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公开(公告)号：CN220665437U
公开(公告)日：2024-03-26
申请号：CN202322365063.4
申请日：2023-09-01
Applicant: 上海福宜真空设备有限公司
IPC: C23C14/56
Abstract: 本实用新型公开了一种真空镀膜生产线工件车转运结构，包括：主体框架，所述主体框架的内部设置有真空镀膜立式生产线，所述真空镀膜立式生产线的两端分别设置有结构相同的上料架组件和下料架组件，所述上料架组件的内部设置有工件车组件，所述工件车组件的内部安装有镀膜靶件，且所述真空镀膜立式生产线的顶部设置有转运组件。该空镀膜生产线工件车转运结构，通过真空镀膜立式生产线对镀膜靶件进行镀膜，整体结构较小，占地面积较少，且采用转运组件将工件车组件进行循环转运，避免工件车组件再占据额外空间，相较于一般放置于地面的工件车转运方式，其占用的空间小，结构简单，且操作简单，对于连续生产时效率更高。
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