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公开(公告)号：CN108828269A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：CN201810387648.7
申请日：2018-04-26
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明属于原子力显微镜重复定位领域，具体为基于光学定位技术的原子力显微镜精确重复定位实现装置，由压电扫描台、样品安装座、探针位移台和探针安装座组成。其中样品安装座的样品夹与样品夹固定台之间采用磁吸附配合限位球，每次样品夹的安装都在样品夹固定台的中心附近，上下左右偏差达到um量级；进一步采用探针台上的半导体激光器与样品夹上的四象限光电二极管配合，通过控制压电扫描筒与切边压电配合达到nm量级的高精度定位。并且每次测量会记忆测量原点，以压电扫描筒的偏转电压和四象限光电二极管返回的基准为原点基准。下次测量的范围为设定范围的2-3倍找到原点后，重置原点后再以设定范围进行重新扫描。
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公开(公告)号：CN107024495B
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201710256550.3
申请日：2017-04-19
Applicant: 中北大学
IPC: G01N24/10
Abstract: 本发明公开了一种基于微波调相谱技术的金刚石色心自旋传感检测方法，包括如下步骤：（1）、将微波发射端（4）和微波接收端（5）对称安装在抗磁圆环（8）内侧，微波发射端（4）与微波源连接，微波接收端（5）连接FPGA的数据采集口或示波卡的信号输入端，或者，微波接收端（5）通过分口器分别连接示波卡的信号输入端和FPGA的数据采集口。本发明结合了微波调相谱技术进行金刚石色心原子共振信号的检测，用激光将电子能级激发，扫描外加磁场，利用金刚石色心基态能级对微波场的吸收作用检测微波信号的变化，用来读出色心自旋信息。本发明检测方法简便，精度高，而且消除了光路的复杂性和不稳定性，提高了原子磁共振的信噪比。
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公开(公告)号：CN105241455B
公开(公告)日：2017-12-29
申请号：CN201510723294.5
申请日：2015-10-29
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明涉及微型定位‑导航‑授时系统（μPNT）的微装配技术，具体是一种基于TSV技术的μPNT微尺度立体堆叠方法。本发明解决了现有采用SOG技术的微型定位‑导航‑授时系统微装配方法加工难度过大、成品率过低、体积过大、适用范围受限、装配精度过低的问题。基于TSV技术的μPNT微尺度立体堆叠方法，该方法是采用如下步骤实现的：a.选取一个玻璃层，并在玻璃层的上表面溅射金属引线层；b.选取一个硅层，并将硅层的下表面与玻璃层的上表面键合在一起；c.重复进行步骤a‑b，由此得到若干个SOG；d.在各个SOG的硅层上刻蚀形成上下贯通的TSV。本发明适用于微型定位‑导航‑授时系统的微装配。
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公开(公告)号：CN104569498B
公开(公告)日：2017-11-07
申请号：CN201510060548.X
申请日：2015-02-05
Applicant: 中北大学
IPC: G01P21/00
Abstract: 本发明涉及加速度传感器的抗过载能力分析方法，具体是一种高量程加速度传感器的抗过载能力分析方法。本发明解决了现有加速度传感器的抗过载能力分析方法无法对高量程加速度传感器的抗过载能力进行分析的问题。高量程加速度传感器的抗过载能力分析方法，该方法是采用如下步骤实现的：a.将高量程加速度传感器安装在炮弹上，并采用炮弹进行实弹侵彻试验；b.计算得出高量程加速度传感器在额定过载信号下的速度变化量；c.计算得出高量程加速度传感器在额定过载信号下的动能变化量；d.将炮弹在实弹侵彻试验过程中损失的动能与高量程加速度传感器在额定过载信号下的动能变化量进行比较。本发明适用于高量程加速度传感器的可靠性分析。
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公开(公告)号：CN107063307A
公开(公告)日：2017-08-18
申请号：CN201710265744.X
申请日：2017-04-21
Applicant: 中北大学
IPC: G01C25/00
CPC classification number: G01C25/005
Abstract: 本发明涉及微机械陀螺仪的标定方法，具体是一种基于虚拟哥氏力的微机械陀螺仪自标定方法。本发明解决了现有微机械陀螺仪标定方法标定过程繁琐、标定结果精度低、应用范围受限的问题。基于虚拟哥氏力的微机械陀螺仪自标定方法，该方法是采用如下步骤实现的：1）获取哥氏信号幅值；2）施加高精度虚拟哥氏力信号；3）更新由输入角速率产生的哥氏力信号和由虚拟哥氏力产生的信号；4）标定微机械陀螺仪的参数。本发明适用于微机械陀螺仪的标定。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106597011A
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201611205923.6
申请日：2016-12-23
Applicant: 中北大学
IPC: G01P15/02
CPC classification number: G01P15/02 , G01P2015/0862
Abstract: 本发明涉及MEMS谐振式加速度传感器，具体是一种双轴MEMS谐振式加速度传感器结构。本发明解决了现有MEMS谐振式加速度传感器敏感方向单一的问题。双轴MEMS谐振式加速度传感器结构，包括中心质量块、第一至第四环岛质量块、第一至第四大锚块、第一至第十六Ω形支撑梁、第一至第四连接梁、第一至第八梳状微谐振器、第一至第八小锚块；其中，第一环岛质量块位于中心质量块的前方；第二环岛质量块位于中心质量块的后方；第三环岛质量块位于中心质量块的左方；第四环岛质量块位于中心质量块的右方。本发明适用于武器制导、航空航天、生物医学、消费品电子等领域。
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公开(公告)号：CN105366627B
公开(公告)日：2017-03-22
申请号：CN201510824511.X
申请日：2015-11-24
Applicant: 中北大学
IPC: B81B7/00
Abstract: 本发明涉及MEMS器件的过载保护技术，具体是一种适应高过载环境的MEMS器件保护机构。本发明解决了现有MEMS器件的过载保护方法降低了MEMS器件的测试精度、容易导致MEMS器件发生损坏的问题。一种适应高过载环境的MEMS器件保护机构，包括质量块、缓冲凸块部分、连接横梁部分、锚块部分、缓冲垫部分、弹簧部分；所述缓冲凸块部分包括两个前缓冲凸块、两个后缓冲凸块、左缓冲凸块、右缓冲凸块；所述连接横梁部分包括前连接横梁、后连接横梁；所述锚块部分包括两个前锚块、两个后锚块、左锚块、右锚块；所述缓冲垫部分包括两个前缓冲垫、两个后缓冲垫、左缓冲垫、右缓冲垫。本发明适用于MEMS器件的过载保护。
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公开(公告)号：CN106092074A
公开(公告)日：2016-11-09
申请号：CN201610385284.X
申请日：2016-06-03
Applicant: 中北大学
Abstract: 本发明提供一种单芯片级金刚石色心自旋陀螺仪，利用MPCVD磁、电约束方法制备了浓度大于1018cm‑1的氮元素掺杂金刚石结构，利用微纳加工工艺方法制备了金刚石色心波导结构，实现了NV色心结构的波导内全激发和空间全反射高效率收集，同时结合电子束加工方法实现了微波、射频天线的共面制造以及磁场产生线圈的芯片化一体集成，并通过时序操控方法进行陀螺信号高信噪比检测，发明了一种单芯片级的金刚石色心自旋陀螺仪。
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公开(公告)号：CN105180969A
公开(公告)日：2015-12-23
申请号：CN201510725131.0
申请日：2015-10-29
Applicant: 中北大学
IPC: G01C25/00
CPC classification number: G01C25/00
Abstract: 本发明涉及硅微机械陀螺仪的动态标定技术，具体是一种面向闭环检测的微陀螺批量动态测试方法。本发明解决了现有硅微机械陀螺仪动态标定方法标定结果不准确、标定过程费时费力、标定效率低下的问题。一种面向闭环检测的微陀螺批量动态测试方法，该方法是采用如下步骤实现的：1)各个硅微机械陀螺仪均采用单独的驱动闭环回路；2)各个硅微机械陀螺仪共同配备一个外接信号源；各个硅微机械陀螺仪均配备单独的闭环式哥氏力等效信号发生装置；3)各个硅微机械陀螺仪均采用单独的检测闭环回路；4)各个硅微机械陀螺仪均配备单独的采集设备。本发明适用于硅微机械陀螺仪的动态标定。
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公开(公告)号：CN103089243B
公开(公告)日：2015-06-03
申请号：CN201310024666.6
申请日：2013-01-23
Applicant: 中北大学
IPC: E21B47/022
Abstract: 本发明涉及钻井方位角测量技术，具体是一种磁性套管中钻井方位角的测量方法。本发明解决了现有钻井方位角测量技术应用范围有限、以及对外部环境适应性差的问题。一种磁性套管中钻井方位角的测量方法，该方法是采用如下步骤实现的：1）将磁测斜仪安装于磁性套管中，并将磁性套管安装于钻井中；所述磁测斜仪包括三轴加速度计和三轴磁传感器；2）由三轴加速度计对磁性套管自身的重力加速度进行测量并输出；3）由三轴磁传感器对磁性套管内部的磁场进行测量并输出，计算得到钻井的方位角。本发明适用于石油、煤炭、地质勘探、采矿以及桥梁、地铁等工程中的钻井方位角测量。
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