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公开(公告)号：CN103020349A
公开(公告)日：2013-04-03
申请号：CN201210526667.6
申请日：2012-12-08
Applicant: 清华大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明涉及一种等离子体刻蚀工艺中刻蚀产额的建模方法，属于微电子加工过程中对刻蚀过程模拟技术领域；该方法包括：将刻蚀产额模型进行参数化表示；采用优化算法来优化得到刻蚀产额模型中的最优控制参数；在优化过程中，通过刻蚀剖面演化方法来计算每组控制参数的优劣（适应值），作为优化算法选择、生成下一步控制参数集的依据。将得到最优的模型控制参数代入到模型参数化公式中，即得到刻蚀产额的模型。本发明可避免实验中的测量仪器对模型的影响，解决测量代价高的问题；同时通用性好，利用该模型，可以实现相同工艺条件下，对不同刻蚀时间不同尺度沟槽进行模拟。
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公开(公告)号：CN101738981A
公开(公告)日：2010-06-16
申请号：CN200910241745.6
申请日：2009-12-04
Applicant: 清华大学
IPC: G05B19/18
Abstract: 本发明涉及基于机器学习的机器人磨削方法，属于磨削加工领域，该方法包括：在砂带工作的各个阶段，对不同材质的工件进行磨削，得到工件与砂轮的接触力，工件磨削面的曲率和磨削量，加工速度；利用原始数据，采用机器学习的方法进行动力学模型建模及初始化机器人自适应动力学模型集；根据原始动力学模型和磨削时当前工况条件的测量数据，建立当前机器人自适应动力学模型，并将该模型加到机器人自适应动力学模型集M中；本发明可实现高精度磨削，降低生产成本，提高加工效率。
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公开(公告)号：CN100539499C
公开(公告)日：2009-09-09
申请号：CN200610012093.5
申请日：2006-06-02
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于网络安全技术领域，其特征在于，该系统由资源服务器、网络应用服务器、安全终端和监控单元构成，资源服务器提供所有安全终端使用的包括操作系统、应用软件和数据文件在内的资源，且给每个资源一个安全级别；监控单元根据资源的安全级别，为使用该资源的安全终端分配一个相等的安全级别，并监控安全终端之间、安全终端与资源用务器、网络应用服务器之间的通信，并提出相应的监控策略：安全终端只能与安全级别与自身相等的其它安全终端通信，安全终端的安全级别取决于资源的安全级别：当资源的安全级别高于安全终端时，安全终端获取资源的安全级别作其安全级别，否则，安全终端的安全级别不变。本发明有更高的安全性与主动性。
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公开(公告)号：CN100527170C
公开(公告)日：2009-08-12
申请号：CN200610153032.0
申请日：2006-09-20
Applicant: 清华大学
IPC: G06T15/00
Abstract: 本发明涉及一种复杂表情仿真系统及其实现方法，系统由人脸采集模块、控制对象生成模块、基础表情数据库模块、组合表情数据库模块、表情合成模块和表情生成模块构成，它能够根据人脸拓扑和解剖学结构在三维人脸模型上提取脸部辐射肌、嘴部轮匝肌、眼皮、眼球和下巴等控制对象，根据控制参数控制三维人脸模型上的点进行变换，生成各种基础表情，同时还能够将多个基础表情组合起来生成复杂的仿真表情。本发明大大提高了计算机和机器人的人性化，可以应用于许多研究领域和应用领域。
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公开(公告)号：CN101246601A
公开(公告)日：2008-08-20
申请号：CN200810101501.3
申请日：2008-03-07
Applicant: 清华大学
IPC: G06T15/70
Abstract: 本发明涉及基于关键帧和时空约束的三维虚拟人体运动生成方法，属于计算机三维动画技术领域，该方法包括：使用骨骼结构的多刚体模型作为三维虚拟人体运动控制的几何模型，由几何模型中确定的所有表示自由度的角度参数构成的矢量作为虚拟人体静态姿势形式化描述的参数；制作最小运动跨度和最大运动跨度两个关键帧时刻的人体静态姿势；对运动的时间序列进行等时间或非等时间采样，确定的每个时间采样点的角度偏移量，得出待生成运动过程中各时间采样点的角度参数；再生成该时刻虚拟人体的静态姿势并确定位置参数，生成虚拟人体在三维空间中的运动全过程。该方法无需特殊的视频捕获设备，提高了三维人体动画制作的简易性，具有方便、高效、灵活的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN100355056C
公开(公告)日：2007-12-12
申请号：CN200510135546.9
申请日：2005-12-30
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明涉及一种片盒中硅片状态检测及其圆心重定位方法，属于IC制造技术领域。该状态检测为：设置大、中、小光强阈值分别为IO1、I1、I2，检测第一个传感器对的接收光强为IS1，若IS1＝IO1，则槽中无硅片，当IO1＞IS1＞I1为槽中只有一个硅片，I1≥IS1＞I2为槽中硅片重叠，若IS1≤I2则为硅片倾斜；该硅片圆心重定位的方法为：设定圆心对中的硅片边缘和第一个传感器对光路相切时，第二个传感器对接收光强为IO2，在该时刻检测第二个传感器对接收光强为IS2，比较IS2与IO2，根据两者的差值计算出移动距离d，然后通过传输机械手移动来补偿该硅片的圆心偏差。本发明的方法使用简便，硬件成本低廉。
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公开(公告)号：CN1889502A
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：CN200610012091.6
申请日：2006-06-02
Applicant: 清华大学
IPC: H04L12/54
Abstract: 本发明属于星形网络安全技术领域，其特征在于：智能服务器收到各客户机要求的涉密文件后，根据涉密文件的安全级别为相应的客户机设定一个密级，相应地建立一个星形网络中所有客户机的IP地址与他们的根据该安全级别划分的密级的对应表，设定属于同一个组密级类别的客户机之间允许通讯；若不属于同一组内的各客户机之间拒绝通讯；当某一客户机获取的涉密文件安全级别因文件的不同而改变时，便判断是否需要改变该客户机的密级。本发明具有很强的自适应性，克服了目前由管理员手工配置的缺点。
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公开(公告)号：CN1889427A
公开(公告)日：2007-01-03
申请号：CN200610012093.5
申请日：2006-06-02
Applicant: 清华大学
Abstract: 本发明属于网络安全技术领域，其特征在于，该系统由资源服务器、网络应用服务器、安全终端和监控单元构成，资源服务器提供所有安全终端使用的包括操作系统、应用软件和数据文件在内的资源，且给每个资源一个安全级别；监控单元根据资源的安全级别，为使用该资源的安全终端分配一个相等的安全级别，并监控安全终端之间、安全终端与资源服务器、网络应用服务器之间的通信，并提出相应的监控策略：安全终端只能与安全级别与自身相等的其它安全终端通信，安全终端的安全级别取决于资源的安全级别：当资源的安全级别高于安全终端时，安全终端获取资源的安全级别作其安全级别，否则，安全终端的安全级别不变。本发明有更高的安全性与主动性。
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公开(公告)号：CN1432453A
公开(公告)日：2003-07-30
申请号：CN03104670.3
申请日：2003-02-21
Applicant: 清华大学
IPC: B25J13/00
Abstract: 本发明属于计算机应用技术领域，涉及开放式结构机器人控制器的电机控制方法。包括建立开放式机器人控制器的电机控制的(TOPN)模型；根据各个对象的时间约束条件，模型的整体时间约束条件，并将各个对象的时间约束条件转化成相对于整个模型被执行时的相对时间约束条件；构建TOPN模型的状态变化图，利用佩里特网的推导规则，将TOPN模型中所有的对象推导变换成时间佩里特网的形式；应用时间佩里特网的推理方法和定理来判断模型中对象行为的一致性，如果模型中对象行为是一致的，则使用该模型可以实现对于电机的正确控制。本发明可以提前发现电机控制中功能和性能上的不足，从而减小开放式机器人控制器系统的开发成本。
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公开(公告)号：CN102194031B
公开(公告)日：2012-10-10
申请号：CN201110135120.9
申请日：2011-05-24
Applicant: 清华大学
IPC: G06F17/50
Abstract: 本发明属于微电子加工中刻蚀过程模拟领域，提供了一种用蒙特卡罗(MC)和元胞自动机(CA)技术实现的等离子干法三维刻蚀过程的模拟方法。该方法从模拟刻蚀复杂刻蚀图形的角度出发，采用蒙特卡罗方法计算等离体中各种粒子输运到表面元胞的流量，利用表面刻蚀模型来计算刻蚀对象表面的刻蚀速度，再用元胞自动机方法实现复杂刻蚀图形表面轮廓刻蚀过程的模拟，为准确模拟三维复杂图形的刻蚀过程提供了一个方法。本发明可实现模拟复杂的刻蚀图形的刻蚀过程，为刻蚀参数配置提供指导，降低生产成本，提高加工效率。
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