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11.

发明公开
鳍状场效晶体管装置无效

公开(公告)号：CN111863965A

公开(公告)日：2020-10-30

申请号：CN202010047534.5

申请日：2020-01-16

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 黄旺骏 , 杨凯杰 , 蔡庆威 , 程冠伦 , 王志豪

IPC: H01L29/78 , H01L27/088 , H01L21/336 , H01L21/8234

Abstract: 鳍状场效晶体管装置包括基板与自基板延伸的至少一半导体鳍状物。半导体鳍状物可包括含有第一半导体材料的多个宽部，以及一或多个窄部。一或多个窄部的第二宽度小于宽度的第一宽度。一或多个窄部的每一者使多个宽部的两者彼此分开，使多个宽部与一或多个窄部交替配置于实质上垂质的方向中，且实质上垂质的方向实质上垂直于基板的表面。鳍状物亦包括通道层覆盖多个宽部的侧壁以及一或多个窄部的侧壁。

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