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公开(公告)号：CN113675093B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202110793016.2
申请日：2021-07-14
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L21/48 , H01L21/50 , H01L23/367 , H01L23/373
Abstract: 本发明公开了一种双面塑封的散热结构的封装设计及制备方法。本发明的双面塑封封装结构简单，底面常规塑封，而在基板上表面加装金属铜柱，并使芯片裸露，同时在芯片上表面增加翅片散热器结构，加快散热，使得基板底面的热量尽量都从上表面散走。相比于现有技术，本发明的双面封装方案采用翅片散热结构，在不增加芯片封装面积的情况下有效增加了散热面积，解决了芯片封装的散热问题，有利于实现器件的微型化。本发明能够应用于智能手机、人工智能、自动驾驶、5G网络、物联网、可穿戴电子设备等新兴领域，符合当今电子产品微型化的发展需求，在微电子领域具有广阔的应用市场，提高产品的散热性能，大大提高产品的可靠性，具有更广阔的发展前景。
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公开(公告)号：CN109709192B
公开(公告)日：2022-06-17
申请号：CN201811530398.4
申请日：2018-12-14
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N27/407 , B82Y15/00 , B82Y30/00
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化钨/氧化锡核壳纳米片结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明采用一种较为简便的、可大批量合成的溶剂热法制备氧化钨核层纳米片，结合原子层沉积技术合成氧化锡层，得到了氧化钨/氧化锡核壳结构纳米片。与现有制备工艺相比，本发明具有可重复性强，成品率高，制备效率高，可大规模化生产等优点。本发明构建的基于n‑n异质结的核壳结构材料结合微机电系统，作为气体传感器时灵敏度大幅提升，响应时间和恢复时间大幅缩减，并且可在复杂环境中对氨气（NH3）气体具有优异的选择性，可为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供坚实的技术支持。
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公开(公告)号：CN113675100A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202110793104.2
申请日：2021-07-14
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种带有光学传感器的选择性封装SiP模组及其制备方法。本发明提出了选择性封装的封装方案，其中挡墙的设计可以在模组任意位置实现选择性塑封，提供了具有特定功能模组的定制化封装方案；此外，本发明的先安装光学传感器再制备挡墙的模组制备方案可以使封装整体体积达到最小，挡墙高度可任意调节来匹配封装整体厚度，并且不会影响已封装好的光学传感器，有利于实现器件的微型化。本发明能够应用于智能手机、人工智能、自动驾驶、5G网络、物联网、可穿戴电子设备以及遥控遥测光学传感器等新兴领域，符合当今电子产品微型化的发展需求，在微电子领域具有广阔的应用市场和发展前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN113675093A
公开(公告)日：2021-11-19
申请号：CN202110793016.2
申请日：2021-07-14
Applicant: 复旦大学
IPC: H01L21/48 , H01L21/50 , H01L23/367 , H01L23/373
Abstract: 本发明公开了一种双面塑封的散热结构的封装设计及制备方法。本发明的双面塑封封装结构简单，底面常规塑封，而在基板上表面加装金属铜柱，并使芯片裸露，同时在芯片上表面增加翅片散热器结构，加快散热，使得基板底面的热量尽量都从上表面散走。相比于现有技术，本发明的双面封装方案采用翅片散热结构，在不增加芯片封装面积的情况下有效增加了散热面积，解决了芯片封装的散热问题，有利于实现器件的微型化。本发明能够应用于智能手机、人工智能、自动驾驶、5G网络、物联网、可穿戴电子设备等新兴领域，符合当今电子产品微型化的发展需求，在微电子领域具有广阔的应用市场，提高产品的散热性能，大大提高产品的可靠性，具有更广阔的发展前景。
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公开(公告)号：CN110589875B
公开(公告)日：2021-10-26
申请号：CN201910873471.6
申请日：2019-09-17
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于单层有序氧化锡纳米碗支化氧化锌纳米线结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明首先采用合成条件简单的硬模板法制备单层氧化锡纳米碗材料，然后采用原子层沉积技术和水热法相结合的工艺制备支化氧化锌纳米线，最终得到了单层氧化锡纳米碗支化氧化锌纳米线多级异质结构。本发明的制备方法具有可重复性强，成品率高，制备效率高，可规模化生产，与MEMS工艺兼容等优点。制得的多级复合气敏纳米材料能够对1 ppm级微量硫化氢实现超灵敏、高选择性探测，同时能够对有机挥发性气体进行微量检测，进而为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供坚实的技术支持。
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公开(公告)号：CN111874954A
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN202010710054.2
申请日：2020-07-22
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于碳颗粒修饰的介孔氧化铁纳米棒结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明采用自牺牲模板法，对溶剂热法制备得到的模板材料Fe-MOF纳米棒进行一步煅烧的工艺，得到了碳颗粒修饰的介孔氧化铁纳米棒异质结构。本发明的材料制备方法具有成本低、合成工艺简单、制备效率高和可规模化生产等优点。制得的异质气敏纳米材料能够对ppb级微量丙酮气体实现超灵敏、高选择性探测，不仅能够广泛应用于化工产业和实验室等气体泄漏排放的监测，同时应用于人体呼出气检测可实现对I型糖尿病的筛查，应用于环境检测和医疗健康领域。
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公开(公告)号：CN111285409A
公开(公告)日：2020-06-16
申请号：CN202010105378.3
申请日：2020-02-20
Applicant: 复旦大学
Abstract: 本发明公开了一种基于单层有序氧化锡纳米碗支化氧化铁纳米棒结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明先采用合成条件简单的硬模板法制备单层氧化锡纳米碗材料，后采用水热法制备支化氧化铁纳米棒，最终得到了单层氧化锡纳米碗支化氧化铁纳米棒多级异质结构。与现有制备工艺相比，本发明具有可重复性强，成品率高，制备效率高，可规模化生产，与硅集成电路工艺兼容等优点。本发明构建的基于异质结的多级复合纳米结构，其应用于气体传感时灵敏度大幅提升，响应时间和恢复时间大幅缩减，展现了更加优异的气敏性能；其能够对微量甲醛能实现超灵敏、高选择性探测，为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供了坚实的技术支持。
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公开(公告)号：CN109709192A
公开(公告)日：2019-05-03
申请号：CN201811530398.4
申请日：2018-12-14
Applicant: 复旦大学
IPC: G01N27/407 , B82Y15/00 , B82Y30/00
Abstract: 本发明公开了一种基于氧化钨/氧化锡核壳纳米片结构的气敏纳米材料、制备工艺及其应用。本发明采用一种较为简便的、可大批量合成的溶剂热法制备氧化钨核层纳米片，结合原子层沉积技术合成氧化锡层，得到了氧化钨/氧化锡核壳结构纳米片。与现有制备工艺相比，本发明具有可重复性强，成品率高，制备效率高，可大规模化生产等优点。本发明构建的基于n-n异质结的核壳结构材料结合微机电系统，作为气体传感器时灵敏度大幅提升，响应时间和恢复时间大幅缩减，并且可在复杂环境中对氨气（NH3）气体具有优异的选择性，可为气体监测领域开发高灵敏度、高稳定性的气体传感器提供坚实的技术支持。
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