间距与构型可调控的纳米颗粒有序阵列的制备方法

    公开(公告)号:CN100503423C

    公开(公告)日:2009-06-24

    申请号:CN200610040741.8

    申请日:2006-05-30

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 一种间距与构型可调控的纳米颗粒有序阵列的制备方法,它是将嵌段聚合物溶解于溶剂中,把溶液旋涂于衬底(5)上,置于称量瓶中内滴甲苯,用铝箔或棉布密封,制成有序图案模板,固定在衬底座(5)上,置于沉积室(8)中,抽真空,向冷凝室(6)内充入惰性气体,由原子化器(1)通过磁控溅射或高温蒸发产生原子气,经冷凝室(6)中的惰性气体冷凝生长成纳米粒子,通过喷嘴(2)形成高度定向纳米粒子束流(4);纳米粒子束流对模板衬底沉积,当覆盖率≤100%时停止沉积,便可得到线形纳米粒子阵列,或二维有序纳米粒子阵列。本发明方法具有工艺简单、成本低、高效率、易于规模化生产等特点。

    加热氧化层包裹金属纳米核壳结构形成纳米液体的喷射和调节方法

    公开(公告)号:CN1911530A

    公开(公告)日:2007-02-14

    申请号:CN200610088447.4

    申请日:2006-08-24

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 加热氧化层包裹金属纳米核壳结构形成纳米液体的喷射方法,在洁净非晶碳或硅衬底用真空离子刻蚀的方法去除其表面附着物加强结合力,在衬底上采用气相凝聚沉积来制备直径在40-100nm之间的低熔点金属纳米颗粒,低熔点金属是铅、锑、锡中的一种或二元合金;通入氧气,在颗粒表面形成厚度小于10nm的不均匀的氧化层;在1Pa的Ar气氛下,加热衬底使得内部纳米核心熔化并且体积扩张,从外氧化层薄弱处撑裂氧化层从而形成10-40纳米的表面破裂孔,加热温度为略低于核心金属的块体熔点10-60摄氏度,最终内部液体从喷口射出。

    化学气相输运生长新型磁性拓扑绝缘体制备方法及装置

    公开(公告)号:CN118756330A

    公开(公告)日:2024-10-11

    申请号:CN202410736483.5

    申请日:2024-06-07

    Abstract: 本发明公开了化学气相输运生长新型磁性拓扑绝缘体制备方法及装置。本发明的装置包括单温区管式炉、石英管高温原料端、石英管低温生长端、温度监测部件、温度控制部件;石英管高温原料端和石英管低温生长端处于单温区管式炉内,温度监测部件与所述温度控制部件分别于石英管低温生长端相接,用于控制石英管低温生长端的温度波动。本发明将原料单质锰、单质铋、单质碲和碘加入到真空状态下封闭石英管,匀速升温石英管低温生长端3的温度至所需要温度,运行程序在设定温度保持7天,得到相应的化学气相输运生长本征磁性拓扑绝缘体。本发明通过精确控制温度实现了本征磁性拓扑绝缘体的晶体生长以及磁性调控。

    一种低功耗的氢气检测方法及其装置和制备方法

    公开(公告)号:CN110726763B

    公开(公告)日:2021-11-16

    申请号:CN201910992375.3

    申请日:2019-10-18

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种低功耗的氢气检测方法及其装置和制备方法,该检测方法利用钯金属吸氢前和吸氢后的自旋轨道耦合强度不同,不同的自旋轨道耦合强度通过逆自旋霍尔效应表现出来,即通过钯金属与自旋极化层的异质结构,自旋极化层中的自旋信号会在的钯金属层中自发产生不一样的电流信号,实现氢气的检测。自旋极化层的自旋流在理论上具备无耗散的性质,而且钯金属层中的电流是自发形成的,不需要引入电源,因此减小了氢气检测的功耗,满足了传感小型化的目标。本发明既利用了钯金属层的自旋轨道耦合作用,又利用了钯金属层优异的氢敏特性,由于自旋无耗散的特点,使得这种结构的氢气检测方法能获得更小的功耗。

    一种原子级材料束流在真空中变温液体包覆收集方法与装置

    公开(公告)号:CN111721599A

    公开(公告)日:2020-09-29

    申请号:CN202010581261.2

    申请日:2020-06-23

    Applicant: 南京大学

    Inventor: 曹路 宋凤麒

    Abstract: 原子级材料束流在真空中变温液体包覆收集方法,使用流动的低蒸气压液体在真空中收集飞行的原子级材料束流,以液相对准材料束流照射面积并收集材料束流,液相采用低蒸气压特种液体。启动材料源产生原子级材料束流;选择所需的原子及材料尺寸,优化条件使其的产生量达到最高。将材料束流经过聚焦后引导至液体收集装置前,对准液体收集皿的收集口;收集时启动液体收集装置,使液体载体,在收集皿中来回循环流动。

    一种差分的空气动力学设计在气体团簇束流源应用与装置

    公开(公告)号:CN111705303A

    公开(公告)日:2020-09-25

    申请号:CN202010581263.1

    申请日:2020-06-23

    Applicant: 南京大学

    Inventor: 曹路 宋凤麒

    Abstract: 一种差分的空气动力学设计在气体团簇束流源应用,使用适用于气相冷凝团簇源冷凝腔出口处的特斯拉型不可动微阀;利用气流从特斯拉不可动微阀单向流动的低阻方向性,在较低真空泵组和冷凝气流量的条件下,维持冷凝腔高的气压和真空腔低的本底气压;将特斯拉不可动微阀的低阻方向和团簇源从高压冷凝腔到低压的真空腔的指向反向,使冷凝腔中气体不易进入真空腔体;同时控制特斯拉不可动微阀中与直形轨道接口连通的半环轨道个数,调节特斯拉不可动微阀单向流阻大小;高气压的冷凝腔实现更有效的团簇和纳米颗粒合成。

    一种纳米机电氢气传感器及其制备方法

    公开(公告)号:CN110702743A

    公开(公告)日:2020-01-17

    申请号:CN201910983310.2

    申请日:2019-10-16

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 本发明公开了一种纳米机电氢气传感器及其制备方法,其中传感器包括自下至上依次设置的衬底层和至少一层铁电层,位于最上层的铁电层上设置有至少一根金属纳米线,每根金属纳米线上设置有至少一个裂结,所述金属纳米线的两端分别连接设置于最上层的铁电层上第一电极层,位于最下层的铁电层与衬底层之间设置有第二电极层,或者第二电极层设置并连接于非最上层的铁电层的外围;本发明采用铁电层/金属纳米线及其裂结的复合结构作为纳米机电氢气传感器的敏感模块,既充分利用了金属纳米线及其裂结的氢敏特性,又利用了铁电层在循环电场作用下对裂结的开闭状态的控制,使得这种结构纳米机电氢气传感器能获得寿命长更高灵敏的氢敏特性。

    一种可集成的密集纳米颗粒单层膜氢气传感器的制备方法

    公开(公告)号:CN101482528B

    公开(公告)日:2013-01-02

    申请号:CN200910028487.3

    申请日:2009-01-23

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 一种可集成的密集纳米颗粒单层膜氢气传感器制备方法。其制备步骤为:首先,利用光刻方法在表面长有SiO2的硅片上得到梳状电极;然后,在制备好的电极上沉积钯纳米粒子,形成传感器单元;最后,将一系列具有不同的初始电导值的传感器单元并联起来构成氢气传感器。这种传感器具有快的响应速度和高的灵敏度,并且本发明的全部制备步骤可包含于标准的微电子器件制作流程中,用于实现传感单元与电子测量单元和数据处理单元的片上集成,获得微纳传感器件。也可以与微机械单元的制作步骤相衔接,用于微机电器件的制备中。

    制备微观数密度或尺寸梯度金属纳米粒子点阵的方法

    公开(公告)号:CN101983914A

    公开(公告)日:2011-03-09

    申请号:CN201010514268.9

    申请日:2010-10-21

    Applicant: 南京大学

    Abstract: 一种制备微观数密度或尺寸梯度金属纳米粒子点阵的方法,其步骤为(a)将掩模粘贴到涂覆高聚物膜或无定形碳膜的衬底上,并把衬底固定到衬底座上;(b)将衬底座安装到高真空沉积室中,使衬底处于金属纳米粒子束流中心;(c)通过气相聚集法团簇束流源产生金属靶材纳米粒子,纳米粒子随缓冲气体通过喷嘴形成高度定向、等效沉积率可精确控制的准直纳米粒子束流;(d)转动衬底座并进行束流沉积,控制衬底座的旋转角度范围和旋转方式制备连续梯度纳米粒子点阵或阶梯状梯度纳米粒子点阵。本发明方法具有高效、可控、低成本、工艺简单并易于规模化生产等特点。

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