一种扫描/透射电子显微镜关联分析用真空移动装置

    公开(公告)号:CN106098520B

    公开(公告)日:2017-10-13

    申请号:CN201610617959.9

    申请日:2016-07-30

    Abstract: 本发明公开了一种扫描/透射电子显微镜关联分析用真空移动装置,包括与扫描电镜相连接的真空腔体,其内部的二维平移台以及透射电镜样品杆偏心套筒;真空腔体前端与扫描电镜腔体法兰连接;真空腔体设置有二维平移台外接旋钮;腔体内部安装有用于实现SEM电子束成像区域精确选择的二维平移台,及其上的透射电镜样品杆偏心套筒,实现成像区域的Z轴微调。本发明结合TEM的高分辨成像和局部区域高精度成分获取和SEM能够获得大范围样品的形貌和成分的优点,实现精确定位样品研究区域、微观、纳米尺度相结合的研究样品的显微结构、成分、物相等信息;同时可用于对透射电镜加热、通电、液体及其一体化样品杆的初步测试,以保障透射电镜的安全。

    一种增强ZnO微米线/纳米线紫外发光强度的方法

    公开(公告)号:CN104576849B

    公开(公告)日:2017-02-22

    申请号:CN201410812473.1

    申请日:2014-12-22

    Abstract: 一种增强ZnO微米线/纳米线紫外发光强度的方法,基于ZnO微纳结构的光电系统和发光器件在半导体技术,生物医学,能源环境等领域的应用。本发明步骤如下:衬底的清洗:采用单晶硅片为复合基底中的衬底,分别采用丙酮和乙醇进行超声波清洗;在Si衬底上生长一层厚度为60~70nm的Au膜;在Au膜上生长一层SiO2薄膜做为介质层,得到Si-Au-SiO2复合基底,SiO2薄膜厚度为5~100nm,其中紫外增强效果最明显的SiO2薄膜厚度为5~10nm(或者:SiO2薄膜厚度为5~10nm);采用具有 取向的ZnO纳米线/微米线,将ZnO微米线/纳米线放入乙醇溶液或蒸馏水中,经超声波分散3~5min后,用滴管滴在Si-Au-SiO2复合基底上。复合基底上的ZnO微米线/纳米线的紫外发光强度,比无复合基体的发光强度明显增加。

    基于压电陶瓷驱动的透射电子显微镜双轴倾转原位力学样品杆

    公开(公告)号:CN105758711A

    公开(公告)日:2016-07-13

    申请号:CN201610237986.3

    申请日:2016-04-17

    CPC classification number: G01N3/02

    Abstract: 基于压电陶瓷驱动的透射电子显微镜双轴倾转原位力学样品杆属于材料显微结构?力学性能原位表征领域,包括杆身主体和压电陶瓷驱动系统两部分。样品杆杆身主体包括倾转台、样品杆、直线步进电机、驱动杆、驱动连杆。压电陶瓷驱动系统包括压电陶瓷载台、压电陶瓷、连接座及可实现拉伸或压缩功能的样品载台。通过步进电机使驱动杆前后往复运动,实现样品在X和Y轴的双轴倾转。通过施加电压使压电陶瓷产生位移并通过连接座来推动样品载台,从而实现对样品的拉伸或压缩。本发明与高分辨TEM配合,在进行原子尺度、甚至亚埃尺度显微结构观测的同时,对纳米材料进行可控变形,进行实现材料显微结构—力学性能的一体化研究,揭示材料的形变机制。

    一种用于扫描电镜真空环境的高温测试装置

    公开(公告)号:CN105043572A

    公开(公告)日:2015-11-11

    申请号:CN201510488027.4

    申请日:2015-08-10

    Abstract: 本文公开了一种用于模拟扫描电镜真空环境的高温测试装置,测试在高、低真空环境及大气环境(10-5~105Pa)下,目标点的温度分布,并可测试施加热防护措施后对目标测试点温度降低的效果,测温范围为-40~1600℃。该测温装置包括:真空室及真空装置,热电偶测温组件,电极法兰组件,支撑法兰组件,加热台装置,及热防护挡板。本装置结构设计简单,测温精度高,测温范围广,适用于测试不同类型扫描电镜及真空设备中的温度分布。

    透射电子显微镜原位高温定量化力学实验台

    公开(公告)号:CN109883828B

    公开(公告)日:2024-06-25

    申请号:CN201910149394.X

    申请日:2019-02-28

    Abstract: 本发明实施例涉及材料原位微纳实验力学技术领域,提供的透射电子显微镜原位高温定量化力学实验台,包括:样品杆本体、倾转台、驱动模块和用于获取样品在温度‑应力耦合条件下的应力‑应变信息的微机电系统一体化测试器件;样品杆本体的内部安装有直线步进电机和驱动杆,倾转台的连接部与样品杆本体转动连接;直线步进电机与驱动杆连接,用于使驱动杆沿着样品杆本体的长度方向往复直线运动,从而实现倾转台的安装部的旋转;驱动模块安装于倾转台的安装部,用于对微机电系统一体化测试器件上的样品进行力学加载。该透射电子显微镜原位高温定量化力学实验台,可实现对微纳米尺度样品的定量化高温力学测试,并通过双轴倾转实时获得最佳观察角度。

    一种多悬臂热双金属驱动器及其制备方法

    公开(公告)号:CN110299274B

    公开(公告)日:2024-04-12

    申请号:CN201910459264.6

    申请日:2019-05-29

    Abstract: 本发明涉及基于透射电镜的纳米材料原位表征技术领域,提供了一种多悬臂热双金属驱动器及其制备方法,多悬臂热双金属驱动器包括本体,本体包括主动区和设置在所述主动区两侧的被动区;主动区开设第一开口,每个被动区开设第二开口,第一开口与被动区之间的连接部设为第一搭载梁,第二开口与主动区之间的连接部设为第二搭载梁;第一开口与所述第二开口通过连接通道相连通;每个第二搭载梁与第二开口上相对第二搭载梁的侧壁之间各自构成一个压缩驱动位置;本发明结构简单、制备方便,便于批量化生产,实现了在不同温度下进行TEM原位力学实验,还可根据需要灵活设计驱动器结构,满足不同的驱动需求。

    一种原位拉伸装置及其制备方法

    公开(公告)号:CN110261221A

    公开(公告)日:2019-09-20

    申请号:CN201910430801.4

    申请日:2019-05-22

    Abstract: 本发明涉及纳米材料力学性能与显微结构原位表征技术领域,提供一种原位拉伸装置及其制备方法,所述的制备方法包括:在MEMS力学芯片上对搭载的板料进行切割操作,得到第一拉伸辅助件、第二拉伸辅助件和预拉伸样品;对预拉伸样品进行减薄操作,以得到拉伸样品;第一拉伸辅助件连接MEMS力学芯片的第一搭载侧,拉伸样品的两端分别连接第二拉伸辅助件与MEMS力学芯片的第二搭载侧;第一拉伸辅助件与第二拉伸辅助件相嵌套成勾套结构;本发明设计巧妙、操作便捷,实现了在MEMS力学芯片上直接制备拉伸样品和用于辅助拉伸的勾套结构,可以有效防止拉伸样品在实验前出现变形或损坏的问题,提高了拉伸实验的成功率和检测结果的准确性。

    一种热双金属拉伸驱动器及其制备方法

    公开(公告)号:CN110243679A

    公开(公告)日:2019-09-17

    申请号:CN201910459279.2

    申请日:2019-05-29

    Abstract: 本发明涉及基于透射电镜的纳米材料原位表征技术领域,提供了一种热双金属拉伸驱动器及其制备方法,热双金属拉伸驱动器包括本体和第一开口、第二开口;本体包括主动区和设置在主动区两侧的被动区;主动区上开设第一开口,每个被动区上开设第二开口,第一开口与被动区之间的连接部设为第一搭载梁,第二开口与主动区之间的连接部设为第二搭载梁,且第一搭载梁与第二搭载梁并行连接;主动区上的两根第一搭载梁之间构成拉伸驱动位置;本发明结构简单、制备方便,通过一体式结构设计,便于批量化生产,并实现了在不同温度下进行TEM原位拉伸实验,同时可根据需要灵活设计驱动器的结构,满足了不同的驱动需求。

    一种原位热电性能测试装置、制备方法及系统

    公开(公告)号:CN109975348A

    公开(公告)日:2019-07-05

    申请号:CN201910172947.3

    申请日:2019-03-07

    Abstract: 本发明实施例提供一种原位热电性能测试装置、制备方法及系统,在包括中空结构的基底上依次设有器件层和功能层,功能层和器件层中设有贯穿功能层和器件层并与中空结构连通的长槽;功能层的上表面位于长槽的两侧分别设有对称的第一加热电阻和第二加热电阻,能对样品的两端分别进行独立的温度控制;器件层中,第一加热电阻下方设有第一方形微孔,在第二加热电阻下方设有第二方形微孔,使得加热高温能聚集在装置的中空加热区域,降低装置功率;通过测量样品两端的电势差和样品的电阻率,可获取样品的塞贝克系数以及电导率随温度的变化情况,将样品的微纳米结构与测得的热电性能参数变化对应,可获取样品的微纳米结构与热电性能参数变化的直接关系。

    材料力学性能原位测试装置及其测试系统

    公开(公告)号:CN109580348A

    公开(公告)日:2019-04-05

    申请号:CN201811492915.3

    申请日:2018-12-07

    Abstract: 本发明涉及力学性能测试及微观原位表征技术领域,公开了一种材料力学性能原位测试装置及其测试系统,材料力学性能原位测试装置包括扫描电子显微镜以及置于扫描电子显微镜的腔体内的力学实验台;力学实验台包括支撑框架以及设于支撑框架上的夹具机构、驱动机构和测量机构;支撑框架连接扫描电子显微镜的移动平台,夹具机构包括用于同时夹持和加热样品的夹具;驱动机构用于驱动夹具机构,以使样品产生应力和应变;测量机构用于测量应力和应变。该材料力学性能原位测试装置的夹具机构能够同时夹持和加热样品,可以实现对样品进行原位高温、高精度、高应力的测试,实现了对力学性能试验的连续、稳定、精准的控制和监测。

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