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公开(公告)号：CN103983910B
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：CN201410244665.7
申请日：2014-06-04
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01R31/26
Abstract: 高频CV特性测试仪，属于半导体器件特性测量领域，本发明为解决目前市面上C-V特性测试仪低分辨率、低线性度的问题。本发明包括电源模块、人机交互模块、USB通讯模块、单片机控制模块、高频信号产生模块、平方率检波模块和电容检测放大模块；待测电容Cx两端信号被电容检测放大模块放大处理后，输出含有正弦波的信号，待测电容Cx的电容值的大小耦合到信号的幅值之中，正弦波的幅值代表了待测电容Cx的电容值的大小，电容检测放大模块输出的信号送至平方率检波模块中，平方率检波模块留下直流分量，并转换为数字信号作为待测电容Cx的电容值的取值结果送到单片机控制模块中，该值可在人机交互模块上显示，也可以通过USB通讯模块上传至电脑中。
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公开(公告)号：CN1191919C
公开(公告)日：2005-03-09
申请号：CN03132459.2
申请日：2003-06-25
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供的是一种电化学法玻璃片硅片穿孔设备。它包括电解槽，在电解槽中装有碱性溶液。电源负极接石墨电极或者镍电极，穿孔探针接电源正极。玻璃片或硅片水平置于石墨电极或镍电极上。穿孔探针材料为金属钨，穿孔探针上串联有限流电阻。电源提供脉动直流电压，电压范围为40-100V。本发明的优点在于：1、穿孔速度快；2、结构简单，易于操作与携带；3、对玻璃片和硅片表面无破坏性损伤。
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公开(公告)号：CN104528633A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410716011.X
申请日：2014-12-02
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: B81C3/00
Abstract: 一种基于微机械电子系统技术的多功能键合实验装置，包括多功能键合台和电器机箱；所述多功能键合台包括可调基座、加热器下电极、可拆卸上电极组件以及显微镜组件，可调基座包括带上电极支撑架的底座和平面x、y向可调基台，加热器下电极安装在平面x、y向可调基台上；可拆卸上电极组件和显微镜组件安装在上电极支撑架上；所述电器机箱包括高压电源组件、键合监测系统、控温系统，高压电源用于对位于加热器下电极和可拆卸上电极组件之间的待静电键合样品施加键合电压；键合监测系统实时采集键合电流并绘出电流-时间曲线，实时反应静电键合完成情况；控温系统用于对加热器下电极进行控温。该装置具有结构紧凑、小巧、性价比高等优点。
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公开(公告)号：CN1329659C
公开(公告)日：2007-08-01
申请号：CN200410043699.6
申请日：2004-07-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F04B43/04
Abstract: 本发明提供的是无阀微泵及其封装方法。首先制作好微泵泵体，在泵体的腔体处同心地放置一个环形密封弹性垫，在环形密封弹性垫上同心地放好压电陶瓷蜂鸣片，压电陶瓷蜂鸣片的PZT面朝腔体外，在压电陶瓷蜂鸣片上同心放置一个金属环，使用夹具将各零部件自上而下地压紧，然后，用密封树脂胶将金属环至泵体的各零部件进行胶接、固化。本发明具有密封性能好、工作稳定、可靠性高、便于批量生产等优点。本发明的产品可广泛应用于可用于微型飞机、微型航天器发动机的推进控制，以及微化学分析、生物医药等领域。
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公开(公告)号：CN1908432A
公开(公告)日：2007-02-07
申请号：CN200610010387.4
申请日：2006-08-08
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: F04B43/04
Abstract: 本发明提供的是一种双向无阀微泵。它包括泵体和泵盖，在泵体上开有泵腔、流体进、出口沟道等结构图形，泵盖上开有进口和出口，泵体与泵盖键合在一起，键合后在泵体与泵盖之间形成薄壁孔口与厚壁孔口，泵腔外安装压电驱动元件。本发明产品的优点在于：微泵体积小、结构简单、无电磁干扰、易于操作、适合批量化生产，并能实现对流体的正、反向泵送。该泵在化学分析、医疗器械、粘接剂喷涂，以及汽车发动机燃料供给等方面均有应用前景。因其无阀门、且具有正、反向泵送特性尤其适用于微沟道及微小零部件的清洗，在微流体系统中具有很大的应用潜力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN1295807C
公开(公告)日：2007-01-17
申请号：CN200410043700.5
申请日：2004-07-12
Applicant: 哈尔滨工业大学
CPC classification number: Y02P70/56
Abstract: 本发明是一种微型液体甲醇燃料电池。包括一个膜电极和位于膜电极两侧的双极板，双极板与膜电极相对应的一侧上含有与膜电极相对应的流场、另一侧上含有与流场相通的液体导流通道，流场中设置有支撑点，流场上淀积有作为收集电子及电池电极引出线的金属薄膜，双极板外键合有玻璃密封层，双极板与膜电极组装在一起，其端部有密封树脂胶。此种电池的整体厚度小于3mm。同时，通过MEMS工艺技术加工制作的双极板，可以有效的完成流场的结构和电流收集，并可有效缩小燃料电池的体积和便于批量加工。
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公开(公告)号：CN1185484C
公开(公告)日：2005-01-19
申请号：CN03111185.8
申请日：2003-03-14
Applicant: 哈尔滨工业大学
IPC: G01N27/447 , G01N33/561
Abstract: 本发明提供的是一种用于化学分析的毛细管电泳芯片的制备方法，首先在材质上选用有机玻璃，采用机械划刻仪进行沟道加工，然后在加工完沟道的有机玻片上的相应位置打通孔，再进行沟道表面的光滑化以及表面改性处理，最后用有机溶剂将两片有机玻璃进行粘接处理，使沟道封闭。本发明的方法，制造成本低，易于大批量生产，工艺流程的简单，提高了制造成品率。
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公开(公告)号：CN101639391B
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN200910072796.0
申请日：2009-09-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供一种在保证高灵敏度的同时获得低温度系数、可同时实现压力和温度测量的带温度传感器的多晶硅纳米膜压力传感器及其制作方法。它是由单晶硅硅杯、绝缘层、多晶硅纳米膜压敏电阻和薄膜电阻组成的，单晶硅硅杯连接绝缘层，绝缘层连接多晶硅纳米膜压敏电阻和薄膜电阻。单晶硅硅杯包括感压膜和周边固支结构，感压膜位于单晶硅硅杯上部，周边固支结构位于单晶硅硅杯两边。由单晶硅通过腐蚀制作单晶硅硅杯，利用化学气象淀积法在单晶硅硅杯的上部淀积一层二氧化硅或氮化硅作为绝缘层，将压力测量单元和温度测量单元集成在一个芯片上，能够同时实现压力和温度的测量，减小芯片面积，降低成本。
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公开(公告)号：CN101639391A
公开(公告)日：2010-02-03
申请号：CN200910072796.0
申请日：2009-09-07
Applicant: 哈尔滨工业大学
Abstract: 本发明提供一种在保证高灵敏度的同时获得低温度系数、可同时实现压力和温度测量的带温度传感器的多晶硅纳米膜压力传感器及其制作方法。它是由单晶硅硅杯、绝缘层、多晶硅纳米膜压敏电阻和薄膜电阻组成的，单晶硅硅杯连接绝缘层，绝缘层连接多晶硅纳米膜压敏电阻和薄膜电阻。单晶硅硅杯包括感压膜和周边固支结构，感压膜位于单晶硅硅杯上部，周边固支结构位于单晶硅硅杯两边。由单晶硅通过腐蚀制作单晶硅硅杯，利用化学气象淀积法在单晶硅硅杯的上部淀积一层二氧化硅或氮化硅作为绝缘层，将压力测量单元和温度测量单元集成在一个芯片上，能够同时实现压力和温度的测量，减小芯片面积，降低成本。
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公开(公告)号：CN101599548A
公开(公告)日：2009-12-09
申请号：CN200910072443.0
申请日：2009-07-02
Applicant: 哈尔滨工业大学水资源国家工程研究中心有限公司
CPC classification number: Y02P70/56
Abstract: 本发明提供了一种百叶窗结构的自呼吸微型燃料电池结构与制备方法。自呼吸微型燃料电池包括双极板(阳极极板、阴极极板)、膜电极MEA及绝缘材料和夹具，双极板上两侧分别含有与膜电极相对应的流场，流场为平行结构，其中阴极极板4采用“百叶窗”式进气结构，利用夹具(4个)将双极板、绝缘材料与膜电极夹在一起，就可以作为发电单元使用。本发明是一种利用微细精密加工技术制作的微型燃料电池，具有工艺流程简单，制造成本低，占用空间小，节省体积，机械性能好，可加强电池的结构强度等优点。
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