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公开(公告)号:CN103065154A
公开(公告)日:2013-04-24
申请号:CN201210544669.8
申请日:2012-12-13
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06K9/62
Abstract: 本发明公开了一种提高二分类支持向量机分类精度的方法,步骤为:在待分类的样本空间中获取训练样本,得到2p个具有n个维度训练样本;利用训练样本集进行支持向量机训练,获取分类边界权系数向量w;利用支持向量机对所有训练样本进行映射,统计出所有被错误识别的训练样本集I1;按绝对值的大小对向量w中的每一个分量进行排序;找出排序最后的分量并剔除;重复m次,训练样本的维度减少到n-m;剔除掉这些错误训练样本;对剩余的训练样本进行支持向量机训练,该支持向量机即为最优支持向量机。本发明可以筛选出训练样本中的最优维度,剔除训练样本集中的劣质训练样本,进而从源头上保证并提高了分类精度。
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公开(公告)号:CN102381679A
公开(公告)日:2012-03-21
申请号:CN201110335136.4
申请日:2011-10-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: B81C1/00
CPC classification number: C09J7/00 , B81B2203/0361 , B81B2207/056 , B81C99/0085 , C09J2201/626
Abstract: 一种仿壁虎毛的干性粘合剂制作方法,针对目前湿性粘合剂易退化、易污染、自粘附等缺点,以及目前干性粘合剂复杂繁琐的制作方式,通过研究自然界中壁虎脚毛的微纳层次结构特征,采用ICP刻蚀工艺与厚胶工艺相结合制作出一种SU-8胶与硅的复合模具,然后通过微模塑的方式一次成型得到高深宽比的微纳层次结构纤维阵列,该结构模拟自然界壁虎的结构特征,具有强效的粘附特性。本发明包括基于ICP刻蚀工艺的硅母板制作、基于厚胶工艺的复合模具制作以及基于微模塑成型的双层纤维阵列制作。本发明能制作出接近自然界中壁虎脚毛参数的微纳层次结构,是一种既能适应不同表面又能轻易主动脱附的强效干性粘合剂,且制作成本低廉、方法简易。
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公开(公告)号:CN109580551A
公开(公告)日:2019-04-05
申请号:CN201811455824.2
申请日:2018-11-30
Applicant: 武汉颐光科技有限公司 , 华中科技大学
Abstract: 本发明属于检测与测量领域,并公开了一种傅里叶变换红外穆勒矩阵椭偏仪及其测量方法。该椭偏仪包括光源调制模块、起偏调制模块、检偏调制模块、样品台和控制模块,其中:光源调制模块包括红外光源、迈克尔逊干涉仪和离轴抛物镜,起偏调制模块包括起偏器和第一旋转相位延迟器;样品台上方摆放待测样品;检偏调制模块包括第二旋转相位延迟器、检偏器和红外光电探测器;控制模块包括电机驱动控制器和计算机。本发明通过引入傅里叶变换仪可以实现红外光谱范围的快速准确测量;并且选用双菱形菲涅尔棱镜能够实现全光谱范围内消色差的功能;此外,本发明通过使用步进式双旋转相位延迟器的调制方式,可以在一次测量中获得待测样品的全穆勒矩阵信息。
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公开(公告)号:CN103424839B
公开(公告)日:2015-05-06
申请号:CN201310320167.1
申请日:2013-07-26
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: G01B11/272 , G02B5/3083 , G02B27/62
Abstract: 本发明公开了一种复合波片光轴对准方法,首先,将待对准的复合波片中的一个单波片固定不动,将另外一个单波片与旋转装置相连,使两个单波片之间产生相对转动;然后将偏振光垂直投射在待对准复合波片上,并用探测器探测从待对准复合波片上出射的光强信号,分析得到复合波片的等效光谱参数,与设计的理想值进行比较,得到其差值的波动曲线;最后转动旋转装置,使两个单波片产生相对转动,检测等效光谱参数与理想值之间差值的波动幅度变化,直至波动消失或者波动幅值小于限定值,则可认为完成了复合波片光轴对准。该方法可以实现对复合波片光轴进行高精度对准,原理简单,容易操作,并且对准精度可控。
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公开(公告)号:CN104501738A
公开(公告)日:2015-04-08
申请号:CN201410855944.7
申请日:2014-12-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G03F7/00 , G01B11/0641 , G01B11/24 , G01B2210/56 , G01N2021/214 , G03F7/70625
Abstract: 本发明公开了一种纳米尺度下快速大面积海量散射场测量的装置,包括:起偏端,用于将光束进行调制得到一定偏振态的光束;检偏端,用于将偏振态光束进行解调以获得样品信息;还包括物镜和第一透镜,待测样品位于物镜的前焦面上,偏振态光束经过该第一透镜聚焦在物镜的后焦面,待测样品散射光被物镜收集并成像于其后焦面,进而成像于图像采集装置上;以及扫描振镜,用于使得所述物镜出射到样品上的光束角度改变,获得待测样品不同入射角下的散射场分布图像,实现对待测样品纳米尺度下的快速精确的形貌测量。本发明还公开了相应的测量方法。本发明可以实现对待测样品多入射角下散射场快速采集,获得待测样品散射场在物镜后焦面上分布。
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公开(公告)号:CN104344891A
公开(公告)日:2015-02-11
申请号:CN201410594725.8
申请日:2014-10-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种广义椭偏仪光强自动调整装置及其控制方法。装置主要包括计算机、光谱仪、伺服电机控制器、直流伺服电机、增量式编码器和中性密度滤光片转盘。在广义椭偏仪硬件连接完成的情况下,根据光谱仪采集的光谱曲线是否饱和以及是否绝大部分在光谱仪线性响应区间来决定是否要转动直流伺服电机,从而带动中性密度滤波片转盘转动以切换中性密度滤波片来改变光源照射出来的光强大小。本发明可以实现对双旋转补偿器广义椭偏仪光强自动调整,且响应快速,操作简单。
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公开(公告)号:CN103559329A
公开(公告)日:2014-02-05
申请号:CN201310452328.2
申请日:2013-09-27
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明公开了一种光学散射测量中粗糙纳米结构特性参数的测量方法,可以对IC制造中所涉及纳米结构的结构参数和粗糙度特征参数进行非接触、非破坏的测量。首先,通过仿真分析的手段,选出最优测量配置与最优等效介质模型;其次,将上述仿真结果运用于实际纳米结构的测量,包括:在最优测量配置下,对实际纳米结构进行光学散射测量,获得测量光谱;运用基于最优等效介质模型的参数提取算法,对测量光谱进行分析,获得提取参数的数值;通过提取参数与待测参数间稳定性最佳的映射关系式对提取参数进行映射,获得待测参数的数值。
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公开(公告)号:CN103424881A
公开(公告)日:2013-12-04
申请号:CN201310320411.4
申请日:2013-07-26
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种菲涅尔棱镜相位延迟器,其由两斜方棱镜各以其一端的倾斜底面相互贴合形成对称结构而构成,通过选择相应折射率的棱镜材料以及确定斜方棱镜斜角,入射光束经其中一个斜方棱镜另一端的倾斜底面垂直入射到该斜方棱镜,经其相对的两侧面依次进行两次全反射后通过两斜方棱镜的贴合面入射到另一斜方棱镜,并同样经该斜方棱镜的相对的两侧面依次进行两次全反射后出射,即可得到该双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪所需求的相位延迟量。该相位延迟器能够在包括紫外、可见以及红外的波段内实现良好的消色差性能,并且对光束入射角不敏感,同时便于加工,可用作双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪的旋转补偿器,能够适应双旋转补偿器穆勒矩阵椭偏仪对宽光谱波段及127°相位延迟量的要求。
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公开(公告)号:CN103424839A
公开(公告)日:2013-12-04
申请号:CN201310320167.1
申请日:2013-07-26
Applicant: 华中科技大学
CPC classification number: G01B11/272 , G02B5/3083 , G02B27/62
Abstract: 本发明公开了一种复合波片光轴对准方法,首先,将待对准的复合波片中的一个单波片固定不动,将另外一个单波片与旋转装置相连,使两个单波片之间产生相对转动;然后将偏振光垂直投射在待对准复合波片上,并用探测器探测从待对准复合波片上出射的光强信号,分析得到复合波片的等效光谱参数,与设计的理想值进行比较,得到其差值的波动曲线;最后转动旋转装置,使两个单波片产生相对转动,检测等效光谱参数与理想值之间差值的波动幅度变化,直至波动消失或者波动幅值小于限定值,则可认为完成了复合波片光轴对准。该方法可以实现对复合波片光轴进行高精度对准,原理简单,容易操作,并且对准精度可控。
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公开(公告)号:CN103134592A
公开(公告)日:2013-06-05
申请号:CN201310040729.7
申请日:2013-01-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01J3/447
Abstract: 本发明公开了一种透射式全穆勒矩阵光谱椭偏仪及其测量方法,方法是将起偏臂产生的调制光线投射到待测样件表面,检偏臂将待测样件反射(或透射)的光线解调并接收,通过对测量光谱进行谐波分析,计算获得待测样件的全穆勒矩阵信息,并通过非线性回归,库匹配等算法拟合提取待测样件的光学常数,特征形貌尺寸等信息。椭偏仪包括起偏臂(包括光源,透镜组,起偏器和伺服电机驱动的补偿器),待测样件和检偏臂(包括伺服电机驱动的补偿器,检偏器,透镜组和光谱仪)。本发明可实现各种信息光电子功能材料和器件,以及纳米制造中各种纳米结构的在线测量,具有非破坏性,快速和低成本的特点。
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