基板检查装置的基板支架和基板检查装置。基板检查装置具有保持基板(W)的基板支架(6)。在基板支架(6)中，从安装于多关节自动装置(8)的基部(7)使多个支撑部(10)平行且等间隔地延伸设置，从而整体成为梳齿状。在各支撑部(10)的上表面(10a)上配设有用于吸附保持基板(W)的吸附部(12)。另外，横档(15)分别安装于支撑部(10)的基端部(11a)侧和前端部(11b)侧，在外侧的支撑部(10)的外侧面上安装有支撑横档(17)，通过这些横档(15、17)能够保持基板(W)的侧缘。
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公开(公告)号：CN101339143A
公开(公告)日：2009-01-07
申请号：CN200810128127.6
申请日：2008-07-03
Applicant: 奥林巴斯株式会社
Inventor： 冈平裕幸
IPC: G01N21/896 , G02F1/13
Abstract: 本发明提供基板外观检查装置。不用从生产线中取出在生产线上搬送来的玻璃基板，就能够对其整个面进行详细的外观检查，能够实现生产节拍时间的缩短和制造设备的小型化。基板外观检查装置(1)具有：照明装置(11)，其产生对在生产线(52)上搬送来的基板(50)的表面进行照射的照明光；摄像机(13)，其对由照明装置(11)照明的基板(50)的表面的像进行拍摄；以及移动机构，其使这些照明装置(11)和摄像机(13)在与生产线(52)上的基板(50)的搬送方向交叉的方向上一体地移动，摄像机(13)配置于来自照明装置(11)的照明光的在基板(50)的表面的单向反射光的光束的范围外。
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