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公开(公告)号：CN106323261A
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：CN201610635055.9
申请日：2016-08-04
Applicant: 上海交通大学 , 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C19/5691
Abstract: 本发明提出了一种上分立下环形的双电极分布式微陀螺仪及其制备方法，包括：单晶硅基底、中心固定支撑柱、微型谐振子、上电极、下电极、玻璃基底。所述上电极为多个，分布均匀在微型谐振子的上侧，构成均匀分布式上电极，所述下电极为一个，设置在微型谐振子的下侧且该下电极呈环形一体式，构成一环形一体式下电极；本发明结合MEMS体硅加工工艺和表面硅加工工艺进行制作；本发明可提供不同的驱动、检测方式及不同的工作模式，可工作在需要复杂控制的系统中；本发明可利用下电极和上电极分别进行驱动和检测，减小驱动电极和检测电极之间的寄生电容，提高检测精度。
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公开(公告)号：CN114380268B
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202111433887.X
申请日：2021-11-29
Applicant: 上海航天控制技术研究所
Abstract: 本发明提供一种带减振结构的封装管壳及MEMS惯性器件，所述带减振结构的封装管壳，包括管壳本体及多个减振结构，多个所述减振结构采用弹性材料，嵌入在所述管壳本体中并呈对称状分布。所述MEMS惯性器件包括盖板、MEMS芯片和上述的带减振结构的封装管壳，所述MEMS芯片与所述封装管壳电连接，所述盖板与所述封装管壳气密性连接。本发明通过在管壳结构上添加减振结构达到使MEMS惯性器件减振，可以有效的减小有害振动、冲击对MEMS惯性器件的破坏。
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公开(公告)号：CN112479150B
公开(公告)日：2024-11-19
申请号：CN202011149196.2
申请日：2020-10-23
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: B81B7/00 , B81B7/02 , G01C19/5783
Abstract: 本发明公开了一种裸芯片组合封装结构，包括：PCB板，所述PCB板上设有干个凹槽，若干个芯片，每一所述芯片通过粘接层设置在所述PCB板上，所述粘接层对应覆盖于所述凹槽上，与所述凹槽构成一中空部。本发明实现在保证MEMS陀螺仪高性能的同时，降低封装技术成本、减小二级封装系统的体积，提高PCB板的利用率的目的。
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公开(公告)号：CN116429149A
公开(公告)日：2023-07-14
申请号：CN202310342706.5
申请日：2023-03-31
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C25/00
Abstract: 本发明公开了一种带标度因子自校准的半球谐振陀螺控制系统，包括陀螺表头、X路检测电路、Y路检测电路、Y路模数转换电路、X路模数转换电路、FPGA、幅度数模转换电路、正交数模转换电路、力平衡数模转换电路、幅度驱动电路、正交驱动电路、力平衡驱动电路和模拟开关；FPGA控制力平衡数模转换电路和力平衡驱动电路按周期产生力平衡控制信号和校准信号，经过模拟开关的选择，将力平衡控制信号和校准信号分别施加在陀螺表头的驱动极板和检测极板上；校准信号经X路检测电路和X路模数转换电路转化为数字量送入FPGA，经过数字解调得到该校准信号的幅值信息，利用该幅值信息对陀螺的标度因子进行校准。本发明具有校准精度高、角速度信号保持连续的优点。
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公开(公告)号：CN114380268A
公开(公告)日：2022-04-22
申请号：CN202111433887.X
申请日：2021-11-29
Applicant: 上海航天控制技术研究所
Abstract: 本发明提供一种带减振结构的封装管壳及MEMS惯性器件，所述带减振结构的封装管壳，包括管壳本体及多个减振结构，多个所述减振结构采用弹性材料，嵌入在所述管壳本体中并呈对称状分布。所述MEMS惯性器件包括盖板、MEMS芯片和上述的带减振结构的封装管壳，所述MEMS芯片与所述封装管壳电连接，所述盖板与所述封装管壳气密性连接。本发明通过在管壳结构上添加减振结构达到使MEMS惯性器件减振，可以有效的减小有害振动、冲击对MEMS惯性器件的破坏。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN114370887A
公开(公告)日：2022-04-19
申请号：CN202111394717.5
申请日：2021-11-23
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C25/00 , G01C19/567
Abstract: 本发明提供一种基于虚拟转动的力平衡模式振动陀螺零位自标定方法，在力平衡模式下进行如下步骤：步骤S1，在第一时间内，向振动陀螺施加一虚拟进动电压V，并获取所述振动陀螺的力平衡回路的控制电压，记为VFTR1；步骤S2，在第二时间内，向所述振动陀螺施加一反向的虚拟进动电压‑V，并获取所述振动陀螺的力平衡回路的控制电压，记为VFTR2；步骤S3，根据VFTR1和VFTR2，对所述振动陀螺进行零位标定。本发明利用控制回路施加虚拟进动，实现了陀螺仪在不同使用环境以及时间下的零位自标定。
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公开(公告)号：CN111595313A
公开(公告)日：2020-08-28
申请号：CN202010485083.3
申请日：2020-06-01
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C19/5776
Abstract: 本发明公开了一种基于离散电极的轴对称谐振陀螺参数激励方法，该方法包含：步骤1，提供n个间隔布置在半球谐振陀螺上的激励电极，方位设置满足：步骤2，对激励电极施加直流偏置电压以及激励电压进行参数激励，激励电压的频率为谐振子振动信号的两倍；施加在第i个激励电极的电压为：Vi＝VbiasV0cos2ωλt；步骤3，调节激励电压的频率和激励电压的幅度，使激励电压和激励电压的频率达到参数激励的最小电压和谐振频率，使激励电压的幅度为谐振子参数激励下稳定边界电压的最小值。本发明通过离散电极激励，振幅最大的地方将获得最多的能量补充，此时能量补充不影响驻波方位，避免现有位置激励方式引起的驻波方位绑定现象，提高了轴对称谐振陀螺的精度和性能。
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公开(公告)号：CN107607101B
公开(公告)日：2019-08-13
申请号：CN201711073618.0
申请日：2017-11-05
Applicant: 西北工业大学 , 西北工业大学深圳研究院 , 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C19/5776 , G01C25/00 , G05B13/04
Abstract: 本发明公开了一种基于干扰观测器的MEMS陀螺滑模控制方法，用于解决现有MEMS陀螺仪模态控制方法实用性差的技术问题。技术方案是首先设计干扰观测器，在滑模控制中对干扰进行估计与补偿，从而降低抖振；同时根据神经网络预测误差和跟踪误差，设计神经网络权值的复合自适应法则律，修正神经网络的权重系数，实现未知动力学的有效动态估计。本发明通过设计神经网络权值的复合自适应律，修正神经网络的权重系数，实现未知动力学的有效动态估计。结合滑模控制理论，实现对MEMS陀螺未知动力学的前馈补偿，进一步提高MEMS陀螺仪的控制精度。设计干扰观测器，对外部干扰进行估计与补偿，有效降低滑模抖振，实用性好。
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公开(公告)号：CN108709548A
公开(公告)日：2018-10-26
申请号：CN201810508489.1
申请日：2018-05-24
Applicant: 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C19/5663
CPC classification number: G01C19/5663
Abstract: 一种固体振动陀螺谐振子在线调频调谐设备用于对谐振子(1)进行在线调频调谐，该设备包括激光器(2)、三自由度平面运动台(3)、频差测量电路(4)和计算机控制系统(5)；所述激光器(2)用于调整谐振子(1)的局部质量；所述谐振子(1)可拆卸的安装在三自由度平面运动台(3)上；所述三自由度平面运动台(3)用于调整谐振子(1)的姿态和位置；所述频差测量电路(4)用于测量谐振子(1)的参数，并输出给计算机控制系统(5)；所述计算机控制系统(5)用于控制激光器(2)、三自由度平面运动台(3)和频差测量电路(4)。
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公开(公告)号：CN107607101A
公开(公告)日：2018-01-19
申请号：CN201711073618.0
申请日：2017-11-05
Applicant: 西北工业大学 , 西北工业大学深圳研究院 , 上海航天控制技术研究所
IPC: G01C19/5776 , G01C25/00 , G05B13/04
Abstract: 本发明公开了一种基于干扰观测器的MEMS陀螺滑模控制方法，用于解决现有MEMS陀螺仪模态控制方法实用性差的技术问题。技术方案是首先设计干扰观测器，在滑模控制中对干扰进行估计与补偿，从而降低抖振；同时根据神经网络预测误差和跟踪误差，设计神经网络权值的复合自适应法则律，修正神经网络的权重系数，实现未知动力学的有效动态估计。本发明通过设计神经网络权值的复合自适应律，修正神经网络的权重系数，实现未知动力学的有效动态估计。结合滑模控制理论，实现对MEMS陀螺未知动力学的前馈补偿，进一步提高MEMS陀螺仪的控制精度。设计干扰观测器，对外部干扰进行估计与补偿，有效降低滑模抖振，实用性好。
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