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公开(公告)号：CN107326344B
公开(公告)日：2023-06-23
申请号：CN201710793917.5
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C16/505
Abstract: 本发明公开了一种等离子体增强化学气相沉积设备的射频信号引入结构，包括双层水冷腔体、同轴电缆接头、屏蔽罩，屏蔽罩设置在双层水冷腔体的上方；同轴电缆接头设置在屏蔽罩上，在屏蔽罩与双层水冷腔体之间设置一焊接法兰；焊接法兰的上方设置第一绝缘法兰；第一绝缘法兰上方设置一接线法兰，接线法兰上中心设置一中心圆孔，在其的上方开设一凹槽，设置一进气管；在其两侧各设置一电刷；设置在凹槽内；电刷的一端抵住进气管的外侧；电刷的另一端抵住凹槽的两侧；进气管向下依次穿过第一绝缘法兰、焊接法兰和双层水冷腔体；在进气管与第一绝缘法兰、焊接法兰和双层水冷腔体之间设置一绝缘套；解决了射频信号引入失效的问题。
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公开(公告)号：CN107338413A
公开(公告)日：2017-11-10
申请号：CN201710793854.3
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/34
CPC classification number: C23C14/3407
Abstract: 本发明公开了一种手动可同步调节高度和角度的圆靶挡板结构，其特征在于，包括圆靶、圆靶转向夹持机构、法兰、焊接波纹管组件、支撑管、密封结构、挡板；挡板调节机构；挡板设置在圆靶的上方，在圆靶的下方设置圆靶转向夹持机构；圆靶转向夹持机构的中间连接一焊接波纹管组件；焊接波纹管组件的下端连接支撑管；支撑管伸入设置在法兰上的密封结构；圆靶转向夹持机构的右侧夹持挡板调节机构；挡板调节机构随圆靶、圆靶转向夹持机构一起角度和高度同步调节；实现了在圆靶挡板结构中的挡板结构在高度和角度可以同步进行调节，进一步提升了圆靶镀膜的工艺连续性。
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公开(公告)号：CN107326344A
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201710793917.5
申请日：2017-09-06
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C16/505
CPC classification number: C23C16/505
Abstract: 本发明公开了一种等离子体增强化学气相沉积设备的射频信号引入结构，包括双层水冷腔体、同轴电缆接头、屏蔽罩，屏蔽罩设置在双层水冷腔体的上方；同轴电缆接头设置在屏蔽罩上，在屏蔽罩与双层水冷腔体之间设置一焊接法兰；焊接法兰的上方设置第一绝缘法兰；第一绝缘法兰上方设置一接线法兰，接线法兰上中心设置一中心圆孔，在其的上方开设一凹槽，设置一进气管；在其两侧各设置一电刷；设置在凹槽内；电刷的一端抵住进气管的外侧；电刷的另一端抵住凹槽的两侧；进气管向下依次穿过第一绝缘法兰、焊接法兰和双层水冷腔体；在进气管与第一绝缘法兰、焊接法兰和双层水冷腔体之间设置一绝缘套；解决了射频信号引入失效的问题。
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公开(公告)号：CN104949540B
公开(公告)日：2017-02-08
申请号：CN201410117964.4
申请日：2014-03-26
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: F28B1/02
Abstract: 本发明涉及一种气体的冷凝装置，包含水冷外管、设置在所述水冷外管内水冷内管，所述水冷外管的上下两端分别具有一出水口和一进水口；所述水冷内管的两端为不封闭的；所述气体冷凝装置还包含：插入所述水冷内管内的冷凝柱；所述水冷内管的外圆上等距套设有水冷环，通过所述水冷环与所述水冷外管的腔体进行密封，且每组水冷环上具有能够让冷凝水通过的缺口。同现有技术相比，水冷效果均匀，在过滤筒吸收过滤饱和之后，可进行清洗或替换，且操作简单。
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公开(公告)号：CN209669345U
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201920091687.2
申请日：2019-01-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/56
Abstract: 本实用新型公开了一种大型真空镀膜连续线腔体，包括进样室；中间阀门；第一缓冲室；镀膜室；第二缓冲室；在进样室的一端设置第一阀门；在进样室的另一端与中间阀门的一端进行连接；中间阀门的中间设置密封阀板；在中间阀门的另一端连接第一缓冲室的一端，在第一缓冲室的另一端连接镀膜室的一端；镀膜室的另一端连接第二缓冲室的一端，第二缓冲室设置第二阀门；在本实用新型中的技术效果在于，大型真空镀膜连续线腔体能够被应用于真空镀膜连续生产，满足真空镀膜连续生产对于镀膜腔体的要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN209669338U
公开(公告)日：2019-11-22
申请号：CN201920091961.6
申请日：2019-01-21
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本实用新型公开了一种工具镀膜腔体，其特征在于，包括镀膜腔体、底架、视窗接口、小弧源接口、主抽口、门上旋转多弧接口、腔体门；底架上设置镀膜腔体；在镀膜腔体的正面上设置若干个小弧源接口；小弧源接口呈若干排；小弧源接口列与列之间呈品字形排列；在小弧源接口之间设置视窗接口；在镀膜腔体的一侧设置若干个主抽口；在镀膜腔体的反面设置腔体门；在腔体门的下方设置若干个门上旋转多弧接口；在腔体门上同样设置若干个视窗接口；本实用新型的技术效果在于，利用在镀膜腔体上结构上的改变；改变了现有技术中镀膜有效区过窄的技术问题，提升了镀膜的效率，提升了镀膜产品的质量。
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公开(公告)号：CN209483000U
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：CN201822247110.4
申请日：2018-12-28
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型公开了一种小型真空腔体的上盖支撑结构，包括铰链装置、支座、支撑杆、固定板、上盖、把手、腔体、支撑螺栓、固定轴，在所述的腔体上通过铰链装置连接所述的上盖；在上盖的两侧各设置一固定板；在固定板上活动连接支撑杆的一端；支撑杆的另一端活动连接设置在腔体上的支座上，所述的支座设置在腔体圆弧状边缘上；在所述的上盖的前方设置一把手；在腔体的任意一侧连接固定轴；在固定轴上活动连接一支撑螺栓；本实用新型的技术效果在于，在腔体两个设置了防止上盖快速下落的缓冲装置，同时，还在腔体上面设置了支撑螺栓，用于支撑上盖，这样使得上盖能够缓缓下降，防止上盖或者腔体损坏同时，在取件时候，不容易造成人员伤害。
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公开(公告)号：CN220665437U
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202322365063.4
申请日：2023-09-01
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/56
Abstract: 本实用新型公开了一种真空镀膜生产线工件车转运结构，包括：主体框架，所述主体框架的内部设置有真空镀膜立式生产线，所述真空镀膜立式生产线的两端分别设置有结构相同的上料架组件和下料架组件，所述上料架组件的内部设置有工件车组件，所述工件车组件的内部安装有镀膜靶件，且所述真空镀膜立式生产线的顶部设置有转运组件。该空镀膜生产线工件车转运结构，通过真空镀膜立式生产线对镀膜靶件进行镀膜，整体结构较小，占地面积较少，且采用转运组件将工件车组件进行循环转运，避免工件车组件再占据额外空间，相较于一般放置于地面的工件车转运方式，其占用的空间小，结构简单，且操作简单，对于连续生产时效率更高。
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公开(公告)号：CN218755989U
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202223239783.8
申请日：2022-12-02
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/00
Abstract: 本实用新型涉及一种真空腔体，采用了真空腔体的上方设置顶板；在真空腔体的下方设置底板；在顶板和底板的中心轴线上设置抽气接口法兰；在真空腔体的一侧设置腔体上门框；腔体上门框将真空腔体分割成一半圆；抽气接口法兰的两侧，沿着顶板和底板的边缘设置若干个腔体侧壁结构；在腔体侧壁结构和腔体侧壁结构之间设置腔体侧壁焊接法兰。腔体侧壁焊接法兰和腔体侧壁结构均为先折弯得到的，腔体侧壁焊接法兰和腔体侧壁结构可以预制，将整个的半圆的腔体结构分割成若干块；并且不需要焊完后再加工，然后才在腔体侧壁上焊接法兰，其可直接焊接，既节省了材料也大大降低了腔体的加工成本。
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公开(公告)号：CN213417006U
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202022100654.5
申请日：2020-09-23
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/56
Abstract: 本实用新型涉及一种卧式镀膜机，包括：设备框架，设置在卧式镀膜机的底部；多层轨道结构，多层轨道结构固定在设备框架上方；真空腔体，真空腔体通过支座固定在设备框架上；多层轨道结构设置在真空腔体的下方；旋转门结构，旋转门结构固定固定在多层轨道结构上。本实用新型同现有技术相比，镀膜前上料与镀膜后下料过程的可操作性简单方便，可以转动到合适的位置，设备的维护与清理也会简单方便，而且会比较彻底，解决了现有技术中存在的由于轨道长，造成镀膜前上料与镀膜后下料过程中清理困难，难以清理；使得卧式镀膜机的维护与清理，都很困难；同时由于轨道长造成卧式镀膜机的设备体积增大，制造成本增高，制造难度加大等技术问题。
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