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公开(公告)号：CN107941409B
公开(公告)日：2020-09-01
申请号：CN201710976931.9
申请日：2017-10-19
Applicant: 南京大学
IPC: G01L9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米粒子点阵的电阻式气体压力计，所述压力计包括密封空腔和电导测量外电路；其中，密封空腔的一端设有电极引线，另一端设有高分子聚合物薄膜，高分子聚合物薄膜在密封空腔中的一侧涂覆有至少一对金属微电极，金属微电极之间设有金属纳米粒子点阵；电导测量外电路上设有电极，电极与电极引线相连，并对应地连接到金属微电极上。本发明所述压力计具有很高的分辨率，能够稳定工作于不同气压范围的大气环境中；所述压力计结构简单，成本低，能够模块化制备与封装，可用于便携式个人气象站，三维GPS，微机电系统等多种领域。
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公开(公告)号：CN101482528A
公开(公告)日：2009-07-15
申请号：CN200910028487.3
申请日：2009-01-23
Applicant: 南京大学
Abstract: 一种可集成的密集纳米颗粒单层膜氢气传感器制备方法。其制备步骤为：首先，利用光刻方法在表面长有SiO2的硅片上得到梳状电极；然后，在制备好的电极上沉积钯纳米粒子，形成传感器单元；最后，将一系列具有不同的初始电导值的传感器单元并联起来构成氢气传感器。这种传感器具有快的响应速度和高的灵敏度，并且本发明的全部制备步骤可包含于标准的微电子器件制作流程中，用于实现传感单元与电子测量单元和数据处理单元的片上集成，获得微纳传感器件。也可以与微机械单元的制作步骤相衔接，用于微机电器件的制备中。
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公开(公告)号：CN103343317A
公开(公告)日：2013-10-09
申请号：CN201310289824.0
申请日：2013-07-11
Applicant: 南京大学
IPC: C23C14/08
Abstract: 一种基于纳米团簇束流沉积制备TiO2纳米颗粒减反膜的方法，包括以下步骤：（a）将基片固定于高真空沉积室内的基座上；（b）将整个团簇束流沉积系统抽真空，向冷凝室内充入惰性气体，通过原子化器产生高密度Ti原子,Ti原子在惰性气体中成核生长形成Ti团簇，依次通过喷嘴和准直器形成高度定向的Ti纳米团簇束流；（c）纳米团簇束流斜入射对基片沉积，利用纳米粒子在斜入射沉积过程中产生的自掩模效应形成多孔结构，在沉积过程中高真空沉积室内通入氧气，使Ti纳米颗粒薄膜氧化为TiO2纳米颗粒薄膜，或采用沉积/氧化交替进行的方式，使TiO2纳米颗粒在基片上达到所需的覆盖率及层数。本发明方法具有可控性强、工艺简单、成本低、高效率等特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101482528B
公开(公告)日：2013-01-02
申请号：CN200910028487.3
申请日：2009-01-23
Applicant: 南京大学
Abstract: 一种可集成的密集纳米颗粒单层膜氢气传感器制备方法。其制备步骤为：首先，利用光刻方法在表面长有SiO2的硅片上得到梳状电极；然后，在制备好的电极上沉积钯纳米粒子，形成传感器单元；最后，将一系列具有不同的初始电导值的传感器单元并联起来构成氢气传感器。这种传感器具有快的响应速度和高的灵敏度，并且本发明的全部制备步骤可包含于标准的微电子器件制作流程中，用于实现传感单元与电子测量单元和数据处理单元的片上集成，获得微纳传感器件。也可以与微机械单元的制作步骤相衔接，用于微机电器件的制备中。
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公开(公告)号：CN107941409A
公开(公告)日：2018-04-20
申请号：CN201710976931.9
申请日：2017-10-19
Applicant: 南京大学
IPC: G01L9/02
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米粒子点阵的电阻式气体压力计，所述压力计包括密封空腔和电导测量外电路；其中，密封空腔的一端设有电极引线，另一端设有高分子聚合物薄膜，高分子聚合物薄膜在密封空腔中的一侧涂覆有至少一对金属微电极，金属微电极之间设有金属纳米粒子点阵；电导测量外电路上设有电极，电极与电极引线相连，并对应地连接到金属微电极上。本发明所述压力计具有很高的分辨率，能够稳定工作于不同气压范围的大气环境中；所述压力计结构简单，成本低，能够模块化制备与封装，可用于便携式个人气象站，三维GPS，微机电系统等多种领域。
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公开(公告)号：CN103399047A
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：CN201310363453.6
申请日：2013-08-20
Applicant: 南京大学
Abstract: 本发明提出一种基于量子输运的钯纳米结构氢气传感器的温度补偿系统及方法，以从物理硬件上根本解决温度变化带来的传感器测量误差问题。该方法采用两个具有同类电阻-温度曲线的钯纳米结构氢气传感器芯片a和b，分别连接到差分器的输入端。这两个钯纳米结构氢气传感器芯片中，钯纳米结构氢气传感器芯片a暴露于氢气源，其电阻值的变化包含由于氢气气压或浓度变化所引起的及由于温度变化所引起的两部分；钯纳米结构氢气传感器芯片b被密封在一个壳体中，与外界气体隔离，其电阻值的变化仅由温度变化所引起，用于补偿温度引起的漂移。两者的传感信号经差分器的运算后乃可消去温度变化引起的氢气浓度测量偏差。
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公开(公告)号：CN105444872B
公开(公告)日：2019-11-05
申请号：CN201610003870.3
申请日：2016-01-04
Applicant: 南京大学
IPC: G01H11/06
Abstract: 本发明提供基于纳米粒子点阵量子输运特性的振动传感器，包括金属纳米粒子点阵(1)、带有微电极(3)的悬臂梁(2)、基础(4)和质块(5)；其中，纳米粒子点阵(1)制备于悬臂梁(2)表面且位于一对微电极(3)之间；悬臂梁(2)呈现长条状，一端固定于基础(4)上，另一端为自由端；在悬臂梁(2)的自由端附着质块(5)；以金属纳米粒子点阵(1)作为传感器的敏感材料；构成纳米粒子点阵(1)的材料是各种金属，纳米粒子的粒径为1‑500nm，纳米粒子的覆盖率在0.3‑0.99个单层之间。
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公开(公告)号：CN105444872A
公开(公告)日：2016-03-30
申请号：CN201610003870.3
申请日：2016-01-04
Applicant: 南京大学
IPC: G01H11/06
Abstract: 本发明提供基于纳米粒子点阵量子输运特性的振动传感器，包括金属纳米粒子点阵(1)、带有微电极(3)的悬臂梁(2)、基础(4)和质块(5)；其中，纳米粒子点阵(1)制备于悬臂梁(2)表面且位于一对微电极(3)之间；悬臂梁(2)呈现长条状，一端固定于基础(4)上，另一端为自由端；在悬臂梁(2)的自由端附着质块(5)；以金属纳米粒子点阵(1)作为传感器的敏感材料；构成纳米粒子点阵(1)的材料是各种金属，纳米粒子的粒径为1-500nm，纳米粒子的覆盖率在0.3-0.99个单层之间。
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