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公开(公告)号：CN103063412B
公开(公告)日：2015-05-06
申请号：CN201210552014.5
申请日：2012-12-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种用于光学测量仪器样品台校准的系统及方法。在椭偏仪直通式的情况下进行光路系统的对准，包括前光路和后光路的对准；在椭偏仪斜入射式粗调样品台上的旋钮，使得检偏臂光学接收器孔能够接受到一部分光束；微调样品台上的旋钮，使表示光束的十字光标出现在中心位置；以l为步长令系统前部和系统后部在Z轴方向上进行扫描，并记录在每个高度位置时探测器接受到的总光强，绘制出一条光强曲线，系统自动选取光强值最大点处为样品台最优相对高度位置。系统主要包括光源，起偏臂，前置四象限探测器，检偏臂，分光镜，内置四象限探测器，CCD探测器和计算机。该方法可以实现对样品台的倾斜角度及高度进行高精确校准，且响应快速，操作简单。
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公开(公告)号：CN103411890B
公开(公告)日：2015-12-02
申请号：CN201310302367.4
申请日：2013-07-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/21
Abstract: 本发明公开了一种旋转补偿器型椭偏仪系统误差评估及消除方法该方法，包括首先建立待优化椭偏仪的系统模型，并求的待测样品穆勒矩阵解析表达式；然后通过对泰勒展开，获得n阶旋转补偿器型椭偏仪椭偏仪系统误差与元件误差之间的关系。最后改变旋转补偿器型椭偏仪起检器与检偏器方位角，经过四次测量，并求得四次测量结果的均值，这个均值就是已消除了椭偏仪系统误差的待测样品的穆勒矩阵。本发明方法可以获得旋转补偿器型椭偏仪由元件误差导致的系统误差的解析表达式，计算过程明确，系统误差的消除方法操作简单可行，可以适用于现有不同结构类型旋转补偿器型椭偏仪。
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公开(公告)号：CN104344891A
公开(公告)日：2015-02-11
申请号：CN201410594725.8
申请日：2014-10-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种广义椭偏仪光强自动调整装置及其控制方法。装置主要包括计算机、光谱仪、伺服电机控制器、直流伺服电机、增量式编码器和中性密度滤光片转盘。在广义椭偏仪硬件连接完成的情况下，根据光谱仪采集的光谱曲线是否饱和以及是否绝大部分在光谱仪线性响应区间来决定是否要转动直流伺服电机，从而带动中性密度滤波片转盘转动以切换中性密度滤波片来改变光源照射出来的光强大小。本发明可以实现对双旋转补偿器广义椭偏仪光强自动调整，且响应快速，操作简单。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN104344891B
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：CN201410594725.8
申请日：2014-10-29
Applicant: 华中科技大学
Abstract: 本发明公开了一种广义椭偏仪光强自动调整装置及其控制方法。装置主要包括计算机、光谱仪、伺服电机控制器、直流伺服电机、增量式编码器和中性密度滤光片转盘。在广义椭偏仪硬件连接完成的情况下，根据光谱仪采集的光谱曲线是否饱和以及是否绝大部分在光谱仪线性响应区间来决定是否要转动直流伺服电机，从而带动中性密度滤波片转盘转动以切换中性密度滤波片来改变光源照射出来的光强大小。本发明可以实现对双旋转补偿器广义椭偏仪光强自动调整，且响应快速，操作简单。
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公开(公告)号：CN103426031B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201310302341.X
申请日：2013-07-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06Q10/04
Abstract: 本发明公开了一种椭偏仪系统参数优化方法，包括首先建立待优化椭偏仪的系统模型，并得到包含椭偏仪系统参数的矩阵W；然后计算椭偏仪系统矩阵W在不同椭偏仪系统参数下的条件数；再次计算出每个椭偏仪系统参数下矩阵W条件数的最大值与最小值的差值，并按差值从大到小顺序排列；最后根据差值的排列顺序，优化每个椭偏仪系统参数，重复n次优化后，选取排列最前的系统参数，求得其n次优化后最小条件数值与第n-1次优化时矩阵W最小条件数值之间的差值，当差值大小满足要求时，则认为第n次优化后的椭偏仪系统参数为当前椭偏仪的最优系统参数。本发明方法过程明确、简单，最优参数的选定标准灵活可变，可以适用于现有不同结构类型的椭偏仪的优化。
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公开(公告)号：CN103426031A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201310302341.X
申请日：2013-07-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06Q10/04
Abstract: 本发明公开了一种椭偏仪系统参数优化方法，包括首先建立待优化椭偏仪的系统模型，并得到包含椭偏仪系统参数的矩阵W；然后计算椭偏仪系统矩阵W在不同椭偏仪系统参数下的条件数；再次计算出每个椭偏仪系统参数下矩阵W条件数的最大值与最小值的差值，并按差值从大到小顺序排列；最后根据差值的排列顺序，优化每个椭偏仪系统参数，重复n次优化后，选取排列最前的系统参数，求得其n次优化后最小条件数值与第n-1次优化时矩阵W最小条件数值之间的差值，当差值大小满足要求时，则认为第n次优化后的椭偏仪系统参数为当前椭偏仪的最优系统参数。本发明方法过程明确、简单，最优参数的选定标准灵活可变，可以适用于现有不同结构类型的椭偏仪的优化。
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公开(公告)号：CN103411890A
公开(公告)日：2013-11-27
申请号：CN201310302367.4
申请日：2013-07-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01N21/21
Abstract: 本发明公开了一种旋转补偿器型椭偏仪系统误差评估及消除方法该方法，包括首先建立待优化椭偏仪的系统模型，并求的待测样品穆勒矩阵解析表达式；然后通过对泰勒展开，获得n阶旋转补偿器型椭偏仪椭偏仪系统误差与元件误差之间的关系。最后改变旋转补偿器型椭偏仪起检器与检偏器方位角，经过四次测量，并求得四次测量结果的均值，这个均值就是已消除了椭偏仪系统误差的待测样品的穆勒矩阵。本发明方法可以获得旋转补偿器型椭偏仪由元件误差导致的系统误差的解析表达式，计算过程明确，系统误差的消除方法操作简单可行，可以适用于现有不同结构类型旋转补偿器型椭偏仪。
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公开(公告)号：CN103063412A
公开(公告)日：2013-04-24
申请号：CN201210552014.5
申请日：2012-12-18
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01M11/02
Abstract: 本发明公开了一种用于光学测量仪器样品台校准的系统及方法。在椭偏仪直通式的情况下进行光路系统的对准，包括前光路和后光路的对准；在椭偏仪斜入射式粗调样品台上的旋钮，使得检偏臂光学接收器孔能够接受到一部分光束；微调样品台上的旋钮，使表示光束的十字光标出现在中心位置；以l为步长令系统前部和系统后部在Z轴方向上进行扫描，并记录在每个高度位置时探测器接受到的总光强，绘制出一条光强曲线，系统自动选取光强值最大点处为样品台最优相对高度位置。系统主要包括光源，起偏臂，前置四象限探测器，检偏臂，分光镜，内置四象限探测器，CCD探测器和计算机。该方法可以实现对样品台的倾斜角度及高度进行高精确校准，且响应快速，操作简单。
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