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公开(公告)号：CN1305115C
公开(公告)日：2007-03-14
申请号：CN02144250.9
申请日：2002-09-29
Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司
IPC: H01L21/304 , B24B1/00 , B24B7/22
Abstract: 一种利用复合控制模式的研浆流量控制方法及系统，该研浆流量控制系统包括流体计测装置、复合控制器、中央控制装置及输送装置。操作时，利用所述中央控制装置实时比较所述流体计测装置的研浆流量测量值与流量设定值之间的差值，以选用所述复合控制器的闭回路控制法或开回路控制法，使所述输送装置准确地控制研浆的流量输出。
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