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公开(公告)号：CN102975112A
公开(公告)日：2013-03-20
申请号：CN201210568634.8
申请日：2012-12-24
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B37/04 , B24B37/005
Abstract: 一种在线可控抛光装置，涉及一种化学机械抛光设备。设有浮动盘、伸缩架、引导滑块、调节滑块、可拆卸夹持工具、压电传感器、底座和电磁铁；所述浮动盘上设有6条滑槽，伸缩架顶端与引导滑块相连，引导滑块嵌入滑槽内，伸缩架底端与调节滑块相连，调节滑块嵌入滑槽内，引导滑块上装有可拆卸夹持工具，压电传感器固定于浮动盘表面，浮动盘嵌入底座内且底部4个角落装有电磁铁，底座内与其相对应的位置也分别装有电磁铁。克服了现有的抛光装置对工件的尺寸和表面要求严格等问题，通过尺寸调整结构和压电传感器控制系统的互相配合，可以根据工件的尺寸大小和表面形貌进行尺寸和压力调整，从而达到固定工件和保证工件表面受力实时均匀的目的。
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公开(公告)号：CN103322938B
公开(公告)日：2016-08-24
申请号：CN201310236649.9
申请日：2013-06-15
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种光学元件定点蚀刻及观测装置，涉及光学元件。设有支架、三维移动平台、三维移动平台直线电机、光学元件夹具、蚀刻结构、伺服电机、Z轴承载板、显微镜和计算机；三维移动平台设于支架上方，光学元件夹具安装于支架上端台面上，蚀刻结构设有蚀刻头和蚀刻液容器，蚀刻液容器设有蚀刻液进口阀门，蚀刻头安装于蚀刻液容器的蚀刻液出口端，蚀刻头下端设有蚀刻液出口，蚀刻液出口与蚀刻液容器连通，伺服电机安装在Z轴承载板上，Z轴承载板安装于三维移动平台上，伺服电机输出轴与固连有接板，显微镜与蚀刻结构固于连接板的两端，计算机内安装有运动控制卡，计算机与三维移动平台直线电机电连接，三维移动平台直线电机输出轴接三维移动平台。
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公开(公告)号：CN102756333B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201210263041.0
申请日：2012-07-27
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B41/06
Abstract: 一种用于抛光机床的在线可调式夹具，涉及一种工装夹具。设有底盘和至少3套相同结构的夹紧调整机构；每套夹紧调整机构以底盘中轴线为基准，向心均布安装于底盘表面；夹紧调整机构设有水平滑块、水平气缸、垂直滑块、垂直气缸、垂直压力传感器和响应速度可调的水平压力传感器；水平滑块与底盘向心滑动配合，水平气缸活塞杆与水平滑块连接，垂直滑块设于水平滑块上并且与水平滑块垂向滑动配合，垂直气缸设于水平滑块上，垂直气缸活塞杆与垂直滑块连接，垂直压力传感器设于垂直滑块夹持部的水平表面上，水平压力传感器设于垂直滑块夹持部的垂直表面。可在线（实时）对工件加工表面进行水平位置调整，保证工件加工表面受力均匀的与抛光机床配用。
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公开(公告)号：CN103755148B
公开(公告)日：2015-10-14
申请号：CN201410045558.1
申请日：2014-02-08
Applicant: 厦门大学
IPC: C03C15/00
Abstract: 一种在线可控式光学元件刻蚀装置，涉及光学元件刻蚀装置。设有缓冲液存储容器、刻蚀反应发生装置、伺服电机、密封盖、可旋转多功能夹具、在线浓度计、恒温箱；不同容器内装不同刻蚀溶液，容器下端通过导管与密封盖相连，导管直接通入刻蚀反应发生装置中，导管中部设有开关，伺服电机安装在密封盖中部，伺服电机与可旋转多功能夹具中轴相连；在线浓度计设在刻蚀反应发生装置外部下端，可旋转多功能夹具实现光学元件的固定及刻蚀液的搅拌；可旋转多功能夹具设有竖直中轴、四对横向分支，四对横向分支内设有光学元件定位槽，竖直中轴上设有四条分支槽；每对横向分支一端伸入分支槽内部，每对横向分支中的另一个横向分支沿分支槽上下移动。
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公开(公告)号：CN103148826B
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：CN201310057693.3
申请日：2013-02-22
Applicant: 厦门大学
Abstract: 一种可旋转的大口径光学元件夹具，涉及一种检测平台用夹具。设X轴与Y轴进给部分和倾斜可调机构；X轴进给部分设夹具底座、手轮、丝杠、滚动直线导轨和滑块；Y轴进给部分设Y轴进给底座、Y轴进给块和千分尺；倾斜可调机构设旋转体、底座、弹簧、楔形块、支撑架、夹具顶层、夹紧件、双向蜗杆和小手轮。可沿X轴，Y轴进给，并绕Y轴实现一定角度旋转，倾斜可调机构灵活度大。用以定位、夹紧待测光学元件。选用双坐标手轮驱动X方向进给，精度为1μm的千分尺推动Y轴进给。倾斜可调机构采用楔形槽与楔形块配合，并辅以螺钉锁紧，稳度大，螺钉孔开为月牙形。通过手轮驱动丝杠转动，带动Y轴进给底座沿滚动直线导轨实现X轴进给。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN102975112B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201210568634.8
申请日：2012-12-24
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B37/04 , B24B37/005
Abstract: 一种在线可控抛光装置，涉及一种化学机械抛光设备。设有浮动盘、伸缩架、引导滑块、调节滑块、可拆卸夹持工具、压电传感器、底座和电磁铁；所述浮动盘上设有6条滑槽，伸缩架顶端与引导滑块相连，引导滑块嵌入滑槽内，伸缩架底端与调节滑块相连，调节滑块嵌入滑槽内，引导滑块上装有可拆卸夹持工具，压电传感器固定于浮动盘表面，浮动盘嵌入底座内且底部4个角落装有电磁铁，底座内与其相对应的位置也分别装有电磁铁。克服了现有的抛光装置对工件的尺寸和表面要求严格等问题，通过尺寸调整结构和压电传感器控制系统的互相配合，可以根据工件的尺寸大小和表面形貌进行尺寸和压力调整，从而达到固定工件和保证工件表面受力实时均匀的目的。
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公开(公告)号：CN102645202B
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201210145591.2
申请日：2012-05-11
Applicant: 厦门大学
IPC: G01B21/20
Abstract: 大口径非球面工件轮廓的测量方法，涉及一种非球面工件的测量。将等分的N段轮廓测量数据建立各自的局部坐标系，取L1段测量轮廓上的m个重叠测点进行最小二乘线性拟合得到轮廓特征线P1，再取L2段前端的m个重叠测点，同样利用最小二乘线性拟合得到轮廓特征线P21，然后以L1段轮廓所建坐标系为参考坐标系，对轮廓特征线P21进行坐标变换至与轮廓特征线P1重合，完成L1和L2段拼接。同理，可获得其他相邻两段测量轮廓的两两拼接，完成N段轮廓的拼接测量，并对拼接得到的完整工件轮廓曲线进行去倾斜处理，最终得到完整的工件表面轮廓特征。该方法可实现高精度小量程测量设备检测大口径元件。精度较高、通用性较好。
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公开(公告)号：CN103616008A
公开(公告)日：2014-03-05
申请号：CN201310616664.6
申请日：2013-11-28
Applicant: 厦门大学
IPC: G01B21/30
Abstract: 一种表面粗糙度仪探针保护装置，涉及表面粗糙度仪。设有支撑架结构、缓冲端帽结构、探针端部结构；支撑架结构设有支撑架、电磁铁和控位弹簧；支撑架左右两侧设有线圈，线圈和电磁铁相连接；电磁铁安装在支撑架底座上；控位弹簧安装在支撑架的上部中心位置；缓冲端帽结构设有缓冲端帽、小支架；缓冲端帽设有蝶形槽轨和小支架连接帽；缓冲端帽和支撑架之间通过控位弹簧连接；小支架上设有支撑脚，小支架安装在缓冲端帽上的小支架连接帽上，小支架与小支架连接帽之间螺接；探针端部结构设有微型滑轮、检出器、螺母、定位片、中轴、探针，中轴两端设有螺纹；中轴安装在检出器上，中轴左右两侧安装定位片、微型滑轮、螺母。方便、快捷，容易控制。
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公开(公告)号：CN103331694A
公开(公告)日：2013-10-02
申请号：CN201310314412.8
申请日：2013-07-24
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B39/06
Abstract: 一种抛光区域可调式抛光装置，涉及抛光装置。设有工作台、夹具、抛光盘自转机构、抛光盘倾斜机构；所述工作台设有底座、X轴承载板、X轴导轨、X轴滑块、X轴直线电机、Y轴承载板、Y轴导轨、Y轴滑块、Y轴直线电机、Z轴承载板、Z轴导轨、Z轴滑块、Z轴直线电机和竖直板；所述抛光盘自转机构设有抛光盘、端面抛光垫、圆面抛光垫、伺服电机及电机座；所述抛光盘倾斜机构设有一个旋转圆盘、弧形齿条、齿轮、伺服电机和电机座。可根据工件不同尺寸和形貌调整抛光位置和抛光方式，实现工件局部抛光、全局抛光和角度抛光，调整灵活，方便可行。
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公开(公告)号：CN103273423A
公开(公告)日：2013-09-04
申请号：CN201310249723.0
申请日：2013-06-21
Applicant: 厦门大学
IPC: B24B49/00
Abstract: 一种砂轮磨削声发射监测装置，涉及一种声发射监测装置。设有锁紧法兰、磁性转轴、壳体、环形磁极、永磁体、磁性滑道盘、限位块、环形锥面磁极、锥齿轮、手柄、挡圈、堵塞、端盖、磁流变液、声发射传感器座、声发射传感器和检测电路；锁紧法兰与外部磨床砂轮锁紧，磁性转轴左端与锁紧法兰连接，磁性转轴设有中空孔，中空孔开口端设有堵塞，中空孔盛有磁流变液，中空孔与磁性转轴外表面连通；壳体套在磁性转轴上；环形磁极和环形锥面磁极位于壳体内且均套设于磁性转轴上，环形锥面磁极左端与磁性滑道盘连接，磁性滑道盘左端与永磁体螺接，环形锥面磁极右端与锥齿轮啮合，检测电路设于壳体外部且与声发射传感器电连接。
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