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公开(公告)号：CN115976479A
公开(公告)日：2023-04-18
申请号：CN202211614903.X
申请日：2022-12-14
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/34 , C23C14/02 , C23C14/06 , C23C14/56 , C23C14/50 , C23C14/16 , H01M8/0228 , H01M8/0213
Abstract: 本发明涉及一种制备双极板表面耐腐蚀涂层的方法及真空镀膜设备，采用了一种制备双极板表面耐腐蚀涂层的方法及其真空镀膜设备，通过镀膜设备预热：镀膜设备的腔体第一次清洗；镀膜设备的腔体第二次清洗；Ti元素第一次打底沉积，Ti元素第二次打底沉积；TiN反应溅射沉积；TiCN反应溅射沉积阶段；反复TiN和TiCN沉积以及类石墨涂层沉积以及关闭设备等步骤以后，实现了制备双极板氢燃料电池的表面耐腐蚀涂层，解决了现有技术中氢燃料电池的双极板表面防腐蚀的技术问题，提升了氢燃料电池的双极板表面防腐蚀的能力。
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公开(公告)号：CN213744764U
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202022109240.9
申请日：2020-09-23
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: F16H19/04
Abstract: 本实用新型涉及一种平面阴极齿轮齿条驱动挡板，包括：安装板；旋转装置，设置在安装板的上方；导轨，设置在安装板的下方，通过支架与安装板固定；移动装置，设置在导轨上，与导轨形成滑动连接；挡板，设置在移动装置的下方，与移动装置固定；本实用新型的技术效果主要采用齿轮齿条的直线传动形式，驱动平面挡板，以此达到结构稳定，传动平稳，传动精确的目的，同时，能够满足多边形镀膜机的应用。
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公开(公告)号：CN218755989U
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202223239783.8
申请日：2022-12-02
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/00
Abstract: 本实用新型涉及一种真空腔体，采用了真空腔体的上方设置顶板；在真空腔体的下方设置底板；在顶板和底板的中心轴线上设置抽气接口法兰；在真空腔体的一侧设置腔体上门框；腔体上门框将真空腔体分割成一半圆；抽气接口法兰的两侧，沿着顶板和底板的边缘设置若干个腔体侧壁结构；在腔体侧壁结构和腔体侧壁结构之间设置腔体侧壁焊接法兰。腔体侧壁焊接法兰和腔体侧壁结构均为先折弯得到的，腔体侧壁焊接法兰和腔体侧壁结构可以预制，将整个的半圆的腔体结构分割成若干块；并且不需要焊完后再加工，然后才在腔体侧壁上焊接法兰，其可直接焊接，既节省了材料也大大降低了腔体的加工成本。
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公开(公告)号：CN218755997U
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202223239870.3
申请日：2022-12-02
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种真空镀膜水冷转架，采用在真空镀膜水冷转架的下方设置进出水装置；进出水装置设置在旋转装置的内部；旋转装置上连接转架结构；进出水装置通过旋转装置后，将冷却介质接入到转架结构中，进行冷却，使得整个真空镀膜水冷转架能够对放置在其上面的镀膜产品进行冷却。解决了在真空镀膜不耐温的薄膜产品的时候，需要进行降温的技术问题。
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公开(公告)号：CN213739647U
公开(公告)日：2021-07-20
申请号：CN202022100856.X
申请日：2020-09-23
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本实用新型涉及一种多弧离子镀中靶材的安装结构，包括：水冷法兰，设置在多弧离子镀中靶材的安装结构的底部；封水板，覆盖在水冷法兰的上方；靶材，设置在封水板的上方；紧固法兰，固定在水冷法兰上方；锁紧结构，设置在紧固法兰与靶材的结合处，同现有技术相比，在需要更换靶材的时候，利用锁紧结构，不再需要进行螺栓拆卸和安装，减少操作时间，提高工作效率。不会造成由于靶材更换频繁，使得密封圈常常失效，导致密封失效，就需要重新拆开、重新安装的技术问题出现，减少拆装水冷法兰、紧固法兰、封水板之间的固定结构，封水板可以做的很薄，减少了封水板的厚度，薄的封水板水冷效果更好，可以有效降低大颗粒的产生。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN213416999U
公开(公告)日：2021-06-11
申请号：CN202022109518.2
申请日：2020-09-23
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/32
Abstract: 本实用新型涉及一种真空镀膜机腔体，包括：腔体，腔体呈多边形立方体；真空镀膜机门，设置在腔体的一个立面上；平面阴极接口，若干个平面阴极接口设置在腔体的立面上；小弧源接口，若干个小弧源接口设置在腔体的立面上；旋转多弧接口，若干个旋转多弧接口设置在真空镀膜机门上；主抽口；若干个主抽口设置在腔体的立面上。本实用新型提供一种多边形的真空镀膜机腔体，改变了圆筒型真空镀膜机功能比较单一的技术问题，提高了真空镀膜机腔体的功能。另外，相对于圆筒型真空镀膜机，其功能件安装面增加可安装多种靶材，真空镀膜机的功能增强，实现可镀复杂膜层的技术功能。
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公开(公告)号：CN220059865U
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202321668876.4
申请日：2023-06-28
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
Abstract: 本实用新型涉及一种高效率真空获取装置，在低真空度抽取装置上并联低真空度抽取装置；在低真空度抽取装置与高真空度抽取装置之间设置高低真空度切换装置；高低真空度切换装置将若干个低真空度抽取装置切换成同时工作；达到真空度后，高低真空度切换装置将其中一个低真空度抽取装置切换成与高真空度抽取装置并行工作，使得其中一个低真空度抽取装置为高真空度抽取装置维持真空；解决了在现有的真空获取装置中，用作分子泵的维持泵的旋片泵仅做为维持泵来使用，分子泵启动的时间滞后以及导致真空获取装置抽取真空的效率不高的技术问题。
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公开(公告)号：CN220057012U
公开(公告)日：2023-11-21
申请号：CN202321668805.4
申请日：2023-06-28
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/50
Abstract: 本实用新型涉及一种真空镀膜工装，采用了转盘；沿着所述转盘的圆周，在转盘上活动连接若干个所述夹具套管；在转盘的外侧固定拨片装置，拨片装置随着转盘的转动，拨动夹具套管，进行自转；在丝锥、钻头、铣刀等产品的真空镀膜的时候，能够使得膜层均匀，解决了现有技术中在丝锥、钻头、铣刀等产品的真空镀膜的时候，工件圆周方向的面与靶面的朝向不一致，从而导致膜层不均匀，使得丝锥、钻头、铣刀等产品在真空镀膜的过程中，良品率不高的技术问题。
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公开(公告)号：CN218761258U
公开(公告)日：2023-03-28
申请号：CN202223239770.0
申请日：2022-12-02
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: F16H57/021
Abstract: 本实用新型涉及一种同心双轴真空密封传动装置，采用在内轴结构的外侧活动连接外轴结构；内轴结构的一端连接转盘；外轴结构的一端连接大齿轮；大齿轮通过啮合小齿轮，内轴结构带动转盘进行自转；外轴结构带动转盘进行公转；实现了外轴结构静止时，内轴结构带着转盘公转；当内轴结构静止时，外轴结构带着大齿轮转动，解决了在现有技术中，一般的真空设备转架只有一种旋转状态，即转盘公转并带着自转轴公转并自转，但是，随着镀膜技术的发展需要进行产品的定点镀膜，这个时候就需要转盘在定点停止但自转轴需保持自转，使得只有一种旋转状态的真空设备转架无法满足要求的问题。
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