公开(公告)号：CN119492365A

公开(公告)日：2025-02-21

申请号：CN202311053413.1

申请日：2023-08-21

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 陈方 ,  周景川

IPC: G01C19/5642 ,  G01C19/5607

Abstract: 本发明提供一种MEMS陀螺仪，该MEMS陀螺仪包括：衬底、器件层、驱动结构、驱动电极结构、检测结构、检测梁及检测电极单元，其中器件层固定于衬底上且包括多个相互连接且呈阵列排布的结构单元；驱动结构位于结构单元中且包括质量体、驱动框架、弹性梁、第一折叠梁、第一组合梁、第二组合梁及第三组合梁；驱动电极结构位于结构单元中且包括第一电容、第二电容及第三电容；检测结构位于结构单元中且包括检测框架及可动电极框架；检测梁位于结构单元中且与可动电极框架连接，其交叉端点连接质量体；多个检测电极单元位于检测框架内部区域，包括呈阵列排布的第四电容、第五电容、第六电容与第七电容。本发明的MEMS陀螺仪提升了机械灵敏度。

公开(公告)号：CN114152266B

公开(公告)日：2024-04-02

申请号：CN202010935517.5

申请日：2020-09-08

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 陈方 ,  李昕欣

IPC: G01C25/00

Abstract: 本发明提供一种MEMS陀螺正交误差校正系统，包括：MEMS陀螺敏感模态电极，用于生成位移信号；预处理组件，与所述MEMS陀螺敏感模态电极相连，用于将所述位移信号转换为数字电压信号；数字解调组件，与所述多位量化器和所述MEMS陀螺敏感模态电极相连，用于根据所述数字电压信号生成同相1比特脉宽密度调制信号和正交相1比特脉宽密度调制信号，并反馈至所述MEMS陀螺敏感模态电极。本发明的MEMS陀螺正交误差校正系统能够在不增加特定校正电极的前提下，解决现有技术中对MEMS陀螺正交误差抑制能力和校正实时性不强的问题，有效提高了MEMS陀螺的精度。

公开(公告)号：CN105699694B

公开(公告)日：2019-02-22

申请号：CN201610251519.6

申请日：2016-04-21

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 陈方 ,  李昕欣

IPC: G01P15/125

Abstract: 本发明提供一种基于FPGA的微机电混合ΣΔM加速度计闭环检测电路系统，包括：微机械加速度计、差分电荷放大器组件、高通滤波器、多位模数转换器、FPGA及工作时序控制反馈开关；差分电荷放大器组件的输入端与微机械加速度计相连接；高通滤波器的输入端与差分电荷放大器组件的输出端相连接；多位模数转换器的输入端与高通滤波器的输出端相连接，多位模数转换器的输出端与FPGA相连接；FPGA与微机械加速度计及工作时序控制反馈开关相连接；工作时序控制反馈开关的第一端与FPGA相连接，工作时序控制反馈开关的第二端与微机械加速度计相连接。本发明的微加速度计闭环检测电路系统具有简单容易实现、稳定性好、可移植性强的优点。

公开(公告)号：CN108020688A

公开(公告)日：2018-05-11

申请号：CN201711042279.X

申请日：2017-10-30

Applicant: 中国科学院上海微系统与信息技术研究所

Inventor： 鲍海飞 ,  刘民 ,  宋朝辉 ,  陈方 ,  李昕欣

IPC: G01P21/00

Abstract: 本发明涉及一种自谱分时段傅里叶变换高量程加速度计共振频率提取方法，包括以下步骤：获取待测加速度传感器及其系统在瞬时冲击过程中响应输出电压与时间的关系，即传感器受到瞬时冲击的时域谱；将冲击过程所记录的曲线按时间顺序划分出来，其中至少包含三个以上明显不同的响应特征部分；提取所述待检测加速度传感器在所述三个以上不同时间段的电压与时间关系数据曲线；依次对每一个时间段的数据分别进行傅里叶变换，提取每一个时间域上经过傅里叶变换后的明显典型信号峰；比较上述不同时段信号峰，确定加速度传感器的共振频率峰及其频率。本发明通过一次测试即可识别和确定噪声信号峰和加速度传感器的一阶固有频率峰。