公开(公告)号：CN101555015A

公开(公告)日：2009-10-14

申请号：CN200910111808.6

申请日：2009-05-19

Applicant: 厦门大学

Inventor： 罗学涛 ,  蔡靖 ,  李锦堂 ,  郑淞生 ,  陈文辉 ,  龚惟阳 ,  沈晓杰 ,  陈朝

IPC: C01B33/037

Abstract: 一种多晶硅的除硼提纯方法及装置，涉及一种多晶硅。提供一种低成本，工艺简单，适合产业化推广的多晶硅的除硼提纯方法及装置。多晶硅除硼提纯装置设有真空系统、中频感应熔炼系统、二次加料装置、多孔旋转喷嘴和浇注用石墨模具。将造渣剂预熔，所得矿渣装入加料仓；金属硅放入石墨坩埚，抽真空，接中频感应线圈电源，加热熔化金属硅后使硅液保持在1500～1800℃，将多孔旋转喷嘴降至硅液表面上方预热，通反应气体；旋转加料仓，加入造渣剂，将多孔旋转喷嘴降至石墨坩埚中，启动旋转叶片；待通气造渣完成后，关闭旋转叶片，升起多孔旋转喷嘴，关闭气源，将硅液倒入石墨模具静置，冷却后取出硅锭，去除杂质富集部分，得多晶硅锭。

公开(公告)号：CN101555015B

公开(公告)日：2011-11-09

申请号：CN200910111808.6

申请日：2009-05-19

Applicant: 厦门大学

Inventor： 罗学涛 ,  蔡靖 ,  李锦堂 ,  郑淞生 ,  陈文辉 ,  龚惟阳 ,  沈晓杰 ,  陈朝

IPC: C01B33/037

Abstract: 一种多晶硅的除硼提纯方法及装置，涉及一种多晶硅。提供一种低成本，工艺简单，适合产业化推广的多晶硅的除硼提纯方法及装置。多晶硅除硼提纯装置设有真空系统、中频感应熔炼系统、二次加料装置、多孔旋转喷嘴和浇注用石墨模具。将造渣剂预熔，所得矿渣装入加料仓；金属硅放入石墨坩埚，抽真空，接中频感应线圈电源，加热熔化金属硅后使硅液保持在1500～1800℃，将多孔旋转喷嘴降至硅液表面上方预热，通反应气体；旋转加料仓，加入造渣剂，将多孔旋转喷嘴降至石墨坩埚中，启动旋转叶片；待通气造渣完成后，关闭旋转叶片，升起多孔旋转喷嘴，关闭气源，将硅液倒入石墨模具静置，冷却后取出硅锭，去除杂质富集部分，得多晶硅锭。

公开(公告)号：CN101628719B

公开(公告)日：2011-08-10

申请号：CN200910112398.7

申请日：2009-08-19

Applicant: 厦门大学

Inventor： 罗学涛 ,  郑淞生 ,  蔡靖 ,  陈文辉 ,  李锦堂 ,  陈朝

IPC: C01B33/037

Abstract: 真空感应熔炼去除硅中磷杂质的方法，涉及一种硅提纯方法。提供一种真空感应熔炼去除硅中磷杂质的方法。将多晶硅放入坩埚中，抽真空，预热后关闭粗抽阀，开启扩散泵阀门抽真空，接通中频感应加热电源，坩埚开始感应生热，对坩埚内的硅原料进行低温预热，当温度上升到600℃时，硅自身感应生热；增加中频加热功率为50～200kW，当温度达到1415℃以上时，硅开始熔化；熔化后，调节中频加热功率，使硅液温度控制在1550～1850℃；待温度稳定后，将真空度控制在1.2×10-2～1.0×10-1Pa；开始计时，保温时间为45～120min；在水冷铜盘中通入循环水，然后将熔炼完成的硅液浇注入模具中，快速凝固，即完成。

公开(公告)号：CN101671023A

公开(公告)日：2010-03-17

申请号：CN200910112546.5

申请日：2009-09-15

Applicant: 厦门大学

Inventor： 罗学涛 ,  蔡靖 ,  李锦堂 ,  郑淞生 ,  陈文辉 ,  沈晓杰 ,  龚惟扬 ,  陈朝

IPC: C01B33/037

Abstract: 一种多晶硅除硼提纯方法，涉及一种多晶硅的除硼提纯工艺。提供一种高效，低成本，操作简单，适合大规模工业化生产的多晶硅除硼提纯方法。选用金属硅为原料；将原料金属硅放入石墨坩埚中，抽真空，启动中频感应电源加热，使石墨坩埚中的金属硅熔化；当硅全部熔化后，向体系中通入惰性气体，提高电源功率，使硅液温度保持在1500～1600℃，加入预熔过的第一种助渣剂反应，进一步提高电源功率，使硅液温度保持在1600～1700℃，再加入预熔后的第二种助渣剂；待造渣完成后，将硅液倒入浇注用坩埚中，静置，冷却后取出硅锭，得到提纯后的多晶硅锭。

公开(公告)号：CN101343063B

公开(公告)日：2011-11-09

申请号：CN200810071577.6

申请日：2008-08-13

Applicant: 厦门大学

Inventor： 罗学涛 ,  郑淞生 ,  蔡靖 ,  陈文辉 ,  陈朝

IPC: C01B33/037

Abstract: 太阳能级多晶硅的提纯装置及提纯方法，涉及一种多晶硅。提供一种成本低、纯度高、工艺简单易行、操作方便和适合于规模化生产的太阳能级多晶硅的提纯装置及提纯方法。设有真空系统、熔炼系统和定向凝固系统；真空系统设有机械旋片泵、萝茨泵和油扩散泵，熔炼系统设有真空室、二次加料器、观察窗、可升降的旋转通气装置、感应线圈和石墨坩埚；定向凝固系统设于真空室的下部，定向凝固系统设有电阻丝加热保温炉、石墨模具、保温炉支架、水冷铜盘、可控速的升降杆。通过感应加热熔化金属硅，在低真空高温条件下通入氧化性气体除硼，然后进行高温高真空除磷，最后将熔融硅液浇注入定向模具中进行严格的定向凝固除金属杂质。

公开(公告)号：CN101280474B

公开(公告)日：2010-10-06

申请号：CN200810071139.X

申请日：2008-05-27

Applicant: 厦门大学

Inventor： 罗学涛 ,  郑淞生 ,  蔡靖 ,  刘春佳 ,  吴义伯 ,  严星煌 ,  于瑞敏

IPC: D01F9/10

Abstract: 热化学交联制备碳化硅纤维的方法及交联装置，涉及一种碳化硅纤维，尤其是涉及一种利用有机金属化合物热化学交联制备碳化硅纤维的方法及其交联装置。提供一种热化学交联制备碳化硅纤维的方法及其交联装置。设有石英玻璃管、进气管、出气管、密封钢套、气体流量控制阀、加热线圈和石英舟，加热线圈设于石英玻璃管外，进气管和出气管分别通过密封钢套连接于石英玻璃管两端，石英舟置于石英玻璃管内。将PCS和交联剂溶解在四氢呋喃中，制得浆料；将浆料陈化，干法纺丝，制成原丝；将原丝放入石英舟，再放入交联装置热化学交联，获得PCS交联纤维，再放入高温炉热解和烧成，制得碳化硅纤维。

公开(公告)号：CN101671024A

公开(公告)日：2010-03-17

申请号：CN200910112547.X

申请日：2009-09-15

Applicant: 厦门大学

Inventor： 罗学涛 ,  蔡靖 ,  李锦堂 ,  郑淞生 ,  陈文辉 ,  沈晓杰 ,  龚惟扬 ,  陈朝

IPC: C01B33/037

Abstract: 一种采用电磁感应熔炼辅助高温等离子除硼提纯多晶硅的生产工艺及装置。提供一种低成本，高效，适合产业化推广的采用电磁感应熔炼辅助高温等离子除硼提纯多晶硅的生产工艺以及多晶硅除硼提纯装置。提纯装置设有真空系统、中频感应熔炼系统、转移弧等离子熔炼系统和浇注用石墨模具。将金属硅放入坩埚中，抽真空，加热熔化金属硅；熔化后提高电源功率，使硅液温度保持在1600～1800℃，启动等离子熔炼系统，将等离子枪降至引弧装置上方，通入工作气体引弧；引弧完成后移开引弧装置，调节给定电流和等离子弧长度，对硅液表面进行等离子熔炼后，给定电流调零，断开等离子弧，升起等离子枪，关闭气源，将硅液倒入模具，静置冷却后取出硅锭。