微机电可调氮化物光波导器件及其制备方法

    公开(公告)号:CN103630967A

    公开(公告)日:2014-03-12

    申请号:CN201310107095.2

    申请日:2013-03-29

    Abstract: 本发明提供一种微机电可调氮化物光波导器件及其制备方法,其实现载体为高阻硅衬底氮化物晶片,该晶片包括顶层氮化物器件层和硅衬底层;所述顶层氮化物器件层的上表面具有光波导器件和微纳驱动器件结构,结合背后对准和深硅刻蚀技术,去除氮化物光波导器件和微纳驱动器件下方的硅衬底层,得到悬空氮化物光波导器件;采用氮化物背后减薄刻蚀技术,获得分离的氮化物光波导器件和微纳驱动器件;该方法能够实现高折射率硅衬底层和氮化物器件层的剥离,利用氮化物器件层和空气的折射率差异,实现氮化物光波导器件对光场的约束;相邻波导器件之间的距离可以通过微机电驱动器进行调控,由于耦合距离的改变,从而实现对光波导器件光学性能的调控。

    微机电可调氮化物谐振光栅及其制备方法

    公开(公告)号:CN103185918A

    公开(公告)日:2013-07-03

    申请号:CN201310085681.1

    申请日:2013-03-18

    Abstract: 本发明公开了一种微机电可调氮化物谐振光栅,实现氮化物谐振光栅和微型纳米静电驱动器的集成并提出了制备微机电可调氮化物谐振光栅的方法;该微机电可调氮化物谐振光栅实现在高阻硅衬底氮化物晶片上,采用薄膜沉积、电子束曝光、光刻、反应离子刻蚀、三五族刻蚀、深硅刻蚀等技术定义和刻蚀器件,并在器件下方形成空腔,完成悬空微型纳米静电驱动器和谐振光栅的集成;通过微型纳米静电驱动器调控谐振光栅的周期、占空比等结构参数,从而达到改变器件光学性能的目的。

    用于环境感知的硅衬底氮化镓光子集成芯片及其制造方法

    公开(公告)号:CN114975649A

    公开(公告)日:2022-08-30

    申请号:CN202210512124.2

    申请日:2022-05-11

    Abstract: 本发明提出了半导体领域内的一种用于环境感知的硅衬底氮化镓光子集成芯片,以硅衬底氮化物晶圆为载体,包括硅衬底层和氮化物外沿层,所述氮化物外延层的顶层设有发射器和接收器,所述发射器和接收器交替排列并且以阵列形式分布,所述发射器为带有亚波长超构表面的微型光源,所述接收器为带有亚波长超构表面的光电探测器,所述氮化物外延层带有连接发射器的正电极和负电极,所述氮化物外延层带有连接接受器的正电极和负电极,所述硅衬底层与电路板进行引线连接并结合构成芯片整体,本发明体积小,具有高度的集成性,检测精度高,可应用于无接触式光学传感器,提升周围复杂环境感知的准确度并促进无人驾驶、移动机器人等场景的发展。

    面向可见光通信的集成式可控开关型平面波导分路器及其制备方法

    公开(公告)号:CN110837149B

    公开(公告)日:2020-11-03

    申请号:CN201911132410.0

    申请日:2019-11-19

    Abstract: 本发明公开了一种面向可见光通信的集成式可控开关型平面波导分路器及制备方法,实现载体为硅衬底氮化物晶片,硅衬底氮化物晶片包括硅衬底层和位于硅衬底层上方的氮化物层,氮化物层上设置有作为光源的微LED器件、带有波导的MEMS静电梳齿驱动器、平面波导分路器和用于通电的镍/金电极。本发明体积小,具有高度的集成性,能够实现自由操控平面波导分路器与光源的切断与连通,可应用于光通信网络中,提升可见光通信技术在信息传输速率、信息处理速度和终端器件集成度等多方面的性能指标。

    一种硅衬底氮化物多量子阱同质集成的电光调制器及制备方法

    公开(公告)号:CN111628039A

    公开(公告)日:2020-09-04

    申请号:CN202010423176.3

    申请日:2020-05-19

    Abstract: 一种硅衬底氮化物多量子阱同质集成的电光调制器及制备方法,实现载体为带有多量子阱结构的硅衬底氮化物晶片,带有多量子阱结构的硅衬底氮化物晶片包括硅衬底层和位于其上方的包含多量子阱结构的氮化物外延层,氮化物外延层上设置有作为单波长光源、带有布拉格反射镜的波导型电光调制模块及光电探测器。本发明在悬空薄膜结构上实现了光源、电光调制模块和光电探测器的集成,在同质集成的电光调制器内可见光传输损耗和传输泄露低,能够对光信号进行高自由度和高响应速度的操控和调制。应用于光通信网络中,有利于提升可见光通信技术在信息传输速率、信息处理速度和终端器件集成度等多方面的性能指标。

    微机电可调氮化物谐振光栅制备方法

    公开(公告)号:CN104297843B

    公开(公告)日:2017-08-11

    申请号:CN201410492521.3

    申请日:2013-03-18

    Abstract: 本发明公开了一种微机电可调氮化物谐振光栅制备方法,实现氮化物谐振光栅和微型纳米静电驱动器的集成;该微机电可调氮化物谐振光栅实现在高阻硅衬底氮化物晶片上,采用薄膜沉积、电子束曝光、光刻、反应离子刻蚀、三五族刻蚀、深硅刻蚀等技术定义和刻蚀器件,并在器件下方形成空腔,完成悬空微型纳米静电驱动器和谐振光栅的集成;通过微型纳米静电驱动器调控谐振光栅的周期、占空比等结构参数,从而达到改变器件光学性能的目的。

    一种单方向发射的光泵浦氮化镓微激光器及其制备方法

    公开(公告)号:CN104009394A

    公开(公告)日:2014-08-27

    申请号:CN201410179543.4

    申请日:2014-04-30

    Abstract: 本发明公开了一种单方向发射的光泵浦氮化镓微激光器及其制备方法,以硅基氮化物晶片为载体,包括硅衬底层、设置在硅衬底层上表面一侧边缘的氮化镓平台、与氮化镓平台连接的氮化镓悬臂梁、与氮化镓悬臂梁连接的非对称薄膜微腔结构,非对称薄膜微腔结构下方设置有贯穿硅衬底层的空腔,使得非对称薄膜微腔结构和氮化镓悬臂梁完全悬空。该方法首先利用在硅衬底上的氮化镓材料,利用电子束刻蚀工艺和深硅刻蚀工艺制备悬臂梁支撑的非对称氮化镓悬空薄膜微腔,在合适的光泵浦条件下,获得单方向发射的回音壁模紫外激光。

    立体图像中基于互补掩盖方式的多模式误码掩盖方法

    公开(公告)号:CN101715139B

    公开(公告)日:2011-04-20

    申请号:CN200910234278.4

    申请日:2009-11-16

    Abstract: 立体图像中基于互补掩盖方式的多模式误码掩盖方法属于图像通信的技术领域。其具体过程为:首先同时按照光栅扫描顺序扫描,检测出左、右眼图像中第一个需要掩盖的块。考察参考帧搜索区域中是否包含无效像素。如果不包含,则进行边界匹配,并用匹配的块来掩盖,否则对误码块的四个邻域块进行块匹配,得到它们的视差矢量。剔除这四个视差矢量中偏差较大的矢量,把余下矢量求平均作为待处理误码块的视差矢量,并到参考帧中找到对应块来掩盖。如果对应块包含无效像素,则在当前帧中利用有效像素进行双线性内插方法处理无效像素部分。如果掩盖结果的边界连续度不佳,则改用方向插值方法掩盖。采用互补的方式处理两幅图像其余误码块,直至全部掩盖完毕。

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