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公开(公告)号：CN110837149A
公开(公告)日：2020-02-25
申请号：CN201911132410.0
申请日：2019-11-19
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G02B6/35
Abstract: 本发明公开了一种面向可见光通信的集成式可控开关型平面波导分路器及制备方法，实现载体为硅衬底氮化物晶片，硅衬底氮化物晶片包括硅衬底层和位于硅衬底层上方的氮化物层，氮化物层上设置有作为光源的微LED器件、带有波导的MEMS静电梳齿驱动器、平面波导分路器和用于通电的镍/金电极。本发明体积小，具有高度的集成性，能够实现自由操控平面波导分路器与光源的切断与连通，可应用于光通信网络中，提升可见光通信技术在信息传输速率、信息处理速度和终端器件集成度等多方面的性能指标。
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公开(公告)号：CN113066891A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110354218.7
申请日：2021-04-01
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01L31/173 , H01L31/0232 , H01L31/18 , G01N21/41
Abstract: 本发明揭示了一种基于多波导型定向耦合器的集成式芯片及其制备方法，所述芯片以晶圆为载体，所述晶圆上设置有发光二极管器件，所述发光二极管器件的出光端依次设置有调节组件及光电探测器，所述调节组件由多波导型定向耦合器及与置于所述多波导型定向耦合器上方，且与所述多波导型定向耦合器垂直相交的聚二甲基硅氧烷微流体通道构成。本发明采用以上技术方案与现有技术相比，产生的有益效果为：可以有效且快速的监测出待测液体的折射率等物理参数。
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公开(公告)号：CN110837149B
公开(公告)日：2020-11-03
申请号：CN201911132410.0
申请日：2019-11-19
Applicant: 南京邮电大学
IPC: G02B6/35
Abstract: 本发明公开了一种面向可见光通信的集成式可控开关型平面波导分路器及制备方法，实现载体为硅衬底氮化物晶片，硅衬底氮化物晶片包括硅衬底层和位于硅衬底层上方的氮化物层，氮化物层上设置有作为光源的微LED器件、带有波导的MEMS静电梳齿驱动器、平面波导分路器和用于通电的镍/金电极。本发明体积小，具有高度的集成性，能够实现自由操控平面波导分路器与光源的切断与连通，可应用于光通信网络中，提升可见光通信技术在信息传输速率、信息处理速度和终端器件集成度等多方面的性能指标。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111628039A
公开(公告)日：2020-09-04
申请号：CN202010423176.3
申请日：2020-05-19
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01L31/173 , H01L31/18 , G02F1/017 , G02F1/03
Abstract: 一种硅衬底氮化物多量子阱同质集成的电光调制器及制备方法，实现载体为带有多量子阱结构的硅衬底氮化物晶片，带有多量子阱结构的硅衬底氮化物晶片包括硅衬底层和位于其上方的包含多量子阱结构的氮化物外延层，氮化物外延层上设置有作为单波长光源、带有布拉格反射镜的波导型电光调制模块及光电探测器。本发明在悬空薄膜结构上实现了光源、电光调制模块和光电探测器的集成，在同质集成的电光调制器内可见光传输损耗和传输泄露低，能够对光信号进行高自由度和高响应速度的操控和调制。应用于光通信网络中，有利于提升可见光通信技术在信息传输速率、信息处理速度和终端器件集成度等多方面的性能指标。
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公开(公告)号：CN113066891B
公开(公告)日：2022-08-30
申请号：CN202110354218.7
申请日：2021-04-01
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01L31/173 , H01L31/0232 , H01L31/18 , G01N21/41
Abstract: 本发明揭示了一种基于多波导型定向耦合器的集成式芯片及其制备方法，所述芯片以晶圆为载体，所述晶圆上设置有发光二极管器件，所述发光二极管器件的出光端依次设置有调节组件及光电探测器，所述调节组件由多波导型定向耦合器及与置于所述多波导型定向耦合器上方，且与所述多波导型定向耦合器垂直相交的聚二甲基硅氧烷微流体通道构成。本发明采用以上技术方案与现有技术相比，产生的有益效果为：可以有效且快速的监测出待测液体的折射率等物理参数。
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公开(公告)号：CN113066890A
公开(公告)日：2021-07-02
申请号：CN202110354194.5
申请日：2021-04-01
Applicant: 南京邮电大学
IPC: H01L31/173 , H01L31/18 , G01H9/00
Abstract: 本发明揭示了一种红外光微型振动监测芯片及其制备方法，所述芯片包括一印刷线路板，所述印刷线路板上设置有晶圆，所述晶圆包括磷化铟衬底及设置于所述磷化铟衬底上的多量子阱外延层，所述多量子阱外延层内设置有红外光发射部件和红外光接收部件，所述红外光发射部件与所述红外光接收部件通过导线与所述印刷线路板连接。本发明采用以上技术方案与现有技术相比，产生的有益效果为：本发明的芯片对测量空间稳定性和几何光路尺寸的要求大幅度降低，安装操作方便，使用单个光电子芯片进行振动监测，成本低，操作方便，适用于多种不同的工作环境。
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公开(公告)号：CN110854247B
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN201911132448.8
申请日：2019-11-19
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS扫描微镜的发射方向可控的蓝光微LED器件及其制造方法，实现载体为蓝宝石衬底氮化物晶片和绝缘体上硅（SOI）晶片，蓝宝石衬底氮化物晶片包括顶层氮化物和位于顶层氮化物下部的蓝宝石衬底层，蓝宝石衬底层通过激光剥离技术将其剥离，顶层氮化物和镍/金电极构成阵列式微LED器件，SOI晶圆片顶层设置有MEMS扫描微镜，并通过阳极键合技术将扫描微镜与微LED集成，本发明在MEMS微镜上集成了阵列式微LED，可以做可见光通信或显示用的光源，也可以在可见光通信里作为光电接收模块。
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公开(公告)号：CN110854247A
公开(公告)日：2020-02-28
申请号：CN201911132448.8
申请日：2019-11-19
Applicant: 南京邮电大学
Abstract: 本发明公开了一种基于MEMS扫描微镜的发射方向可控的蓝光微LED器件及其制造方法，实现载体为蓝宝石衬底氮化物晶片和绝缘体上硅（SOI）晶片，蓝宝石衬底氮化物晶片包括顶层氮化物和位于顶层氮化物下部的蓝宝石衬底层，蓝宝石衬底层通过激光剥离技术将其剥离，顶层氮化物和镍/金电极构成阵列式微LED器件，SOI晶圆片顶层设置有MEMS扫描微镜，并通过阳极键合技术将扫描微镜与微LED集成，本发明在MEMS微镜上集成了阵列式微LED，可以做可见光通信或显示用的光源，也可以在可见光通信里作为光电接收模块。
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