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公开(公告)号：CN101788293A
公开(公告)日：2010-07-28
申请号：CN201010100370.4
申请日：2010-01-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种基于超疏水效应的液浮转子式微陀螺。它包括内壁表面具有超亲水效应的密封腔，腔内充满高纯去离子水，高纯去离子水中间悬浮着表面具有疏水效应的圆形磁性转子，在密封腔外部安装定子和检测电极，定子产生磁驱动信号驱动磁性转子在密封腔内高速旋转，检测电极可以检测出转子高速旋转时由外加角速度所产生的偏转角。由于超疏水效应使得转子表面形成一层气膜在高纯去离子水中悬浮，大大降低转子高速旋转时的阻力，提高微陀螺的灵敏度及精度。本发明的优点在于传感器转子旋转阻力小、稳定性高、灵敏度高、易于加工等。
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公开(公告)号：CN101692095A
公开(公告)日：2010-04-07
申请号：CN200910072974.X
申请日：2009-09-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01P1/00 , G01P15/125
Abstract: 本发明涉及一种带有自检测功能的电容式闭环加速度计接口电路。该电容式微加速度计采用敏感结构和接口电路两片式混合封装。整体电路由数字部分和模拟部分组成，该电路能够实现加速度计的自检测功能。数字部分用于产生模拟电路中开关的控制时序，由振荡器、分频器和组合逻辑组成；模拟部分包括低噪声放大器前端，同向放大器，采样保持部分和PID控制电路。由时序电路产生相应的控制信号完成电路中所有开关的控制。本发明具有电路结构简单，噪声较低，线性度好，抗冲击性和环境适应性强的性能。
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公开(公告)号：CN100543419C
公开(公告)日：2009-09-23
申请号：CN200710072230.9
申请日：2007-05-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明提供的是一种双自由度双解耦微机械振动陀螺传感器。驱动方向键合块通过弹性梁与驱动质量块相连，检测方向键合块通过弹性梁与第一自由度检测质量块相连，驱动固定电极键合块上连接驱动固定电极，驱动活动电极连接于驱动质量块上，检测方向键合块上连接检测固定电极，检测活动电极与第二自由度检测质量块相连，第二自由度检测质量块通过弹性梁与第一自由度检测质量块相连，在驱动质量块与第一自由度检测质量块之间设置有隔离质量块，隔离质量块的两侧分别通过弹性梁与驱动质量块和第一自由度检测质量块相连。本发明的优点在于传感器耦合误差小、带宽大、灵敏度受环境影响小、易于加工等。
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公开(公告)号：CN100443397C
公开(公告)日：2008-12-17
申请号：CN200410013783.3
申请日：2004-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及的是一种微冷却测控系统的加工方法。首先在双面抛光硅片上生长二氧化硅，之后进行光刻，在硅上开出窗口，在光刻胶和SiO2的保护下深槽刻蚀Si片，在硅片上形成微沟道和无阀微泵图形，然后采用机械研磨的方法将无阀微泵腔体贯通，再采用电化学放电方法，在硅片扩散口和喷嘴出口处的圆形腔体位置上打系统注水口，最后将硅片放入浓硫酸溶液中在水浴环境下加热，除去光刻胶，再放入HF溶液中漂去SiO2；先在95玻璃上溅射一层8-12纳米Ti，再溅射0.05-0.15微米Pt，之后利用光刻剥离技术刻出铂电阻图形；利用阳极键合工艺将硅片和玻璃紧密结合在一起。本发明产品的优点在于：易于操作；易于批量生产；可靠性高。
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公开(公告)号：CN100357718C
公开(公告)日：2007-12-26
申请号：CN200410013784.8
申请日：2004-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01H11/06
Abstract: 本发明提供的是一种声和振动集成多功能传感器及其制造方法。它包括管座、安装在管座上的管壳和连接于管座上的管脚，管壳上部开有透声孔，管壳内与透声孔相对应处安装有驻极体麦克风，管座上安装有电路板，电路板的中间为振动结构敏感元件，在振动结构敏感元件的两侧分别为声接口电路与振动接口电路，驻极体麦克风与声接口电路通过柔性导线相连，振动结构敏感元件与振动接口电路之间焊接。本发明的产品具有结构简单，能够同时测量声和振动信号，声和振动信号互相没有影响，可靠性高，易于批量生产，灵敏度高，频带范围宽等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101050966A
公开(公告)日：2007-10-10
申请号：CN200710072230.9
申请日：2007-05-21
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01C19/56
Abstract: 本发明提供的是一种双自由度双解耦微机械振动陀螺传感器。驱动方向键合块通过弹性梁与驱动质量块相连，检测方向键合块通过弹性梁与第一自由度检测质量块相连，驱动固定电极键合块上连接驱动固定电极，驱动活动电极连接于驱动质量块上，检测方向键合块上连接检测固定电极，检测活动电极与第二自由度检测质量块相连，第二自由度检测质量块通过弹性梁与第一自由度检测质量块相连，在驱动质量块与第一自由度检测质量块之间设置有隔离质量块，隔离质量块的两侧分别通过弹性梁与驱动质量块和第一自由度检测质量块相连。本发明的优点在于传感器耦合误差小、带宽大、灵敏度受环境影响小、易于加工等。
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公开(公告)号：CN1665128A
公开(公告)日：2005-09-07
申请号：CN200510009862.1
申请日：2005-03-30
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H03G3/20
Abstract: 本发明提供的是带增益指示功能的多级自动增益控制集成电路系统。它由前置放大电路、带通滤波电路、可控增益放大器、由峰值检测电路和判断电路组成的控制电平产生电路构成。信号首先耦合至前置放大电路，再分两路分别进入峰值检测电路和带通滤波电路，峰值检测电路产生的直流电平进入判断电路与基准参考电平比较，产生的自动增益，控制放大器的控制电平，控制电平通过编码产生增益指示输出信号，控制电平同时也进入可控增益放大器控制可控增益放大器的放大倍数、对来自带通滤波器的信号进行适当的放大，根据指示输出信号判断可控增益放大器的增益，然后进行被检测信号原始真实强度的还原。本发明能扩展输入信号的处理范围，并且指示输出功能。
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公开(公告)号：CN1583542A
公开(公告)日：2005-02-23
申请号：CN200410013783.3
申请日：2004-05-28
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明涉及的是一种微冷却测控系统及其加工方法。它包括硅基片和玻璃片两层，硅基片表面上设置有微沟道和无阀微泵图形，玻璃片上设置有温度和流量传感器，硅片和玻璃片通过键合工艺粘接在一起。本发明产品的优点在于：结构简单，易于操作；易于批量生产；可靠性高；流量控制范围宽。本发明适用于纳、皮卫星环境热控、燃料控制和微电子芯片系统冷却等领域。
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公开(公告)号：CN1487275A
公开(公告)日：2004-04-07
申请号：CN03132458.4
申请日：2003-06-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种相变式自检测压力传感器及其制作方法。它包括硅杯，在硅杯的杯底上设置有压敏电阻，它还包括硅片底板和隔热玻璃板，隔热玻璃板上开有透气孔，硅片底板上开有相变物质充填孔并且在其上表面上设置有加热电阻，硅杯倒置安装在隔热玻璃板上，隔热玻璃板安装在硅片底板上且隔热玻璃板与硅片底板之间有相变物质装填腔，相变物质装填腔中装填有相变物质，相变物质充填孔处设置有封闭堵。本发明的产品具有结构简单、自检测效果显著等优点。本发明的方法能够保证其产品的加工简单，性能优异。
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公开(公告)号：CN1486822A
公开(公告)日：2004-04-07
申请号：CN03132459.2
申请日：2003-06-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种电化学法玻璃片硅片穿孔设备。它包括电解槽，在电解槽中装有碱性溶液。电源负极接石墨电极或者镍电极，穿孔探针接电源正极。玻璃片或硅片水平置于石墨电极或镍电极上。穿孔探针材料为金属钨，穿孔探针上串联有限流电阻。电源提供脉动直流电压，电压范围为40－100V。本发明的优点在于：1、穿孔速度快；2、结构简单，易于操作与携带；3、对玻璃片和硅片表面无破坏性损伤。
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