一种快速制备等离子刻蚀机用高纯氧化钇涂层的方法

    公开(公告)号:CN104357785A

    公开(公告)日:2015-02-18

    申请号:CN201410648588.1

    申请日:2014-11-14

    Abstract: 本发明公开了一种快速制备等离子刻蚀机用高纯氧化钇涂层的方法,该方法包括以下步骤:1)零件待喷涂表面预处理和对无涂层区域进行胶带防护;2)采用北京矿冶研究总院生产(或具有同等性能参数)的高纯氧化钇粉末,纯度≥99.9%、粒度分布为20-40微米;3)采用三阳极等离子喷涂系统+多轴机械手的方案进行快速喷涂。本发明采用的喷涂方法相比传统等离子喷涂法能够有效降低基体热输入(基体温度低于100℃),提高了涂层纯度和均匀性,在1-2分钟内快速制备出厚度为120-180微米,纯度≥99%的高纯氧化钇陶瓷涂层,提高了极大规模集成电路刻蚀机零件的抗高能等离子冲蚀性能和使用寿命。

    一种稀土改性氧化锆热障涂层用蜂窝状结构球形粉末材料的制备方法

    公开(公告)号:CN102557626A

    公开(公告)日:2012-07-11

    申请号:CN201110418473.X

    申请日:2011-12-14

    Abstract: 本发明提供了一种稀土改性氧化锆热障涂层用蜂窝状结构球形粉末材料及其制备方法,通过采用前驱体直接团聚制粒-烧结致密化的工艺合成稀土改性蜂窝状结构粉末材料。包括将稀土元素与锆元素按照预定重量比例与水混合制成水溶液,加入碱液调节溶液pH值,使水溶液发生共沉淀反应,将白色沉淀陈化数小时得到前驱体凝胶;对前驱体凝胶使用预定介质进行洗涤,直到用硝酸银检测不到氯离子为止;将洗涤后的前驱体凝胶与预定介质按照一定比例进行混合获得混合溶液,向混合溶液中加入适量的分散剂和粘结剂,调制出适用于可控蜂窝状多孔结构的料浆配方,再通过喷雾干燥将浆料制成团聚粉末材料;对团聚粉末材料进行预定时间的致密化处理后,制得蜂窝状结构的球形粉末材料;制备的粉末具有高松装密度、良好流动性等特点,粉末的微观组织为布满均匀孔隙的蜂窝状结构。

    一种热喷涂用低氧含量高收得率球形铝青铜合金粉末及制备方法

    公开(公告)号:CN102162079A

    公开(公告)日:2011-08-24

    申请号:CN201110077780.6

    申请日:2011-03-30

    Abstract: 本发明涉及了一种热喷涂用低氧含量高收得率球形铝青铜合金粉末及制备方法,其采用真空熔炼—惰气雾化方法制备铝青铜合金粉末,成分为:铝:1-20wt%,铁:0-5wt%,氧:≤120ppm,铜:余量;粒度为:25~124μm,主体在25~45μm范围内。25~124μm一次粉末收得率≥75%。采用该粉末制备的软支撑耐磨涂层硬度HR15T≥89,结合强度≥35MPa,氧化物含量为0.8~1.5wt%,孔隙率在8~11%之间。解决了粉末球形度差、一次粉末收得率低、涂层中氧化物含量及硬度超标等技术问题。该粉末可作为一种软质耐磨涂层材料以及铜铝/镍石墨封严涂层材料的原材料,粉末的热喷涂工艺适应性及涂层性能与采用传统铝青铜合金粉末相比,氧化物含量更低,涂层的性能更好。

    一种动压气浮轴承用高强度低磁性的轻质硬质合金及制备方法

    公开(公告)号:CN102162057A

    公开(公告)日:2011-08-24

    申请号:CN201110077774.0

    申请日:2011-03-30

    Abstract: 本发明提供了一种动压气浮轴承用高强度低磁性的轻质硬质合金及制备方法,该硬质合金具有低密度(<5.5g/cm3)、高强度、无剩磁(矫顽力为0)的特点,本发明所述的硬质合金其组成物(以重量百分比计算,下同)为:0~20%的WC/Ni;0.5~5%烧结助剂;余量为TiC(C,N)/Ni-Mo,其硬质合金中各组分的总和为100%。所述轻质硬质合金通过将原料充分混合均匀后,用放电等离子体烧结技术(SPS)制备而成。

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