公开(公告)号：CN115976479A

公开(公告)日：2023-04-18

申请号：CN202211614903.X

申请日：2022-12-14

Applicant: 上海福宜真空设备有限公司

Inventor： 杨元才 ,  户家周 ,  熊凯 ,  杨喆

IPC: C23C14/34 ,  C23C14/02 ,  C23C14/06 ,  C23C14/56 ,  C23C14/50 ,  C23C14/16 ,  H01M8/0228 ,  H01M8/0213

Abstract: 本发明涉及一种制备双极板表面耐腐蚀涂层的方法及真空镀膜设备，采用了一种制备双极板表面耐腐蚀涂层的方法及其真空镀膜设备，通过镀膜设备预热：镀膜设备的腔体第一次清洗；镀膜设备的腔体第二次清洗；Ti元素第一次打底沉积，Ti元素第二次打底沉积；TiN反应溅射沉积；TiCN反应溅射沉积阶段；反复TiN和TiCN沉积以及类石墨涂层沉积以及关闭设备等步骤以后，实现了制备双极板氢燃料电池的表面耐腐蚀涂层，解决了现有技术中氢燃料电池的双极板表面防腐蚀的技术问题，提升了氢燃料电池的双极板表面防腐蚀的能力。

公开(公告)号：CN218755989U

公开(公告)日：2023-03-28

申请号：CN202223239783.8

申请日：2022-12-02

Applicant: 上海福宜真空设备有限公司

Inventor： 熊凯 ,  户家周 ,  杨元才 ,  杨喆

IPC: C23C14/00

Abstract: 本实用新型涉及一种真空腔体，采用了真空腔体的上方设置顶板；在真空腔体的下方设置底板；在顶板和底板的中心轴线上设置抽气接口法兰；在真空腔体的一侧设置腔体上门框；腔体上门框将真空腔体分割成一半圆；抽气接口法兰的两侧，沿着顶板和底板的边缘设置若干个腔体侧壁结构；在腔体侧壁结构和腔体侧壁结构之间设置腔体侧壁焊接法兰。腔体侧壁焊接法兰和腔体侧壁结构均为先折弯得到的，腔体侧壁焊接法兰和腔体侧壁结构可以预制，将整个的半圆的腔体结构分割成若干块；并且不需要焊完后再加工，然后才在腔体侧壁上焊接法兰，其可直接焊接，既节省了材料也大大降低了腔体的加工成本。

公开(公告)号：CN218755997U

公开(公告)日：2023-03-28

申请号：CN202223239870.3

申请日：2022-12-02

Applicant: 上海福宜真空设备有限公司

Inventor： 熊凯 ,  户家周 ,  杨元才 ,  杨喆

IPC: C23C14/24 ,  C23C14/56

Abstract: 本实用新型涉及一种真空镀膜水冷转架，采用在真空镀膜水冷转架的下方设置进出水装置；进出水装置设置在旋转装置的内部；旋转装置上连接转架结构；进出水装置通过旋转装置后，将冷却介质接入到转架结构中，进行冷却，使得整个真空镀膜水冷转架能够对放置在其上面的镀膜产品进行冷却。解决了在真空镀膜不耐温的薄膜产品的时候，需要进行降温的技术问题。

公开(公告)号：CN218761258U

公开(公告)日：2023-03-28

申请号：CN202223239770.0

申请日：2022-12-02

Applicant: 上海福宜真空设备有限公司

Inventor： 熊凯 ,  杨元才 ,  户家周 ,  杨喆

IPC: F16H57/021

Abstract: 本实用新型涉及一种同心双轴真空密封传动装置，采用在内轴结构的外侧活动连接外轴结构；内轴结构的一端连接转盘；外轴结构的一端连接大齿轮；大齿轮通过啮合小齿轮，内轴结构带动转盘进行自转；外轴结构带动转盘进行公转；实现了外轴结构静止时，内轴结构带着转盘公转；当内轴结构静止时，外轴结构带着大齿轮转动，解决了在现有技术中，一般的真空设备转架只有一种旋转状态，即转盘公转并带着自转轴公转并自转，但是，随着镀膜技术的发展需要进行产品的定点镀膜，这个时候就需要转盘在定点停止但自转轴需保持自转，使得只有一种旋转状态的真空设备转架无法满足要求的问题。