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公开(公告)号：CN101361010B
公开(公告)日：2010-08-25
申请号：CN200780001633.2
申请日：2007-01-18
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大上秀晴
CPC classification number: G02B5/22 , C23C14/0635 , C23C14/20 , C23C14/35 , C23C14/562
Abstract: 吸收型多层膜ND滤光片，在由树脂膜构成的基板的至少一个面上，具有交互层叠氧化物介电体膜层与吸收膜层而形成的吸收型多层膜，其特征在于，通过波长550nm的消光系数为0.005～0.05的SiCyOx膜(0＜y≤0.1、1.5＜x＜2)构成上述氧化物介电体膜层，该SiCyOx膜通过采用以SiC及Si作为主成分的成膜材料的物理气相生长法成膜；并且，通过波长550nm的折射率为1.5～3.0、消光系数为1.5～4.0的金属膜构成上述吸收膜层，该金属膜通过物理气相生长法成膜，同时，吸收型多层膜的最外层由上述氧化物介电体膜层构成。
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公开(公告)号：CN101170365A
公开(公告)日：2008-04-30
申请号：CN200710181425.7
申请日：2007-10-25
Applicant: 住友金属矿山株式会社
CPC classification number: H04B10/40
Abstract: 一种双向光通信模块，具有发光元件(1)、光纤(8)、受光元件(9)及波长选择滤光器(4)，该发光元件用于射出发送信号光，发送信号光入射到该光纤中，从光纤射出的接收信号光入射到该受光元件中，而且，通过光纤发送发光元件射出的发送信号光，通过光纤接收接收信号光，其特征是具有光学元件(光隔离器)，该光学元件由反射型偏振器(6)、法拉第旋转器(5)和吸收型偏振器(3)构成，该反射型偏振器粘接在光纤端面，法拉第旋转器与反射型偏振器成一体设置，吸收型偏振器设置在发光元件和波长选择滤光器间的光路上，而且，反射型偏振器具有波长依赖性，即，反射型偏振器对发送信号光起偏振器的功能，而对接收信号光不会起偏振器的功能。
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公开(公告)号：CN1725045A
公开(公告)日：2006-01-25
申请号：CN200510084879.3
申请日：2005-07-18
Applicant: 住友金属矿山株式会社
CPC classification number: G02B5/22
Abstract: 本发明涉及吸收型多层膜ND滤光器，该吸收型多层膜ND滤光器具有包括基板和、以镍(Ni)为主要成分的金属层和SiO2、Al2O3或它们的混合物制成的电介质层在基板上交替层叠而形成的光学多层体的结构。在作为光衰减层的上述金属层上，由于使用了可视光区域中分光透射率的波长依赖性小的镍系金属材料，因此可以实现相对于波长能够获得平坦的透射率衰减的ND滤光器。
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公开(公告)号：CN112011780B
公开(公告)日：2025-01-03
申请号：CN202010454239.1
申请日：2020-05-26
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大上秀晴
Abstract: 本发明的课题是提供难以在与冷却罐辊的外周面接触的长树脂膜表面等形成划痕的真空成膜装置和真空成膜方法。其特征在于，具备：将在卷出辊(110)卷绕的长树脂膜(1)卷出的卷出室(100)；在从卷出室供给的长树脂膜的第一面侧形成金属膜的成膜室(400)；以及将形成有金属膜的长树脂膜卷取到卷取辊(541)的卷取室(500)。成膜室具有将辊对辊搬送的长树脂膜卷绕到外周面并冷却的旋转驱动的冷却罐辊(431)，以及沿该冷却罐辊的外周面配置的施加热负荷的成膜机构(432)～(435)。在该真空成膜装置中，在上述卷出室与成膜室之间设置有使保护膜(301)在搬送中的长树脂膜的第二面侧重合从而使保护膜夹在冷却罐辊与长树脂膜之间的保护膜重合室(300)。
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公开(公告)号：CN111247267B
公开(公告)日：2022-06-28
申请号：CN201880068264.7
申请日：2018-10-04
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大上秀晴
Abstract: 本发明的课题是提供一种不会从未卷绕有长条基板的筒辊的非缠膜部区域泄漏冷却用气体的筒辊以及使用该筒辊的长条基板处理装置。本发明是一种带有气体释放机构的筒辊，经由通过旋转环单元(21)与固定环单元(22)构成的旋转接头来有选择性地对设置于筒辊的多个气体导入通路供给气体，所述筒辊的特征在于，嵌入在固定环单元的环状凹槽(27a)内的圆弧状填料部件(42)，通过填料安装夹具(43)的活塞部件向旋转环单元的旋转开口部(23a)侧施力来安装，关闭旋转开口部从而防止从非缠膜部区域泄露气体。另外，活塞部件的活塞轴(91)的行程范围受到限制，即使圆弧状填料部件磨耗，由于活塞轴(91)的前端不会从旋转开口部侧突出，因此也能够防止旋转开口部的破损。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114207180A
公开(公告)日：2022-03-18
申请号：CN202080056223.3
申请日：2020-06-24
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大上秀晴
Abstract: 本发明提供要求简便的成膜条件的光学膜(含有铯、钨以及氧的复合钨氧化物膜)、溅射靶以及光学膜的成膜方法。本发明的光学膜在可见光波长区域具有透过性，在近红外波长区域具有吸收性，而且具有电波透过性，所述光学膜含有铯、钨以及氧，按每50nm划分300nm～1700nm的波长区域而确定的各波长[300nm、350nm、400nm、450nm、……1700nm]的折射率n和消光系数k分别设定为特定的数值范围内。
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公开(公告)号：CN106796464B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201580045991.8
申请日：2015-08-25
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大上秀晴
IPC: B32B7/02 , C23C14/00 , C23C14/08 , C23C14/18 , C23C14/35 , C23C14/56 , C23C28/02 , G06F3/041 , G06F3/044 , H05K1/02
Abstract: 本发明的课题在于，提供一种即使在高亮度照明下也难以视觉辨认由金属制细线构成的电路图案的电极基板膜和用于所述电极基板膜的层叠体膜。本发明的解决方案是一种电极基板膜，其具有透明基板(52)和金属制的层叠细线，其特征在于，层叠细线的线宽为20μm以下，并且具有从透明基板侧开始计数的第一层的膜厚为20nm以上且30nm以下的金属吸收层(51)和第二层的金属层(50)，在可见光波长区域(400～780nm)的金属吸收层的光学常数为：在波长400nm的折射率为2.0～2.2，消光系数为1.8～2.1；在波长500nm的折射率为2.4～2.7，消光系数为1.9～2.3；在波长600nm的折射率为2.8～3.2，消光系数为1.9～2.5；在波长700nm的折射率为3.2～3.6，消光系数为1.7～2.5；在波长780nm的折射率为3.5～3.8，消光系数为1.5～2.4，并且，由透明基板与金属吸收层的界面反射导致的可见光波长区域的平均反射率为20％以下，并且可见光波长区域的最高反射率与最低反射率的差为10％以下。
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公开(公告)号：CN111225995A
公开(公告)日：2020-06-02
申请号：CN201880067481.4
申请日：2018-10-04
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大上秀晴
Abstract: 本发明提供一种不会从未卷绕有长条基板的筒辊(56)的非缠膜部区域泄漏冷却用气体的筒辊以及使用该筒辊的长条基板处理装置。本发明是一种带有气体释放机构的筒辊，通过由具有滑动面的旋转环单元(21)与固定环单元(22)构成的旋转接头(20)来有选择性地对设置于筒辊的多个气体导入通路(14)供给上述气体，所述筒辊的特征在于，通过嵌入在固定环单元的环状凹槽(27a)内的圆弧状填料部件(42)将设置于旋转环单元的滑动面的旋转开口部(23a)关闭从而防止从非缠膜部区域泄漏气体，并且所应用的圆弧状填料部件在与旋转环单元的气体控制用滑动接触面相对的一面具有端部倾斜面(42b)。在按压填料部件的状态下将其固定时，通过上述端部倾斜面(42b)的作用从而避免填料部件端部的上浮。
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公开(公告)号：CN101361010A
公开(公告)日：2009-02-04
申请号：CN200780001633.2
申请日：2007-01-18
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大上秀晴
CPC classification number: G02B5/22 , C23C14/0635 , C23C14/20 , C23C14/35 , C23C14/562
Abstract: 吸收型多层膜ND滤光片，在由树脂膜构成的基板的至少一个面上，具有交互层叠氧化物介电体膜层与吸收膜层而形成的吸收型多层膜，其特征在于，通过波长550nm的消光系数为0.005～0.05的SiCyOx膜(0＜y≤0.1、1.5＜x＜2)构成上述氧化物介电体膜层，该SiCyOx膜通过采用以SiC及Si作为主成分的成膜材料的物理气相生长法成膜；并且，通过波长550nm的折射率为1.5～3.0、消光系数为1.5～4.0的金属膜构成上述吸收膜层，该金属膜通过物理气相生长法成膜，同时，吸收型多层膜的最外层由上述氧化物介电体膜层构成。
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公开(公告)号：CN100426014C
公开(公告)日：2008-10-15
申请号：CN200510084879.3
申请日：2005-07-18
Applicant: 住友金属矿山株式会社
CPC classification number: G02B5/22
Abstract: 本发明涉及吸收型多层膜ND滤光器，该吸收型多层膜ND滤光器具有包括基板和、以镍(Ni)为主要成分的金属层和SiO2、Al2O3或它们的混合物制成的电介质层在基板上交替层叠而形成的光学多层体的结构。在作为光衰减层的上述金属层上，由于使用了可视光区域中分光透射率的波长依赖性小的镍系金属材料，因此可以实现相对于波长能够获得平坦的透射率衰减的ND滤光器。
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