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11.

实用新型
具有温度补偿特征的温度控制装置失效

公开(公告)号：CN2710024Y

公开(公告)日：2005-07-13

申请号：CN200420049667.2

申请日：2004-04-28

Applicant: 台湾积体电路制造股份有限公司

Inventor： 萧义理 , 周梅生 , 彭进兴 , 黄见翎 , 陈择毅 , 李俊仪 , 吴学昌

IPC: G05D23/00

Abstract: 一种具有温度补偿特征的温度控制装置，用来控制一受控体于一标准受控温度值，其中所述温度控制装置至少包括：一主温度控制装置，其根据一主温度特性曲线来操作；一补偿温度控制装置，其根据一补偿温度特性曲线来操作，其中该补偿温度特性曲线以该标准受控温度值为基准，而与该主温度特性曲线互为镜射。主温度控制装置可为具有主冷却液(Coolant)槽的冷却机(Chiller)，或PN接口(Junction)温度控制装置等，而补偿温度控制装置可为具有温度补偿冷却液槽的冷却机，或PN接口温度控制装置等，其中此补偿温度控制装置可为开放回路或封闭回路的自动控制方式。

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