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公开(公告)号：CN112710611A
公开(公告)日：2021-04-27
申请号：CN202110026818.0
申请日：2021-01-09
Abstract: 本发明公开了一种环形光纤束照明装置，包括会聚透镜、一分多束的光纤束、安装支架和光学元件，一分多束的光纤束中的各根光纤的弯折半径大于100毫米，安装支架设有光路通道，光学元件安装于光路通道中，光源经会聚透镜会聚后耦合到一分多束的光纤束的母光纤束中，一分多束的光纤束的各子光纤束分别以垂直于物面的方向插入到光路通道中且各子光纤束呈环形分布，一分多束的光纤束的子光纤束发出的光束以垂直于物面的角度出射且经对应的光学元件准直并转折后以环形照明光倾斜照射到物面上。本发明在使用石英光纤等弯折半径较大的光纤作传导介质且一分多束的光纤束的子光纤束数量较多时仍具有紧凑而小型的结构，可实现对半导体晶圆的亚表面缺陷的检测。
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公开(公告)号：CN117710233A
公开(公告)日：2024-03-15
申请号：CN202410162617.7
申请日：2024-02-05
Applicant: 之江实验室
IPC: G06T5/50 , G06T5/77 , G06N3/0455 , G06N3/08
Abstract: 本发明公开了一种内窥图像的景深扩展方法及装置，该方法包括接收不同聚焦平面对应的原始图像；设计编码‑解码网络模型用于获取内窥图像的底层特征；利用高维空间频率对底层特征进行焦点度量分析得到初始决策图以及初始融合图像；同时确定边界区域范围并据此设计边界度量指标修复焦面边界过渡，得到最终的融合图像。该装置主要包括图像采集模块，图像融合模块，图像修复模块，图像显示模块。本发明降低了图像融合方法在实际内窥镜系统应用中对不同相机采集的图像之间的高配准要求，并且可有效地实现内窥镜系统的景深扩展，为医生临床诊断提供技术支持；本发明在景深扩展性能、处理速度和性价比等方面均优于现有景深扩展系统。
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公开(公告)号：CN116342589B
公开(公告)日：2023-08-22
申请号：CN202310582526.4
申请日：2023-05-23
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种跨视场划痕缺陷连续性检测方法和系统。包括：1）检测获得单视场划痕缺陷的坐标信息；2）根据划痕缺陷坐标进行工件整体划痕分布图的绘制；3）确定缺陷分布图坐标及保存图像像素映射关系；4）再通过图像预处理、骨架提取、连通域计算、拟合度计算以及坐标像素映射等步骤获得跨视场划痕的统计信息。本发明实现了对工件表面跨视场划痕缺陷的连续性检测效果，相比于现有的划痕缺陷检测算法，能够在较小的物方视场尺寸即较高的物方检测分辨率时保证划痕缺陷检测的完整性，同时不需要将跨视场划痕缺陷图像进行拼接后再进行特征的提取，大大降低了对算力的要求。
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公开(公告)号：CN116579102A
公开(公告)日：2023-08-11
申请号：CN202310520845.2
申请日：2023-05-09
Applicant: 之江实验室
IPC: G06F30/17 , G06F30/20 , G06F119/14 , G06F111/04
Abstract: 本发明公开了一种基于半定规划的金属结构箱型梁的轻量化设计方法，包括：确定金属结构箱型梁的尺寸序列，以及纵向加强筋布设的位置和数量，得到所有可能的截面，进行稳定性判定，得到可行截面集合；计算可行截面集合中每个截面的面积和强轴惯性矩，得到“面积‑惯性矩”平面中的点集；定义点集的凸包，得到凸多边形顶点的组合系数；以箱型梁截面面积最小为优化目标，考虑箱型梁的柔度约束和力平衡约束，以凸多边形顶点的组合系数为变量，构建松弛优化问题的非凸模型；将松弛优化问题的非凸模型等效转化为半定规划问题，求解得到全局最优解；对全局最优解进行邻域搜索，得到离散可行解，即金属结构箱型梁的截面设计方案。
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公开(公告)号：CN114459736B
公开(公告)日：2023-06-09
申请号：CN202111572710.8
申请日：2021-12-21
Abstract: 本发明公开了一种激光对焦成像系统及系统的偏移量的自动化检测方法。激光对焦系统通常用于无限远共轭光学系统中，可以检测物方待测样品的位置。其耦合到对应的检测系统或者观察系统中，虽然能够获得一致的对焦结果，但是由于激光对焦系统本身的误差，激光对焦系统耦合到系统中的安装误差以及激光对焦系统波长与检测或者成像系统使用波长的差异，导致激光对焦系统认定的样品位置并非检测系统或观察系统的成像最清晰位置，因此需要设置激光对焦系统的偏移量。本发明提出了一种激光对焦成像系统，能够判断样品上表面与激光对焦系统的焦面的相对位置，同时，提出了一种自动化设置偏移量的方法。本发明具有成本低，精度高，自动化程度高的特点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN115774326A
公开(公告)日：2023-03-10
申请号：CN202211495257.X
申请日：2022-11-26
Abstract: 本发明涉及一种成像系统，具体涉及一种筒镜系统的共焦补偿组件及其使用方法，所述的筒镜系统包括照明装置、样品、物镜、反射镜、筒镜和成像接收器；所述的照明装置朝向样品设置，样品在吸收照明装置发出的激光能量后，发出具有特征波长的光束；所述的物镜、反射镜、筒镜和成像接收器依次设置于样品发出的光束的光路上；所述的反射镜与筒镜之间的光路上还设有带通滤光片；所述的共焦补偿组件为设置于筒镜与成像接收器之间的用于调节成像点位置的调焦设备。与现有技术相比，本发明解决现有技术中双胶合透镜与三胶合透镜难以同时对紫外、可见光、近红外的成像谱段进行消色差和复消色差，实现了对宽波段的激发光进行共焦成像补偿。
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公开(公告)号：CN114371148B
公开(公告)日：2022-11-08
申请号：CN202210057225.5
申请日：2022-01-19
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于零椭偏暗场照明的散射干涉成像系统及方法，包括照明光路，探测光路和参考光路，所述照明光路的入射端设置有被检测样品，所述探测光路的发射端设置有被检测样品，所述参考光路的入射端设置有所述探测光路；所述照明光路和所述探测光路的连接处设置有零椭偏模块，所述零椭偏模块的一端与照明光路连接，所述零椭偏模块的另一端与探测光路连接。本发明通过照明光路与探测光路的非共路设计，实现对背景杂散光的有效抑制，降低检测系统对探测物镜数值孔径的依赖；同时，结合干涉探测的优势，实现对被检测样品表面小尺寸特征的宽视场高灵敏检测能力。
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公开(公告)号：CN117710233B
公开(公告)日：2024-05-24
申请号：CN202410162617.7
申请日：2024-02-05
Applicant: 之江实验室
IPC: G06T5/50 , G06T5/77 , G06N3/0455 , G06N3/08
Abstract: 本发明公开了一种内窥图像的景深扩展方法及装置，该方法包括接收不同聚焦平面对应的原始图像；设计编码‑解码网络模型用于获取内窥图像的底层特征；利用高维空间频率对底层特征进行焦点度量分析得到初始决策图以及初始融合图像；同时确定边界区域范围并据此设计边界度量指标修复焦面边界过渡，得到最终的融合图像。该装置主要包括图像采集模块，图像融合模块，图像修复模块，图像显示模块。本发明降低了图像融合方法在实际内窥镜系统应用中对不同相机采集的图像之间的高配准要求，并且可有效地实现内窥镜系统的景深扩展，为医生临床诊断提供技术支持；本发明在景深扩展性能、处理速度和性价比等方面均优于现有景深扩展系统。
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公开(公告)号：CN117289422A
公开(公告)日：2023-12-26
申请号：CN202311004244.2
申请日：2023-08-10
Applicant: 之江实验室
IPC: G02B7/04 , G02B27/62 , G02B7/02 , G02B26/00 , G03F7/20 , G03F9/00 , G01B11/24 , G01B11/06 , G01B11/03
Abstract: 本发明公开了一种基于面型干涉的高度对焦装置及方法。包括二维运动平台、面型干涉模块、现有光路系统和工件，二维运动平台上方分别安装有现有光路系统和面型干涉模块；本发明通过采用离轴干涉测量的方法，能够实现对大尺寸工件全尺寸高度面型快速重构，并通过工件绝对坐标转换实现对应工件位置的高度映射，从而在现有光路系统工作过程中驱动高度执行机构进行高度对焦动作。本发明减少了晶圆对准的时间，提高了检测节拍；避免了在现有光路系统引入对焦模块对光学设计提出的难度、机械干涉和光学干扰等问题。
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公开(公告)号：CN112505064B
公开(公告)日：2023-12-22
申请号：CN202011506981.9
申请日：2020-12-18
Applicant: 之江实验室 , 浙江大学 , 中电科风华信息装备股份有限公司
IPC: G01N21/95
Abstract: 本发明是一种晶圆缺陷检测系统及方法，包括处理单元、控制组件、位移组件、检测组件和信号采集单元，所述位移组件与检测组件配合设置，位移组件通过位移控制检测组件的检测信号采集及运动，所述控制组件通过指令控制位移组件的移动，间接控制检测组件的检测信号采集，所述检测组件采集的信号及控制组件的指令信息传输到信号采集单元，所述信号采集单元将采集的信号传输给处理单元处理，得到缺陷信息；本发明降低了对面阵探测器灵敏度的要求，可以有效地降低探测器成本；相对传统扫描方式，可以极大的提升整个系统的检测速度；由于面阵探测器在面区域曝光过程中不移动，可以改善传统扫描方式抖动模糊的问题，提高缺陷的检测识别率。
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