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公开(公告)号：CN107015016B
公开(公告)日：2019-06-21
申请号：CN201710378413.7
申请日：2017-05-25
Applicant: 东南大学
IPC: G01P3/44 , G01P15/08 , G01P15/125 , G01C19/5733 , G01C19/5769 , B81B7/00 , B81C3/00
Abstract: 本发明公开了一种基于SOI封装的六轴微惯性器件，包括单片集成的六轴微惯性器件、玻璃衬底、金属电极、金属引线、SOI盖帽和SOI密封墙；六轴微惯性器件通过阳极键合工艺键合在玻璃衬底上；金属电极为一个以上，均匀设置在玻璃衬底一侧，金属电极通过金属引线与六轴微惯性器件相接，SOI盖帽设在玻璃衬底正上方，SOI密封腔设在SOI盖帽和SOI密封墙之间，形成空腔结构；每个金属电极正上方的SOI盖帽上设有梯形电极孔，梯形电极孔正下方的SOI密封墙上设有垂直贯通；梯形电极孔、垂直贯通与金属电极一一对应。本发明具有全解耦、质量小、结构精巧、成本低和便于批量生产等优点，在单个器件内同时实现了对三轴的加速度和角速度的检测，应用范围广，有着良好的市场前景。
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公开(公告)号：CN107389050A
公开(公告)日：2017-11-24
申请号：CN201710536434.7
申请日：2017-07-04
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种内外电极间隙精确控制的微半球谐振陀螺仪，包括玻璃衬底、玻璃盖帽、密封墙、多晶硅微半球谐振子、基准电极、八个悬空的内电极、八个第一支撑柄、八个支撑柱、十六个外电极、环形电极、第一电极孔、八个第二电极孔、十六个第三电极孔和第四电极孔。本发明采用内、外电极以及环形电极结合，适用于全角模式的控制电路，可以提高陀螺测量的精度和范围。本发明通过精细电极的加工工艺实现了对电极间隙的精确控制，同时增大了电极的电容，提高了驱动的效率和测量的灵敏度。本发明实现了陀螺仪的晶圆级真空封装，性能优良，在高精度的姿态角测量上有较大的应用潜力。
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公开(公告)号：CN108489476B
公开(公告)日：2021-07-09
申请号：CN201810140314.X
申请日：2018-02-11
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5698
Abstract: 本发明公开一种基于声光耦合效应的光声波陀螺仪及其加工方法，光声波陀螺仪包括SOI主体结构、硅盖帽、谐振子、金属电极和光通路；SOI主体结构与硅盖帽键合，SOI主体结构包括SOI衬底和SOI器件层，SOI衬底设在SOI器件层下方；SOI器件层顶面中心部设有圆槽，谐振子为圆盘状，设在圆槽中心，金属电极均匀分布在谐振子外周，光通路均匀分布在相邻两金属电极之间；硅盖帽下表面对应谐振子位置设有凹槽；硅盖帽上设有与金属电极数量相等的电极通孔，电极通孔底部设有金属焊盘，电极通孔与金属电极位置一一对应且相接。本发明利用光来检测角速度，质量小、测量精度高、不受电磁干扰，应用范围广，有着良好的市场前景。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108716914B
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201810531794.2
申请日：2018-05-29
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米光栅的MOEMS陀螺仪及其加工方法，陀螺仪由上至下依次包括：盖帽、微谐振器和衬底，所述微谐振器为双质量块结构微谐振器，包括质量块、驱动框架和解耦梁结构，驱动框架设在质量块对边外围，解耦梁结构与质量块和驱动框架连接；可动纳米光栅附着在微谐振器的质量块上表面，可动纳米光栅上方的盖帽上对应设有固定纳米光栅，且盖帽对应驱动框架的梳齿处设有电极通孔。本发明利用光来检测角速度，具有质量小、测量精度高、不电磁干扰和便于批量生产等优点，应用范围广，有着良好的市场前景。
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公开(公告)号：CN109974681A
公开(公告)日：2019-07-05
申请号：CN201910278354.5
申请日：2019-04-09
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5684
Abstract: 本发明公开了一种基于光波导的盘式谐振陀螺仪及其加工封装方法，陀螺仪包括键合连接的SOI结构和玻璃盖帽，SOI结构自上而下分别是硅器件层、二氧化硅绝缘层和硅衬底层；硅器件层的中心区域为圆形锚点，圆形锚点外围同心设有圆环凹槽结构，圆环凹槽结构外围均匀分布有光学结构，每个光学结构外面设有相应的电极焊盘；硅衬底层内打有若干背部通孔；二氧化硅绝缘层设有圆环形凹槽使得圆环凹槽和背部通孔联通；玻璃盖帽的腔体设在玻璃盖帽背面中间区域，玻璃盖帽上与纳米光栅相对位置设有底部不打通的光栅圆孔，与电极焊盘相对位置设有底部完全打通的电极圆孔。本发明尺寸小、密封性良好、灵敏度高，能实现高精度的光学检测。
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公开(公告)号：CN108716914A
公开(公告)日：2018-10-30
申请号：CN201810531794.2
申请日：2018-05-29
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5656 , G01C19/5663
Abstract: 本发明公开了一种基于纳米光栅的MOEMS陀螺仪及其加工方法，陀螺仪由上至下依次包括：盖帽、微谐振器和衬底，所述微谐振器为双质量块结构微谐振器，包括质量块、驱动框架和解耦梁结构，驱动框架设在质量块对边外围，解耦梁结构与质量块和驱动框架连接；可动纳米光栅附着在微谐振器的质量块上表面，可动纳米光栅上方的盖帽上对应设有固定纳米光栅，且盖帽对应驱动框架的梳齿处设有电极通孔。本发明利用光来检测角速度，具有质量小、测量精度高、不电磁干扰和便于批量生产等优点，应用范围广，有着良好的市场前景。
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公开(公告)号：CN108709549A
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201810530684.4
申请日：2018-05-29
Applicant: 东南大学
Abstract: 本发明公开一种基于纳米光栅的单片集成陀螺仪及其加工方法，陀螺仪包括集成光源、带纳米光栅微谐振器和集成光电转换器；集成光源上对称设有第一反射面，两个第一反射面外侧分别设有光源，相邻两个第一发射面和光源之间设有第一光路；微谐振器由上至下包括盖帽、微谐振器和衬底，微谐振器包括质量块、驱动框架和解耦梁结构，可动光栅附着在微谐振器的质量块下方，可动光栅下方的衬底设有固定光栅，盖帽对应驱动框架四周处设有第一通孔，集成光源设有第二通孔；集成光电转换器上对称设有第二反射面，两个第二反射面外侧分别设有集成光电二极管，相邻两个第二发射面和集成光电二极管之间设有第二光路。本发明测量精度和集成度高、体积小、实用性强。
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公开(公告)号：CN108489476A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201810140314.X
申请日：2018-02-11
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5698
Abstract: 本发明公开一种基于声光耦合效应的光声波陀螺仪及其加工方法，光声波陀螺仪包括SOI主体结构、硅盖帽、谐振子、金属电极和光通路；SOI主体结构与硅盖帽键合，SOI主体结构包括SOI衬底和SOI器件层，SOI衬底设在SOI器件层下方；SOI器件层顶面中心部设有圆槽，谐振子为圆盘状，设在圆槽中心，金属电极均匀分布在谐振子外周，光通路均匀分布在相邻两金属电极之间；硅盖帽下表面对应谐振子位置设有凹槽；硅盖帽上设有与金属电极数量相等的电极通孔，电极通孔底部设有金属焊盘，电极通孔与金属电极位置一一对应且相接。本发明利用光来检测角速度，质量小、测量精度高、不受电磁干扰，应用范围广，有着良好的市场前景。
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