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公开(公告)号：CN110908249B
公开(公告)日：2022-02-11
申请号：CN201911212715.2
申请日：2019-11-29
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种用于EUV真空环境中的光传输装置及光刻机，用于EUV真空环境中的光传输装置包括：光纤连接器，设置通孔；通光介质，设置于所述光纤连接器的通孔内；两光纤束，分别连接于所述光纤连接器的两侧，且两所述光纤束分别与所述通光介质的中心对准，实现分段的光纤束之间的光的传输。本发明设计两段光纤束来解决整根光纤束不利于装配、维护以及存在断纤的风险的问题；通过光纤连接器以及光纤连接器上设置的通光介质实现两段光纤束的导通，连接方式可靠，并且应用于EUV光刻机中，解决了真空腔内外光传输的问题，提高了光纤束与光刻机的连接可靠性，降低了维修风险。
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公开(公告)号：CN111077743B
公开(公告)日：2021-10-01
申请号：CN201911212041.6
申请日：2019-11-28
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G03F9/00
Abstract: 本发明公开了一种对准信号数字化同步解调方法及装置，该方法包括：对对准调幅信号进行数字化采样，得到对准调幅数字信号；在数字信号处理器中对该对准调幅数字信号和两个正交化本地参考信号分别进行混频处理，得到两个上、下边带信号；该两个上、下边带信号分别在两个带宽相同的数字低通滤波器中进行滤波，得到两个正交化下边带信号；该两个下边带信号经数字化解调算法进行解调计算，得到对准标记位置基频信号。本发明提供的该对准信号数字化同步解调方法及装置，具有电路结构简单、数字化程度高、计算速度快、无需采用调制信号作为参考信号以及无需进行相位补偿等优点，能够完成对准调制信号的数字化高精度解调。
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公开(公告)号：CN110927880B
公开(公告)日：2021-06-18
申请号：CN201911212132.X
申请日：2019-11-28
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G02B6/26
Abstract: 一种偏振保持合束装置，所述合束装置包括若干光源、N个单模保偏光纤、N个光纤准直器、光纤耦合器和合束棱镜；其中，若干光源分别发出不同波长的线偏振光，分别耦合入N个单模保偏光纤中传输，并经过N个光纤准直器后输出不同波长的线偏振准直光束并进入合束棱镜，经合束棱镜合束后，通过光纤耦合器耦合入单模保偏光纤中，再经过光纤准直器后输出包含不同波长的一束偏振准直光。本发明的高稳定偏振保持合束装置及方法，可将多束不同波长的线偏振光合成一束含不同波长的同轴输出光束，且多个波长光束的偏振态保持高度一致。
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公开(公告)号：CN110307781B
公开(公告)日：2021-05-25
申请号：CN201910452746.9
申请日：2019-05-28
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本申请公开了一种干涉成像系统，包括依次连接的光场离散部件、离散光场干涉部件以及图像重构部件。该光场离散部件包括至少一个线性微镜阵列，该线性微镜阵列包括多个微镜，多个微镜按照预设干涉基线设计方案两两配对构成微镜对，每个微镜对中两个微镜的间距为干涉基线长度，所述预设干涉基线设计方案，涵盖了长度为最短干涉基线长度整数倍数的全部干涉基线，因此，采用本方案中的干涉基线设计方案的干涉成像系统扩大了频域空间的覆盖面积，从而减少了频域信息的丢失，提高了重构图像的质量。
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公开(公告)号：CN112539833A
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN202011374353.X
申请日：2020-11-30
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G01J1/44
Abstract: 本发明提供了一种带密闭设计及光电信号无失真的光电探测装置及实现方法，其中，该光电探测装置包括真空密封壳体、光电探测器阵列、光电转换和同步采集电路、高速传输电路板，其中，真空密封壳体上包括安装接口，用于安装光电探测器阵列，以形成密闭空间；光电探测器阵列的探测面朝向真空密封壳体的外侧，用于接收多通道测量光信号；光电转换和同步采集电路与高速传输电路板置于真空密封壳体中，其中，光电探测器阵列通过光电探测器阵列的信号管脚与光电转换和同步采集电路连接；光电转换和同步采集电路用于将光电探测器阵列获得的多通道测量光信号同步转换为多通道数字信号；高速传输电路板用于将转换完成的多通道数字信号进行串行化编码处理。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN110968000B
公开(公告)日：2020-10-09
申请号：CN201911211916.0
申请日：2019-11-28
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G05B19/042
Abstract: 本发明公开了一种基于OpenVPX架构的测控系统同步控制系统，包括：硅片对准测量分系统，内置有对准测量并行计算板卡；工件台位置测量分系统，与硅片对准测量分系统通过光纤数据通道和外同步总线实现互连；以及系统同步控制时序，基于操作系统并结合硅片对准测量分系统和工件台位置测量分系统共同实现同步控制。本发明提供的该基于OpenVPX架构的测控系统同步控制系统，具有灵活的网络拓扑结构，能够完成测控系统精确的同步控制和高精度并行计算。
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公开(公告)号：CN111580206A
公开(公告)日：2020-08-25
申请号：CN202010594124.2
申请日：2020-06-24
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G02B5/18
Abstract: 本公开提供了一种衍射光栅结构，包括多个重复的周期结构，每一周期结构包括至少一个栅脊和一个栅槽，其中：每一周期结构由中心位置向外均包括多个部分，每一部分为栅脊或者栅槽，当部分为栅槽时其深度满足预设条件。另一方面，本公开还提供了一种衍射光栅结构的制备方法。通过合理的设置栅槽的位置和深度，使得第7衍射级不仅具有较强的衍射效率，同时所有偶衍射级衍射效率均为0，较好的解决了现有的衍射光栅中存在偶衍射级尤其是较强的零衍射级的问题。
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公开(公告)号：CN110927116A
公开(公告)日：2020-03-27
申请号：CN201911212240.7
申请日：2019-11-29
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 本发明提供了一种测量标记结构的方法、装置及系统。所述方法包括：S1，获取平行的相干光束，将所述相干光束入射对准标记后得到衍射光束，该衍射光束通过衍射光阑发生干涉得到干涉信号，通过探测器测量所述干涉信号的实际光强分布；S2，建立测量标记结构的电磁波仿真模型，通过所述仿真模型得到对准标记的j个不同结构参数下的仿真光强分布，j≥1；S3，将实际光强分布分别与j个仿真光强分布进行对比，获取使实际光强分布与仿真光强分布之间差异最小的所述结构参数。
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公开(公告)号：CN110824865A
公开(公告)日：2020-02-21
申请号：CN201911212302.4
申请日：2019-11-29
Applicant: 中国科学院微电子研究所
IPC: G03F9/00
Abstract: 本公开提供了一种对准误差测量方法。所述方法包括分别筛选每一预设位置下对准标记产生的一种以上衍射级次的衍射光束，得到每一预设位置下的+n衍射级次的衍射光束和-n衍射级次的衍射光束，预设位置的个数为四个及以上；分别对每一预设位置下的+n衍射级次的衍射光束和-n衍射级次的衍射光束进行干涉，以将对准标记结构变化和波像差引入的相位变化编码到产生的干涉信号中；分别探测每一预设位置下的干涉信号的光强分布；根据四个及以上预设位置下干涉信号的光强分布计算对准标记结构变化和波像差引入的对准误差。本公开还提供了一种对准误差测量装置。
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公开(公告)号：CN110702610A
公开(公告)日：2020-01-17
申请号：CN201911003586.6
申请日：2019-10-18
Applicant: 中国科学院微电子研究所
Abstract: 一种兼顾棒状光源聚焦功率及谱密度均衡的装置及光声光谱仪，该装置包括：棒状光源，为类黑体辐射的棒状发光体；收集单元，包括收集镜，所述收集镜内凹的一侧为呈高阶非球面面型的收集作用面，所述收集作用面罩设于所述棒状光源外，且在所述收集作用面上设置有高反射金属膜，用于对所述棒状光源发出的光进行反射聚焦；整形单元，包括整形镜，所述整形镜设置于收集作用面相对一侧，所述整形镜上凸设有呈高阶非球面面型的整形作用面，且在所述整形作用面上设置有光学反射膜，用于对所述收集作用面反射的光进行选择性部分透射，通过谱裁剪实现谱密度均衡。本发明同时实现光功率谱密度的均衡输出，为后续光声光谱探测灵敏度的提升提供保障。
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