公开(公告)号：CN105529288A

公开(公告)日：2016-04-27

申请号：CN201510672501.9

申请日：2015-10-16

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 中森光则 ,  北野淳一 ,  南辉臣

IPC: H01L21/67 ,  H01L21/02

Abstract: 本发明提供一种能够使液处理后的基板良好地干燥的基板液处理装置和基板液处理方法。在本发明中，使用基板液处理装置(1)自干燥液供给部(23)向基板(3)供给挥发性较高的干燥液，该挥发性较高的干燥液的一部分含有硅系有机化合物，该基板液处理装置(1)包括：纯水供给部(冲洗液供给部(22))，其用于向基板(3)供给纯水；以及所述干燥液供给部(23)，其用于向所述基板(3)供给挥发性比纯水的挥发性高的干燥液。

公开(公告)号：CN209729872U

公开(公告)日：2019-12-03

申请号：CN201920567710.0

申请日：2019-04-24

Applicant: 东京毅力科创株式会社

Inventor： 中森光则 ,  田中晓 ,  折居武彦 ,  丸山裕隆 ,  南辉臣

IPC: H01L21/67

Abstract: 本实用新型提供一种基板处理装置，其在使用处理液对基板进行液体处理后，通过供给挥发性处理液来进行干燥处理，其中，对基板进行加热的基板加热单元在用处理液进行处理的过程中开始向基板的背面供给加热的处理液，由此在供给挥发性处理液之前开始基板的加热，并且在供给挥发性处理液时，向基板的正面供给挥发性处理液的同时向基板的背面供给加热的处理液一定时间，以在基板的表面从挥发性处理液露出之前使基板的表面温度高于露点温度。由此能够防止在基板表面产生水痕而附着微细颗粒的情况。