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公开(公告)号：CN103426807B
公开(公告)日：2016-04-13
申请号：CN201210155520.0
申请日：2012-05-18
Applicant: 中国地质大学(北京)
IPC: H01L21/683
Abstract: 一种配置有工件取放装置的半导体刻蚀装置，包括腔室主体，还包括取放工件装置，所述的取放工件装置包括射频电极升降机构和取片视窗出口，射频电极升降机构包括螺旋传力机构和导向机构，螺旋传力机构中的螺母和螺杆与导向机构中的导柱和导套的轴线重合，且驱动电机安装在导套的一端面上。本发明的反应腔室能够方便的取放工件，避免频繁开启反应腔室的端盖所引起的密封件磨损，提高反应腔室的使用寿命，此外取放工件装置包括两级升降机构，实现对不同尺寸工件在两个电极间位置的调整。
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公开(公告)号：CN103426807A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201210155520.0
申请日：2012-05-18
Applicant: 中国地质大学(北京)
IPC: H01L21/683
Abstract: 一种配置有工件取放装置的半导体刻蚀装置，包括腔室主体，还包括取放工件装置，所述的取放工件装置包括射频电极升降机构和取片视窗出口，射频电极升降机构包括螺旋传力机构和导向机构，螺旋传力机构中的螺母和螺杆与导向机构中的导柱和导套的轴线重合，且驱动电机安装在导套的一端面上。本发明的反应腔室能够方便的取放工件，避免频繁开启反应腔室的端盖所引起的密封件磨损，提高反应腔室的使用寿命，此外取放工件装置包括两级升降机构，实现对不同尺寸工件在两个电极间位置的调整。
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公开(公告)号：CN103422071A
公开(公告)日：2013-12-04
申请号：CN201210155362.9
申请日：2012-05-18
Applicant: 中国地质大学(北京)
IPC: C23C16/455
Abstract: 一种可快速更换匀气方式的真空腔室，是一包括腔筒、上盖（20）和下盖的腔体，在上盖（20）上设进气喷嘴（10），进气喷嘴连通一其下方的第一腔体构成第一布气室（160），第一布气室外壁与真空腔体内壁间构成第二布气室（170），在第一布气室腔体壁上设布气孔连通第一布气室和第二布气室；第二布气室腔体壁上设出气口，其上连设真空泵的管路；构成第一布气室的第一腔体与腔体间构成可拆连接结构，腔体上设若干连接结构与不同规格的第一布气室上的连接结构连接，构成可拆连接结构。本发明可检测不同进气方式下腔室内部空间及各气路上的压力参数，研究集成电路制造过程中气流参数对工艺的影响规律，并可显著提高IC装备腔室布气部件优化设计的可信度。
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公开(公告)号：CN101549231A
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：CN200910076583.5
申请日：2009-01-09
Applicant: 中国地质大学(北京) , 清华大学 , 中远造船工业公司
Abstract: 本发明公开了一种含藻海水的气浮旋分耦合分离方法及其装置，该分离方法包括产生气泡；把气泡通入含藻海水中；气泡与含藻海水混合；旋分，旋分结果是轻相、水相、重相。该分离装置包括气泡发生器，混合器，旋分器，气泡发生器主要包括外管、微孔膜管，微孔膜管插入外管中并与外管密封连接，微孔膜管的外壁与外管的内壁之间构成环形空腔结构，外管的外壁上设有充气口与空气压缩机通过软管连接，气泡发生器与加压水泵之间的管路上安装控制装置和检测装置，气泡发生器通过混合器与旋分器连接，旋分器的三个出口，分别是旋分器底部的底流口，旋分器上端侧部的切向出水口，旋分器顶面的中部插入排藻管，排藻管的出口为旋分器的排藻口。
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公开(公告)号：CN103956315A
公开(公告)日：2014-07-30
申请号：CN201410217144.2
申请日：2014-05-22
Applicant: 中国地质大学(北京)
Abstract: 本发明涉及一种电极间距可调的等离子体反应腔室，包括腔室衬套、上盖和位于由所述腔室衬套、上盖构成的空腔内的电极，所述电极包括上电极和下电极，其特征在于，还包括电极间距调整机构，所述上电极包括气体分配部件、调整极板、和多晶硅极板，所述调整极板包括金属极板和石英套筒，优选的，所述金属极板为带底圆筒状，从下向上套装在所述气体分配部件上，其内壁与所述气体分配部件的外壁之间留有间隙；所述金属极板的上端与所述电极间距调整机构的下活塞杆固定连接。本发明提供的上下电极间距可调的等离子体反应腔室以及电极间距调整装置，可以精确的调节上下电极之间距离，且结构简单，操作方便，易于加工制造。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101549257B
公开(公告)日：2012-05-09
申请号：CN200910076584.X
申请日：2009-01-09
Applicant: 中国地质大学(北京) , 清华大学 , 中远造船工业公司
Abstract: 本发明公开了一种气浮旋分耦合分离工艺中的气泡发生器，它包括外管、微孔膜管，外管上设有充气接口，微孔膜管插入外管中并与外管密封连接，微孔膜管与外管之间构成一环形空腔结构，充气接口与环形空腔相通。这种结构简单，拆装方便，利用了由外向内充气，使气泡在管内产生并与液体混合，增加了气泡与颗粒的接触时间，气浮效果好，利用微孔膜管内的高速液流对微孔膜管壁进行反冲洗。
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公开(公告)号：CN101549229B
公开(公告)日：2011-05-25
申请号：CN200910077608.3
申请日：2009-01-24
Applicant: 中国地质大学(北京) , 清华大学 , 中远造船工业公司
IPC: B01D36/04
Abstract: 本发明公开了一种气浮旋分过滤一体化系统净化海水方法，它由布气装置、旋分分离装置、过滤装置和过滤装置的反冲洗装置构成，所述布气装置是在旋流器的外层器壁有充气口，在内层有微孔管；过滤装置的滤网筒的内外设有反冲洗进水管和污水引出管。且可在滤网筒内外设压力传感器，在反冲水进入口和污水出口设置电磁阀与之对应，形成可负压自动反冲洗的过滤装置。本发明的优点是在线清洗效果好，处理量大，可广泛使用于船舶压载水清洗和和各种预处理工业用水。
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公开(公告)号：CN103972014B
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：CN201410219012.3
申请日：2014-05-22
Applicant: 中国地质大学(北京)
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明涉及一种电极间隙调整装置，所述电极位于等离子体反应腔室内，所述电极包括上电极和下电极，其特征在于，包括上电极升降装置，所述上电极升降装置包括上固定板、升降板、下固定板、导向支撑杆、螺杆和滑动杆，所述上固定板和下固定板相对平行设置，所述升降板平行的设置在所述上固定板和下固定板之间；所述导向支撑杆和所述螺杆垂直安装在所述上固定板和下固定板之间，并均匀分布在以所述上固定板的中心为圆心、以一定距离为半径的圆上；所述滑动杆设置在所述升降板和上电极之间。本发明的等离子体反应腔室电极间隙调整装置及等离子体反应腔室能够根据刻蚀工艺需求，精确控制电极间距，达到最佳的放电位置，可以更好的实现工艺的精度。
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公开(公告)号：CN104538334A
公开(公告)日：2015-04-22
申请号：CN201410785587.1
申请日：2014-12-17
Applicant: 中国地质大学(北京)
CPC classification number: H01L21/67161 , H01J37/32
Abstract: 本发明涉及一种多功能等离子体腔室处理系统，其特征在于，包括CCP设备、ICP设备和配气系统，所述配气系统与所述CCP设备和ICP设备连接，用于将所述CCP设备及ICP设备内抽成真空，同时还用于向所述CCP设备及ICP设备内通入混合气体，所述配气系统与所述CCP设备及ICP设备的连接处均设置有阀门。本发明提供的等离子处理系统，通过腔室结构变化可实现CCP和ICP两种放电模式，在一套设备中实现两种操作；通过改变CCP的上电极位置可以对等离子体的行程进行改变；通过更换ICP的线圈可实现对不同尺寸的晶片进行处理，且可以获得较均匀的等离子体分布；通过真空控制系统可实现对不同放电模式的操作。
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公开(公告)号：CN103972014A
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：CN201410219012.3
申请日：2014-05-22
Applicant: 中国地质大学(北京)
IPC: H01J37/32
Abstract: 本发明涉及一种电极间隙调整装置，所述电极位于等离子体反应腔室内，所述电极包括上电极和下电极，其特征在于，包括上电极升降装置，所述上电极升降装置包括上固定板、升降板、下固定板、导向支撑杆、螺杆和滑动杆，所述上固定板和下固定板相对平行设置，所述升降板平行的设置在所述上固定板和下固定板之间；所述导向支撑杆和所述螺杆垂直安装在所述上固定板和下固定板之间，并均匀分布在以所述上固定板的中心为圆心、以一定距离为半径的圆上；所述滑动杆设置在所述升降板和上电极之间。本发明的等离子体反应腔室电极间隙调整装置及等离子体反应腔室能够根据刻蚀工艺需求，精确控制电极间距，达到最佳的放电位置，可以更好的实现工艺的精度。
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