BGA封装器件焊球去除设备及其方法

    公开(公告)号:CN109623541B

    公开(公告)日:2020-07-17

    申请号:CN201811203889.8

    申请日:2018-10-16

    Abstract: 本发明涉及一种BGA封装器件焊球去除设备及其方法,其中,BGA封装器件焊球去除设备包括处理设备、传动设备、用于研磨BGA封装器件的焊球的研磨机、用于感应BGA封装器件压力的压力传感器、以及用于固定BGA封装器件的夹具;传动设备与夹具相连;BGA封装器件的焊球面朝向研磨机;处理设备分别连接传动设备、压力传感器和研磨机;处理设备驱动传动设备带动夹具朝研磨机方向移动;压力传感器将感应到的BGA封装器件的压力传输给处理设备;处理设备在压力等于预设压力时,启动研磨机,以使研磨机对BGA封装器件的焊球进行研磨。本发明实施例能够实现BGA封装器件焊球去除,防止对BGA封装器件基板造成机械损伤,优化了BGA封装器件焊球去除效果。

    微裂纹检测方法、装置、系统以及样品制备方法

    公开(公告)号:CN110186993A

    公开(公告)日:2019-08-30

    申请号:CN201910476251.X

    申请日:2019-06-03

    Abstract: 本申请涉及一种微裂纹检测方法、装置、系统以及样品制备方法。所述微裂纹检测方法包括分析待测样品的二次离子,获取待测样品内各组成成份的质谱特征峰信息以及各组成成份对应的空间分布信息;在各空间分布信息中提取与标准质谱特征峰信息相同的质谱特征峰信息对应的组成成份的空间分布信息,得到填充剂空间分布信息;标准质谱特征峰信息为填充剂内各成份的质谱特征峰信息;基于数据重构处理各填充剂空间分布信息,获取待测样品内的微裂纹的三维形貌图,能够通过二次离子分析微裂纹的空间分布得到完整的微裂纹的三维形貌图,通过三维形貌图可明确微裂纹的起源,并可准确获取微裂纹的延伸扩展路径,进而,实现准确表征微裂纹。

    半导体器件
    16.
    发明公开

    公开(公告)号:CN111952354A

    公开(公告)日:2020-11-17

    申请号:CN202010748761.0

    申请日:2020-07-30

    Abstract: 本发明涉及微电子技术领域,公开了一种半导体器件。包括衬底;设置在衬底上的外延层;设置在外延层远离所述衬底的一侧的势垒层;设置在势垒层远离外延层一侧相对两端的第一电极以及第二电极;第一电极包括栅极结构和浮空电极结构;栅极结构与势垒层相接触;浮空电极结构位于栅极结构与第二电极之间,并与栅极结构相接触,栅极结构还沿着浮空电极结构远离势垒层的一侧延伸至与第二电极相接触。利用第一电极中的浮空电极结构可以将所述半导体器件栅极边缘的电位钳位在较低的电位水平,以避免半导体器件的栅极边缘出现高电位,从而能够在减小器件增强绝缘修栅极结构的沟道长度以提高器件正向特性的同时,抑制了所述半导体器件的短沟道效应。

    BGA封装器件焊球去除设备及其方法

    公开(公告)号:CN109623541A

    公开(公告)日:2019-04-16

    申请号:CN201811203889.8

    申请日:2018-10-16

    Abstract: 本发明涉及一种BGA封装器件焊球去除设备及其方法,其中,BGA封装器件焊球去除设备包括处理设备、传动设备、用于研磨BGA封装器件的焊球的研磨机、用于感应BGA封装器件压力的压力传感器、以及用于固定BGA封装器件的夹具;传动设备与夹具相连;BGA封装器件的焊球面朝向研磨机;处理设备分别连接传动设备、压力传感器和研磨机;处理设备驱动传动设备带动夹具朝研磨机方向移动;压力传感器将感应到的BGA封装器件的压力传输给处理设备;处理设备在压力等于预设压力时,启动研磨机,以使研磨机对BGA封装器件的焊球进行研磨。本发明实施例能够实现BGA封装器件焊球去除,防止对BGA封装器件基板造成机械损伤,优化了BGA封装器件焊球去除效果。

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