公开(公告)号：CN102519416A

公开(公告)日：2012-06-27

申请号：CN201110414841.3

申请日：2011-12-13

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 景洪伟 ,  匡龙 ,  吴时彬 ,  曹学东

IPC: G01B21/20

Abstract: 本发明公开了一种基于双测头扫描数据拼接的工件转台误差分离的测量装置及方法，该装置在由测头系统(1)、横臂(2)、立柱(3)、配重(4)、标准平晶(5)、工件转台(6)和横臂转台(7)组成的摆臂式轮廓仪上采用两套测头系统(1、1′)同时进行扫描测量；两套测头系统扫描一次后得到两根扫描轨迹M1，以一定角度β旋转工作转台再进行一次扫描，得到另外两根扫描轨迹M2；本发明采用双测头扫描数据拼接的方法，可以有效地分离去除工件转台的运动误差对测量结果的影响，从而大大提高了测量精度，为摆臂式轮廓仪在光学加工现场的在位测量提供了实用化的解决方案。

公开(公告)号：CN102506761A

公开(公告)日：2012-06-20

申请号：CN201110337046.9

申请日：2011-10-30

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 李杰 ,  伍凡 ,  吴时彬 ,  匡龙

IPC: G01B11/255

Abstract: 一种利用激光跟踪仪测量非球面顶点曲率半径的方法，属于光学测试技术领域，使用激光跟踪仪按照特定方式获取非球面坐标点，通过数据处理及优化搜索算法得到非球面顶点曲率半径。本发明提出了非球面顶点曲率半径测量的新方法，适用于非球面在制造加工过程之中顶点曲率半径的在位测量，尤其对大口径非球面顶点曲率的测量有重要的应用价值。

公开(公告)号：CN101943559B

公开(公告)日：2012-01-25

申请号：CN201010253138.4

申请日：2010-08-12

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 范斌 ,  伍凡 ,  曾志革 ,  周家斌 ,  景洪伟 ,  匡龙

IPC: G01B5/008

Abstract: 本发明是一种利用三坐标测量机检测大口径非球面光学元件的方法，利用信息处理技术对三坐标测量机获取的数据进行处理，采取利用测头补偿的方法对三坐标测量机的测头进行误差补偿，利用最小二乘法剔除检测数据的倾斜和平移误差，并剔除由格兰姆-施密特正交化方法进行面形数据Zernike多项式拟合后的常数项和倾斜项，复原被检测的大口径非球面光学元件面形，以实现大口径光学元件高精度三坐标测量目的。本发明全面考虑被检大口径非球面光学元件三坐标测量机的误差源，从而可以更加真实客观的评价光学元件的面形质量。本发明采用测头补偿和最小二乘法对光学元件面形测量误差进行处理，对高精度大口径光学元件的面形检测具有重要的应用价值。

公开(公告)号：CN101943559A

公开(公告)日：2011-01-12

申请号：CN201010253138.4

申请日：2010-08-12

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 范斌 ,  伍凡 ,  曾志革 ,  周家斌 ,  景洪伟 ,  匡龙

IPC: G01B5/008

Abstract: 本发明是一种利用三坐标测量机检测大口径非球面光学元件的方法，利用信息处理技术对三坐标测量机获取的数据进行处理，采取利用测头补偿的方法对三坐标测量机的测头进行误差补偿，利用最小二乘法剔除检测数据的倾斜和平移误差，并剔除由格兰姆-施密特正交化方法进行面形数据Zernike多项式拟合后的常数项和倾斜项，复原被检测的大口径非球面光学元件面形，以实现大口径光学元件高精度三坐标测量目的。本发明全面考虑被检大口径非球面光学元件三坐标测量机的误差源，从而可以更加真实客观的评价光学元件的面形质量。本发明采用测头补偿和最小二乘法对光学元件面形测量误差进行处理，对高精度大口径光学元件的面形检测具有重要的应用价值。

公开(公告)号：CN2508214Y

公开(公告)日：2002-08-28

申请号：CN01256647.0

申请日：2001-11-21

Applicant: 中国科学院光电技术研究所

Inventor： 匡龙 ,  范天泉 ,  吴学巧

IPC: G01B3/30

Abstract: 本实用新型是一种多功能校准量规,涉及几何量计量仪器标准检定器具技术领域。其特征是在物化性能稳定的直角尺中部设置一环规,在直角边从上至下分布有若干量块。其结构简单、实用性强、功能多,既可对立式坐标数显仪的正负值误差进行检定,也可对仪器导轨垂直度和仪器功能进行检定,能保证检定精度,可广泛用于各计量部门。