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公开(公告)号：CN113670854B
公开(公告)日：2024-06-11
申请号：CN202110924675.5
申请日：2021-08-12
Abstract: 本发明公开了一种微分干涉对比显微内窥成像系统及内窥成像方法，所述显微内窥成像系统包括照明光源、光导纤维、照明光路模块、成像接收模块和电缆。本发明显著特征是增强被观察物体的对比度，该技术利用微分干涉棱镜生成寻常光(o光)和非寻常光(e光)，由于两束相干光经过物体后改变了光程差，并在像面发生干涉，使样品表面高度的微小变化在干涉背景上以强烈的光强变化表现出来，形成一种浮雕感，可以观形象地反映出样品表面微观轮廓。微分干涉显微技术可以实现对样品表面纳米级的相位分辨率，观察到样品表面的微细结构，有助于帮助医生通过被观测样品的表面起伏特征判断病灶特征做出诊断。
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公开(公告)号：CN112326672B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202011232223.2
申请日：2020-11-06
IPC: G01N21/88 , G01N21/958 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种基于多色并行移频照明的快速成像系统，包括光源、显微物镜、管镜、多色图像探测器阵列、控制模块和数据处理模块，光源包括垂直照明光源和两组以上倾斜照明光源；同一组倾斜照明光源的照明波长相同，不同组倾斜照明光源的照明波长不同；垂直照明光源的照明波长与任一组倾斜照明光源的照明波长不同，或与其中一组倾斜照明光源的照明波长相同。本发明利用照明光场的波长差异性，通过控制模块并行施加多色倾斜照明光场，利用多色图像探测器阵列快速并行采集各照明波长下被观测样品的远场像；借助数据处理模块，结合移频重构算法获取被观测样品宽频段空间频谱信息，重构恢复被观测样品的像，快速提升整个显微系统的成像速度。
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公开(公告)号：CN115375590B
公开(公告)日：2023-04-07
申请号：CN202211326022.8
申请日：2022-10-27
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种亮度非均匀性在线补偿的图像处理方法。本发明结合机器视觉缺陷检测场景的特征，通过序列图像提取邻近区域内非均匀性光照在工件表面非缺陷区域上的成像亮度信息，参考光响应非均匀性的校正步骤，设定均匀光照亮度期望值，获得该区域内非均匀亮度的补偿增益参数，实现亮度非均匀性的在线补偿。本发明避免了亮度非均匀性离线补偿方法使用单一视场区域计算补偿增益导致的工件表面其他区域出现过补偿或欠补偿的情况，并避免了FFT滤波等在线图像处理算法导致的图像细节特征失真和无法适应工件边缘图像等问题。
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公开(公告)号：CN112326672A
公开(公告)日：2021-02-05
申请号：CN202011232223.2
申请日：2020-11-06
IPC: G01N21/88 , G01N21/958 , G01N21/01
Abstract: 本发明公开了一种基于多色并行移频照明的快速成像系统，包括光源、显微物镜、管镜、多色图像探测器阵列、控制模块和数据处理模块，光源包括垂直照明光源和两组以上倾斜照明光源；同一组倾斜照明光源的照明波长相同，不同组倾斜照明光源的照明波长不同；垂直照明光源的照明波长与任一组倾斜照明光源的照明波长不同，或与其中一组倾斜照明光源的照明波长相同。本发明利用照明光场的波长差异性，通过控制模块并行施加多色倾斜照明光场，利用多色图像探测器阵列快速并行采集各照明波长下被观测样品的远场像；借助数据处理模块，结合移频重构算法获取被观测样品宽频段空间频谱信息，重构恢复被观测样品的像，快速提升整个显微系统的成像速度。
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公开(公告)号：CN114018873B
公开(公告)日：2024-05-28
申请号：CN202111319271.X
申请日：2021-11-09
IPC: G01N21/45
Abstract: 本发明公开了一种大视场快速高分辨的光学内窥显微方法，所涉及整个系统包括光源、光学透镜、二维色散元件、孔径光阑、分束镜、探测器等，其中，二维色散元件、光纤和微型光学透镜被集成在光学内窥镜头端，该光源通过光频梳芯片的调制，出射光为光学电磁频域离散的光谱信号，进一步，所述电磁频域离散光谱信号通过二维色散元件，生成空间二维分布的共聚焦照明光斑阵列，并被用于对被观测样品进行二维共焦照明成像，结合锁模与干涉增强技术，通过对所获取样品表面信息干涉信息的傅里叶解析，得到被观测样品表面高分辨强度图像和相位信息，本发明所提方法借助飞秒脉冲光的超快特性，可以实现对被观测样品表面像的视频级成像。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN112326665B
公开(公告)日：2023-12-19
申请号：CN202011039692.2
申请日：2020-09-28
Abstract: 本发明公开了一种基于空间分步式移频照明的缺陷检测系统，包括光源、显微物镜、管镜、图像探测器、控制模块和数据处理模块，其中，光源包括垂直照明光源和倾斜照明单元。垂直照明光源和各倾斜照明单元的出射光能够照射到被观测样品上而激发出散射场，散射场经显微物镜收集后再经管镜整形而入射到图像探测器，并由数据处理模块转换成远场强度图。控制模块按时序控制各光源的点亮以及各光源照明下图像探测器对被观测样品散射场信号的采集。数据处理模块通过对被观测样品空间频谱信息的重构，最终实现无论是在透射式照明还是反射式照明条件下，被观测样品表面复杂缺陷特征轮廓信息和细节特征信息的检测成像。
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公开(公告)号：CN115993695A
公开(公告)日：2023-04-21
申请号：CN202310169949.3
申请日：2023-02-27
Applicant: 之江实验室
IPC: G02B7/28
Abstract: 本发明公开了一种基于光谱共焦的原位自动对焦装置及方法。通过采用光谱共焦传感器同轴安装的形式实现了绝对离焦位移量的测量，提高了自动对焦系统的闭环控制响应；通过运动台光栅尺位移量信号匹配离焦量测量的光谱共焦探头和现有光路系统信号转换模块的触发工作时间，可以避免对焦系统对现有光路系统的光谱干扰；通过设置离焦测量点相对于成像或加工位置形成一定的超前偏移量，可以确保自动对焦装置始终对当前工作位置实现动态对焦，避免产生对焦位置的滞后。
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公开(公告)号：CN115511749A
公开(公告)日：2022-12-23
申请号：CN202211263100.4
申请日：2022-10-14
Applicant: 之江实验室
Abstract: 本发明公开了一种基于相位信息的差分干涉对比图像去噪方法及装置，针对差分干涉对比图像中的噪声和边界干扰等问题导致的背景亮度值不均匀现象，对傅里叶变换后的图像中的相位信息进行恢复，并对像素值进行非线性映射。本发明实现了图像背景区域的去噪效果，缩小了背景像素值的变化范围，减小后续积分操作中的累积噪声，且不影响目标区域的梯度分布。
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公开(公告)号：CN114975213B
公开(公告)日：2022-11-18
申请号：CN202210883762.5
申请日：2022-07-26
Applicant: 之江实验室
IPC: H01L21/68
Abstract: 本发明公开了一种晶圆对准装置及对准方法。包括光源、成像相机、光路系统、图像处理器、晶圆载物台和二维运动平台；照明光源、成像相机、光路系统、图像处理器安装位置固定，待对准的晶圆置于晶圆载物台上，二维运动平台上安装有晶圆载物台，可实现晶圆的二维移动；通过相机对晶圆载物台上的晶圆实现宽视场快速成像，识别晶圆轮廓并拟合，得到高精度的晶圆定位信息，宽视场成像同时避免了晶圆摆放偏移量过大导致无法对准的问题。本发明的晶圆对准装置和对准方法，没有采用晶圆预对准器和二次对准即可实现高精度的晶圆定位，晶圆通过机械手直接从料盒中运送到载物台上，减少了预对准器的工作站点，能够同时提高晶圆对准的效率。
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公开(公告)号：CN114441440A
公开(公告)日：2022-05-06
申请号：CN202111589118.9
申请日：2021-12-23
Abstract: 本发明公开了一种晶圆缺陷检测系统及方法，系统包括处理单元、控制单元、信号采集单元、位移组件和检测组件；工作过程为位移组件带动晶圆移动，巡边探测单元将拍摄到的晶圆边缘信息结合位移台移动位置，得到晶圆相对于检测组件光轴的坐标位置，随后，根据晶圆的坐标位置移动位移台，线阵探测单元和面阵探测单元分别对晶圆表面进行扫描拍摄，采集得到的数据经信号采集单元传输给处理单元分析使用。本系统中包含了巡边探测单元，能够补偿由于晶圆放置位置的偏差带来的定位偏差，同时，线阵探测单元和面阵探测单元根据位移组件高精度的位置反馈，在不同位置拍摄图像，可以建立晶圆位置与图像的对应关系，有利于后续的图像拼接和缺陷识别处理。
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