公开(公告)号：CN209584367U

公开(公告)日：2019-11-05

申请号：CN201920153423.5

申请日：2019-01-29

Applicant: 北京石墨烯研究院 ,  北京大学

Inventor： 刘忠范 ,  彭海琳 ,  高翾 ,  张金灿 ,  刘晓婷 ,  马瑞 ,  李广亮 ,  孙禄钊 ,  贾开诚

IPC: C23C16/44 ,  C23C16/458 ,  C23C16/26

Abstract: 本实用新型提供了一种化学气相沉积装置，用于制备薄膜材料，包括第一腔室、第二腔室、过渡腔室、底盘以及传送机构。第一腔室和第二腔室用于薄膜材料的生长或后处理。过渡腔室通过隔离件分别连通于第一腔室和第二腔室。底盘用于装载生长衬底。传送机构被配置为在第一腔室和过渡腔室之间传送底盘，以及在第二腔室和过渡腔室之间传送底盘。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利

公开(公告)号：CN210572024U

公开(公告)日：2020-05-19

申请号：CN201921124479.4

申请日：2019-07-16

Applicant: 北京石墨烯研究院 ,  北京大学

Inventor： 刘忠范 ,  彭海琳 ,  张金灿 ,  刘晓婷 ,  李广亮 ,  张月新 ,  贾开诚 ,  孙禄钊

IPC: G01N21/94 ,  G01N21/01

Abstract: 本实用新型一实施方式提供了一种评估石墨烯洁净度的装置，包括依次排布的预热区、负载区以及成像区；所述预热区包括第一加热器，所述预热区用以对待评估的石墨烯进行预热；所述负载区包括熏蒸部件，所述负载区用以将熏蒸样品负载于所述石墨烯的表面；所述成像区用以为负载有熏蒸样品的所述石墨烯采集图像。本实用新型一实施方式的评估石墨烯洁净度的装置，可实现石墨烯洁净度的无损、快速评估。

公开(公告)号：CN210388943U

公开(公告)日：2020-04-24

申请号：CN201921241233.5

申请日：2019-08-02

Applicant: 北京石墨烯研究院 ,  北京大学

Inventor： 刘忠范 ,  彭海琳 ,  刘晓婷 ,  张金灿 ,  李广亮 ,  张月新

IPC: B25B11/00

Abstract: 本实用新型提供了一种用于制备单晶化铜箔的载具，包括多个用于承载待处理的铜箔的支撑板以及用于支撑支撑板的板架，板架包括底板和侧板，底板的上表面设有多个限位部，多个支撑板的一端分别连接于多个限位部。多个支撑板的另一端向侧板方向倾斜，且距离侧板最近的支撑板抵接于侧板。多个支撑板层叠设置，且相邻两个支撑板之间设有隔离块，用以限定两个相邻支撑板之间的距离为一设定距离。