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公开(公告)号：CN102420603B
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：CN201110354429.7
申请日：2011-10-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H03K19/0185 , G05F1/565
Abstract: 本发明提供一种用于微传感器的负反馈自平衡驱动电路。它是由驱动电路正电源单元、驱动电路负电源单元、加法器、反相放大器、分压电阻、缓冲器、积分器和开关网络组成的，驱动电路正电源单元分别连接驱动电路负电源单元和加法器，驱动电路负电源单元连接分压电阻和开关网络，加法器连接反相放大器和积分器，反相放大器连接分压电阻和开关网络。本发明不受电源漂移以及温度变化的影响，适合于高精度微传感器的驱动电路。本发明提供一种CMOS全差分驱动电路，可以使提供给驱动电路的正电源电压跟随负电源电压的变化，实现类隔离变压器的驱动，从而抑制电源电压的漂移以及温度变化对传感器性能的影响。
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公开(公告)号：CN103236429A
公开(公告)日：2013-08-07
申请号：CN201310177041.3
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 带加热单元的微型碳纳米管湿度传感器芯片，涉及的是通过兼容于标准CMOSIC工艺制作微型碳纳米管湿度传感器的技术领域。解决了目前集成化湿度传感器普遍存在着在高湿环境下湿度检测困难及失效问题。它由硅衬底层、二氧化硅外延层、叉指电极结构的金属一层、多个焊盘窗口、多个多晶硅电阻、多个多晶硅电阻连线的金属二层、电源输入接口、钝化层、碳纳米管湿度敏感薄膜构成；碳纳米管湿度敏感薄膜的覆盖工艺为不损害芯片的溅射工艺、丝网印刷工艺或者悬涂工艺；上述所有层结构及多个多晶硅电阻结构都是用CADENCE版图绘制软件，通过标准CMOSIC工艺制作；本发明能在高湿环境下对室温条件下的湿度进行长期稳定、高速准确的检测。
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公开(公告)号：CN101672901A
公开(公告)日：2010-03-17
申请号：CN200810137065.5
申请日：2008-09-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种微型磁通门传感器制作方法。磁通门传感器由骨架，磁芯，激励线圈和感应线圈构成，为双芯对称结构，采用模具浇注的方法将磁芯和骨架一体化成型，然后在骨架上缠绕激励线圈，将骨架截断反向并在一起，在两骨架外面缠绕感应线圈形成微型磁通门传感器。本发明采用模具浇注的方法将磁芯和骨架一体化成型，然后在骨架上缠绕激励线圈，将骨架截断反向并在一起，在两骨架外面缠绕感应线圈形成微型磁通门传感器。本发明结构简单，因为采用模具制作传感器骨架，两个差分骨架一致性好，能降低因为传感器不对称带来的噪声，提高传感器的分辨率和精度，同时因为采用微型模具来制作传感器骨架，容易实现传感器的微型化，大大降低传感器的尺寸。
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公开(公告)号：CN103236429B
公开(公告)日：2015-09-09
申请号：CN201310177041.3
申请日：2013-05-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 带加热单元的微型碳纳米管湿度传感器芯片，涉及的是通过兼容于标准CMOS IC工艺制作微型碳纳米管湿度传感器的技术领域。解决了目前集成化湿度传感器普遍存在着在高湿环境下湿度检测困难及失效问题。它由硅衬底层、二氧化硅外延层、叉指电极结构的金属一层、多个焊盘窗口、多个多晶硅电阻、多个多晶硅电阻连线的金属二层、电源输入接口、钝化层、碳纳米管湿度敏感薄膜构成；碳纳米管湿度敏感薄膜的覆盖工艺为不损害芯片的溅射工艺、丝网印刷工艺或者悬涂工艺；上述所有层结构及多个多晶硅电阻结构都是用CADENCE版图绘制软件，通过标准CMOS IC工艺制作；本发明能在高湿环境下对室温条件下的湿度进行长期稳定、高速准确的检测。
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公开(公告)号：CN103308569B
公开(公告)日：2015-01-14
申请号：CN201310281175.X
申请日：2013-07-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 基于正弦波激励的单芯片集成式碳纳米管湿度传感器，涉及的是一种湿度检测的传感器，解决了目前在传感器与接口电路的双芯片式或多芯片集成时，普遍存在的传感器与电路芯片的PCB板级连接或外部连线造成的误差和噪声干扰。它包含带加热单元微型的微型碳纳米管湿度传感器和正弦波激励接口电路。本发明的所有电路都集成在一个芯片上，结构简单易于实现，尺寸小，集成度高；节省了芯片制作和封装的成本，基于交流激励的传感器的感湿灵敏度更高，输出信号稳定性好；以多孔碳纳米管薄膜作为湿敏层，传感器吸附水汽脱附容易，响应速度快，不仅能在高湿度环境下正常工作，而且便于信号检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102420603A
公开(公告)日：2012-04-18
申请号：CN201110354429.7
申请日：2011-10-26
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: H03K19/0185 , G05F1/565
Abstract: 本发明提供一种用于微传感器的负反馈自平衡驱动电路。它是由驱动电路正电源单元、驱动电路负电源单元、加法器、反相放大器、分压电阻、缓冲器、积分器和开关网络组成的，驱动电路正电源单元分别连接驱动电路负电源单元和加法器，驱动电路负电源单元连接分压电阻和开关网络，加法器连接反相放大器和积分器，反相放大器连接分压电阻和开关网络。本发明不受电源漂移以及温度变化的影响，适合于高精度微传感器的驱动电路。本发明提供一种CMOS全差分驱动电路，可以使提供给驱动电路的正电源电压跟随负电源电压的变化，实现类隔离变压器的驱动，从而抑制电源电压的漂移以及温度变化对传感器性能的影响。
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公开(公告)号：CN101672901B
公开(公告)日：2011-11-30
申请号：CN200810137065.5
申请日：2008-09-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种微型磁通门传感器制作方法。磁通门传感器由骨架，磁芯，激励线圈和感应线圈构成，为双芯对称结构，采用模具浇注的方法将磁芯和骨架一体化成型，然后在骨架上缠绕激励线圈，将骨架截断反向并在一起，在两骨架外面缠绕感应线圈形成微型磁通门传感器。本发明采用模具浇注的方法将磁芯和骨架一体化成型，然后在骨架上缠绕激励线圈，将骨架截断反向并在一起，在两骨架外面缠绕感应线圈形成微型磁通门传感器。本发明结构简单，因为采用模具制作传感器骨架，两个差分骨架一致性好，能降低因为传感器不对称带来的噪声，提高传感器的分辨率和精度，同时因为采用微型模具来制作传感器骨架，容易实现传感器的微型化，大大降低传感器的尺寸。
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公开(公告)号：CN103308569A
公开(公告)日：2013-09-18
申请号：CN201310281175.X
申请日：2013-07-05
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N27/12
Abstract: 基于正弦波激励的单芯片集成式碳纳米管湿度传感器，涉及的是一种湿度检测的传感器，解决了目前在传感器与接口电路的双芯片式或多芯片集成时，普遍存在的传感器与电路芯片的PCB板级连接或外部连线造成的误差和噪声干扰。它包含带加热单元微型的微型碳纳米管湿度传感器和正弦波激励接口电路。本发明的所有电路都集成在一个芯片上，结构简单易于实现，尺寸小，集成度高；节省了芯片制作和封装的成本，基于交流激励的传感器的感湿灵敏度更高，输出信号稳定性好；以多孔碳纳米管薄膜作为湿敏层，传感器吸附水汽脱附容易，响应速度快，不仅能在高湿度环境下正常工作，而且便于信号检测。
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公开(公告)号：CN101788293B
公开(公告)日：2011-09-28
申请号：CN201010100370.4
申请日：2010-01-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种基于超疏水效应的液浮转子式微陀螺。它包括内壁表面具有超亲水效应的密封腔，腔内充满高纯去离子水，高纯去离子水中间悬浮着表面具有疏水效应的圆形磁性转子，在密封腔外部安装定子和检测电极，定子产生磁驱动信号驱动磁性转子在密封腔内高速旋转，检测电极可以检测出转子高速旋转时由外加角速度所产生的偏转角。由于超疏水效应使得转子表面形成一层气膜在高纯去离子水中悬浮，大大降低转子高速旋转时的阻力，提高微陀螺的灵敏度及精度。本发明的优点在于传感器转子旋转阻力小、稳定性高、灵敏度高、易于加工等。
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