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公开(公告)号：CN104501738A
公开(公告)日：2015-04-08
申请号：CN201410855944.7
申请日：2014-12-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G03F7/00 , G01B11/0641 , G01B11/24 , G01B2210/56 , G01N2021/214 , G03F7/70625
Abstract: 本发明公开了一种纳米尺度下快速大面积海量散射场测量的装置，包括：起偏端，用于将光束进行调制得到一定偏振态的光束；检偏端，用于将偏振态光束进行解调以获得样品信息；还包括物镜和第一透镜，待测样品位于物镜的前焦面上，偏振态光束经过该第一透镜聚焦在物镜的后焦面，待测样品散射光被物镜收集并成像于其后焦面，进而成像于图像采集装置上；以及扫描振镜，用于使得所述物镜出射到样品上的光束角度改变，获得待测样品不同入射角下的散射场分布图像，实现对待测样品纳米尺度下的快速精确的形貌测量。本发明还公开了相应的测量方法。本发明可以实现对待测样品多入射角下散射场快速采集，获得待测样品散射场在物镜后焦面上分布。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN105043294B
公开(公告)日：2017-09-01
申请号：CN201510364705.6
申请日：2015-06-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种适用于纳米级三维形貌测量的远场矢量光学特性建模方法，包括:获得探测样品近场处的矢量电磁场分布，并经由采用高NA物镜的偏振光学系统执行传播，由此依次执行近场至入瞳、入瞳至出瞳，以及出瞳至探测平面的传播过程；将近场处的矢量电磁场分布转换为入瞳处的矢量电场分布，接着将入瞳处的矢量电场分布相应转变为出瞳处的矢量电场分布；计算得出最终探测平面的矢量电场分布。以上过程还可包括根据琼斯矩阵理论，获得探测样品在不同入射角下的穆勒矩阵分布的步骤。通过本发明，能够以便于操控、高灵敏度和高测量精度的方式实现对纳米级三维形貌特征的测量，并尤其适用于微电子集成电路或微机电系统之类的应用场合。
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公开(公告)号：CN106844825A
公开(公告)日：2017-06-13
申请号：CN201611094546.3
申请日：2016-12-01
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明属于光学测量相关技术领域，其公开了一种电磁散射建模中分离可变参数的快速算法，其包括以下步骤：(1)根据电磁散射建模的对象来确定包含可变参数的算子及参数域；(2)将所述参数域离散为采样点数目递增的N重采样网格，其中N为正整数，获得N个参数训练集合；(3)利用逐级自适应优化策略在第一重采样网格上构造具有预定精度的近似空间；(4)以第i‑1(i为大于1的正整数)重采样网格上的近似空间的基函数为基础，在第i重采样网格上构造与所述第i‑1重采样网格上的近似空间的精度相同的近似空间；(5)重复步骤(4)直至i等于N，所述N重采样网格上的近似空间的基函数的集合即为最终的近似空间的基函数。
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公开(公告)号：CN104501738B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：CN201410855944.7
申请日：2014-12-31
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/24
CPC classification number: G03F7/00 , G01B11/0641 , G01B11/24 , G01B2210/56 , G01N2021/214 , G03F7/70625
Abstract: 本发明公开了一种纳米尺度下快速大面积海量散射场测量的装置，包括：起偏端，用于将光束进行调制得到一定偏振态的光束；检偏端，用于将偏振态光束进行解调以获得样品信息；还包括物镜和第一透镜，待测样品位于物镜的前焦面上，偏振态光束经过该第一透镜聚焦在物镜的后焦面，待测样品散射光被物镜收集并成像于其后焦面，进而成像于图像采集装置上；以及扫描振镜，用于使得所述物镜出射到样品上的光束角度改变，获得待测样品不同入射角下的散射场分布图像，实现对待测样品纳米尺度下的快速精确的形貌测量。本发明还公开了相应的测量方法。本发明可以实现对待测样品多入射角下散射场快速采集，获得待测样品散射场在物镜后焦面上分布。
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公开(公告)号：CN106709152A
公开(公告)日：2017-05-24
申请号：CN201611064289.9
申请日：2016-11-28
Applicant: 华中科技大学
IPC: G06F17/50
CPC classification number: G06F17/5018
Abstract: 本发明公开了一种电磁散射建模中快速构造低维减基空间的方法。首先，从待仿真结构的几何域或几何边界中选出决定最终输出变量的域或边界，称之为主域或主边界。其次，基于原始的高维模型，构造关于主域内或主边界上变量的高维部分模型，并在参数化环境中针对高维部分模型构造减基空间，所得称为部分减基空间。最后，将高维部分模型投影至部分减基空间得到近似的低维模型，并以低维模型的求解代替原始高维模型的求解，提高仿真模型求解效率。本方法尤其适合于最终输出变量仅由高维模型中的部分解决定的情况。与传统减基法相比，本方法不仅进一步降低了减基空间的维度(对应地，进一步减小了低维模型的维度)，而且极大地提高了减基空间的构造速度。
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公开(公告)号：CN105043294A
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：CN201510364705.6
申请日：2015-06-26
Applicant: 华中科技大学
IPC: G01B11/24
Abstract: 本发明公开了一种适用于纳米级三维形貌测量的远场矢量光学特性建模方法，包括:获得探测样品近场处的矢量电磁场分布，并经由采用高NA物镜的偏振光学系统执行传播，由此依次执行近场至入瞳、入瞳至出瞳，以及出瞳至探测平面的传播过程；将近场处的矢量电磁场分布转换为入瞳处的矢量电场分布，接着将入瞳处的矢量电场分布相应转变为出瞳处的矢量电场分布；计算得出最终探测平面的矢量电场分布。以上过程还可包括根据琼斯矩阵理论，获得探测样品在不同入射角下的穆勒矩阵分布的步骤。通过本发明，能够以便于操控、高灵敏度和高测量精度的方式实现对纳米级三维形貌特征的测量，并尤其适用于微电子集成电路或微机电系统之类的应用场合。
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