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公开(公告)号：CN112930421B
公开(公告)日：2024-07-26
申请号：CN201980071295.2
申请日：2019-09-20
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大上秀晴
Abstract: 本发明提供一种在金属种子层上通过湿镀法形成的金属膜不易产生针孔的带金属膜的树脂膜的制造装置和制造方法。本发明的带金属膜的树脂膜的制造装置的特征在于，具备：长条树脂膜放卷辊(600)，卷绕有使用真空成膜法成膜有金属种子层的长条树脂膜(601)，该长条树脂膜(601)的层间夹入有长条衬纸(603)；长条衬纸收卷辊(602)，从由所述放卷辊(600)放卷的长条树脂膜分离长条衬纸并将该长条衬纸收卷；湿镀槽(642)～(645)，将分离了长条衬纸的长条树脂膜搬入所述湿镀槽并在该长条树脂膜的金属种子层上形成金属膜；以及长条树脂膜收卷辊(641)，将形成有金属膜的长条树脂膜收卷，对分离了长条衬纸的长条树脂膜的金属种子层表面进行洗涤的大气压等离子体洗涤装置设置在上述放卷辊(600)与湿镀槽之间。
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公开(公告)号：CN117280073A
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202280034365.9
申请日：2022-02-21
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大上秀晴
IPC: C23C14/34
Abstract: 本发明提供溅射靶，将表示通过溅射法成膜的铯钨氧化物膜的W与Cs的原子数之比的nCs/nW设定在能够发挥出可视波长区域的高透过性及近红外波长区域的吸收性的期望范围(0.3以上且0.36以下)。其特征在于，该溅射靶含有Cs与W，将成膜时的靶与被成膜体间的距离设为[T‑S距离]、环境的压力设为P、靶所含的W的原子数设为nW、Cs的原子数设为nCs时，表示靶的W与Cs的原子数之比的nCs/nW(T)相对于[T‑S距离]与P满足下述(式1)，0.09/{(‑000161×[T‑S距离]+0.00559)×P+0.346}≤nCs/nW(T)≤0.13/{(‑000161×[T‑S距离]+0.00559)×P+0.346}(式1)。
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公开(公告)号：CN114729441A
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN202080077867.0
申请日：2020-06-24
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大上秀晴
IPC: C23C14/08
Abstract: 本发明提供能简便求出成膜条件的光学膜(含有铯、钨以及氧的复合钨氧化物膜)、溅射靶以及成膜方法。本发明的光学膜在可见光波长区域具有透过性、在近红外波长区域具有吸收性、并且具有电波透过性，所述光学膜含有铯、钨以及氧，300nm的折射率n和消光系数k以及按每200nm划分400nm～2400nm的波长区域而确定的各波长[400nm、600nm、……2400nm]的折射率n和消光系数k分别设定为将图1所示的光学常数波长分散图中的折射率的最大值和最小值图示化的“n‑最大值”和“n‑最小值”的范围内、以及将上述光学常数波长分散图中的消光系数的最大值和最小值图示化的“k‑最大值”和“k‑最小值”的范围内。
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公开(公告)号：CN111225995B
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN201880067481.4
申请日：2018-10-04
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大上秀晴
Abstract: 本发明提供一种不会从未卷绕有长条基板的筒辊(56)的非缠膜部区域泄漏冷却用气体的筒辊以及使用该筒辊的长条基板处理装置。本发明是一种带有气体释放机构的筒辊，通过由具有滑动面的旋转环单元(21)与固定环单元(22)构成的旋转接头(20)来有选择性地对设置于筒辊的多个气体导入通路(14)供给上述气体，所述筒辊的特征在于，通过嵌入在固定环单元的环状凹槽(27a)内的圆弧状填料部件(42)将设置于旋转环单元的滑动面的旋转开口部(23a)关闭从而防止从非缠膜部区域泄漏气体，并且所应用的圆弧状填料部件在与旋转环单元的气体控制用滑动接触面相对的一面具有端部倾斜面(42b)。在按压填料部件的状态下将其固定时，通过上述端部倾斜面(42b)的作用从而避免填料部件端部的上浮。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111247267A
公开(公告)日：2020-06-05
申请号：CN201880068264.7
申请日：2018-10-04
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大上秀晴
Abstract: 本发明的课题是提供一种不会从未卷绕有长条基板的筒辊的非缠膜部区域泄漏冷却用气体的筒辊以及使用该筒辊的长条基板处理装置。本发明是一种带有气体释放机构的筒辊，经由通过旋转环单元(21)与固定环单元(22)构成的旋转接头来有选择性地对设置于筒辊的多个气体导入通路供给气体，所述筒辊的特征在于，嵌入在固定环单元的环状凹槽(27a)内的圆弧状填料部件(42)，通过填料安装夹具(43)的活塞部件向旋转环单元的旋转开口部(23a)侧施力来安装，关闭旋转开口部从而防止从非缠膜部区域泄露气体。另外，活塞部件的活塞轴(91)的行程范围受到限制，即使圆弧状填料部件磨耗，由于活塞轴(91)的前端不会从旋转开口部侧突出，因此也能够防止旋转开口部的破损。
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公开(公告)号：CN106605192B
公开(公告)日：2019-12-27
申请号：CN201580045979.7
申请日：2015-08-25
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大上秀晴
Abstract: 本发明的课题在于，提供在对由金属制细线构成的电路图案进行加工时不会带来障碍并且在高亮度照明下也难以视觉辨认电路图案的电极基板膜及其制造方法。本发明的解决方案是一种电极基板膜，其具有透明基板(52)和金属制的层叠细线，其特征在于，层叠细线具有从透明基板侧开始计数的第一层的膜厚为20nm以上且30nm以下的金属吸收层(51)和第二层的金属层(50)，在可见光波长区域(400～780nm)的金属吸收层的光学常数为：在波长400nm的折射率为1.8～2.2，消光系数为1.8～2.4；在波长500nm的折射率为2.2～2.7，消光系数为1.9～2.8；在波长600nm的折射率为2.5～3.2，消光系数为1.9～3.1；在波长700nm的折射率为2.7～3.6，消光系数为1.7～3.3；在波长780nm的折射率为3.1～3.8，消光系数为1.5～3.4，由在透明基板与金属吸收层的界面反射导致的在可见光波长区域的最高反射率为40％以下。
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公开(公告)号：CN109898066B
公开(公告)日：2022-07-08
申请号：CN201811480350.7
申请日：2018-12-05
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大上秀晴
Abstract: 本发明涉及在实施了热负荷的长条基板上不易产生褶皱、划痕等的长条基板的处理装置和处理方法。在将从放卷室(110)供给的长条基板(114)卷绕在成膜室(112)的筒辊(131)来实施溅射等的装置中，在筒辊的薄膜送入侧设置两组张力控制辊组(第一张力测量辊130和第一电机驱动辊129、以及第二张力测量辊127和第二电机驱动辊125)，在送出侧也设有两组张力控制辊组(第一张力测量辊132和第一电机驱动辊133、以及第二张力测量辊135和第二电机驱动辊137)，筒辊的送入进料张力和送出进料张力由上述两组张力控制辊组进行双级控制，因此能够使薄膜的张力控制准确，从而避免薄膜褶皱和划痕的产生。
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公开(公告)号：CN112930421A
公开(公告)日：2021-06-08
申请号：CN201980071295.2
申请日：2019-09-20
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大上秀晴
Abstract: 本发明提供一种在金属种子层上通过湿镀法形成的金属膜不易产生针孔的带金属膜的树脂膜的制造装置和制造方法。本发明的带金属膜的树脂膜的制造装置的特征在于，具备：长条树脂膜放卷辊(600)，卷绕有使用真空成膜法成膜有金属种子层的长条树脂膜(601)，该长条树脂膜(601)的层间夹入有长条衬纸(603)；长条衬纸收卷辊(602)，从由所述放卷辊(600)放卷的长条树脂膜分离长条衬纸并将该长条衬纸收卷；湿镀槽(642)～(645)，将分离了长条衬纸的长条树脂膜搬入所述湿镀槽并在该长条树脂膜的金属种子层上形成金属膜；以及长条树脂膜收卷辊(641)，将形成有金属膜的长条树脂膜收卷，对分离了长条衬纸的长条树脂膜的金属种子层表面进行洗涤的大气压等离子体洗涤装置设置在上述放卷辊(600)与湿镀槽之间。
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公开(公告)号：CN106796464A
公开(公告)日：2017-05-31
申请号：CN201580045991.8
申请日：2015-08-25
Applicant: 住友金属矿山株式会社
Inventor： 大上秀晴
Abstract: 本发明的课题在于，提供一种即使在高亮度照明下也难以视觉辨认由金属制细线构成的电路图案的电极基板膜和用于所述电极基板膜的层叠体膜。本发明的解决方案是一种电极基板膜，其具有透明基板(52)和金属制的层叠细线，其特征在于，层叠细线的线宽为20μm以下，并且具有从透明基板侧开始计数的第一层的膜厚为20nm以上且30nm以下的金属吸收层(51)和第二层的金属层(50)，在可见光波长区域(400～780nm)的金属吸收层的光学常数为：在波长400nm的折射率为2.0～2.2，消光系数为1.8～2.1；在波长500nm的折射率为2.4～2.7，消光系数为1.9～2.3；在波长600nm的折射率为2.8～3.2，消光系数为1.9～2.5；在波长700nm的折射率为3.2～3.6，消光系数为1.7～2.5；在波长780nm的折射率为3.5～3.8，消光系数为1.5～2.4，并且，由透明基板与金属吸收层的界面反射导致的可见光波长区域的平均反射率为20％以下，并且可见光波长区域的最高透光率与最低透光率的差为10％以下。
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