公开(公告)号：CN101038260B

公开(公告)日：2011-04-20

申请号：CN200710088352.7

申请日：2007-03-16

Applicant: 奥林巴斯株式会社

Inventor： 松本胜 ,  藤崎畅夫

IPC: G01N21/896 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明提供一种基板检查装置，该基板检查装置具有：浮起平台部(6)，该浮起平台部(6)使基板(1)浮起并对其进行水平支撑；第1基板搬运装置(9)，其保持基板(1)的端部，在使基板(1)在浮起平台部(6)上方浮起的状态下对基板(1)进行搬运；检查部，其对由第1基板搬运装置(9)搬运来的基板(1)进行检查；以及第2基板搬运装置(8)，其在浮起平台部(6)的端部配置有多个可进行旋转驱动的旋转体(8b)，该旋转体(8b)被设置成可以出没于浮起平台部(6)的搬运面，并支撑基板(1)的背面，以将基板(1)搬入到浮起平台部(6)内。

公开(公告)号：CN101038260A

公开(公告)日：2007-09-19

申请号：CN200710088352.7

申请日：2007-03-16

Applicant: 奥林巴斯株式会社

Inventor： 松本胜 ,  藤崎畅夫

IPC: G01N21/896 ,  H01L21/66

Abstract: 本发明提供一种基板检查装置，该基板检查装置具有：浮起平台部(6)，该浮起平台部(6)使基板(1)浮起并对其进行水平支撑；第1基板搬运装置(9)，其保持基板(1)的端部，在使基板(1)在浮起平台部(6)上方浮起的状态下对基板(1)进行搬运；检查部，其对由第1基板搬运装置(9)搬运来的基板(1)进行检查；以及第2基板搬运装置(8)，其在浮起平台部(6)的端部配置有多个可进行旋转驱动的旋转体(8b)，该旋转体(8b)被设置成可以出没于浮起平台部(6)的搬运面，并支撑基板(1)的背面，以将基板(1)搬入到浮起平台部(6)内。

公开(公告)号：CN1948955A

公开(公告)日：2007-04-18

申请号：CN200610132214.X

申请日：2006-10-12

Applicant: 奥林巴斯株式会社

Inventor： 松本胜 ,  永见理

IPC: G01N21/89 ,  G01B11/30 ,  G01B21/30 ,  G01N21/84 ,  G01N21/95

Abstract: 本发明提供一种基板检查装置(1)，在基座主体(3)上铺设有使基板(W)气动浮起的浮起工作台(4)。另外，在从基座主体(3)的一端部到另一端部之间依次设有自动宏观检查部(21)和微观检查部(22)。自动宏观检查部(21)构成为具有向基板(W)照射线状照明光的照明部(24)，在使照明光的反射光通过反射部(25)折返后入射到摄像部(26)。