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公开(公告)号:CN1319879A
公开(公告)日:2001-10-31
申请号:CN01112232.3
申请日:2001-03-30
Applicant: 三洋电机株式会社
IPC: H01L21/20 , H01L21/324 , H01L21/265 , H01L21/302
CPC classification number: H01L21/02532 , H01L21/02422 , H01L21/02488 , H01L21/02595 , H01L21/02686 , H01L21/2026 , H01L21/32055 , H01L21/32115 , H01L27/1285 , H01L29/04 , H01L29/66757 , H01L29/78636
Abstract: 提供一种除去半导体膜上发生的突起使其表面平坦并具有良好特性的半导体装置及其制造方法。在绝缘性基板10上形成a-Si膜12并向该a-Si膜12照射激光14使之熔融再结晶来制成p-Si膜13时,对发生的突起100,通过用入射角度60°~90°照射由离子铣法产生的离子束来除去该突起100,p-Si膜13表面变得平坦,可以在p-Si膜13与栅电极15之间获得足够的绝缘。
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公开(公告)号:CN100524889C
公开(公告)日:2009-08-05
申请号:CN03160164.2
申请日:2003-09-26
Applicant: 三洋电机株式会社
CPC classification number: H01L51/5088 , H01L21/0212 , H01L21/02274 , H01L21/3127 , H01L51/0052 , H01L51/0059 , H01L51/0062 , H01L51/0078 , H01L51/0081 , Y10S428/917
Abstract: 本发明涉及有机电致发光器件及其制造方法。在玻璃基板上形成由ITO构成的空穴注入电极。在空穴注入电极上依次形成由CuPc(酞菁铜)构成的空穴注入层、采用等离子CVD法形成的由CFx构成的等离子体薄膜、由NPB构成的空穴传输层及发光层。在发光层上形成电子传输层,在其上形成电子注入电极。
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公开(公告)号:CN1282023C
公开(公告)日:2006-10-25
申请号:CN02108439.4
申请日:2002-03-29
Applicant: 三洋电机株式会社
CPC classification number: G02F1/136213
Abstract: 一种在像素部,各像素具有顶栅极型TFT、补助电容Csc、液晶电容Clc的有源矩阵型显示装置,补助电容Csc第1电极(30)由TFTp-Si有源层(14)兼用,第2电极(32)在有源层(14)下层,并在其间挟持绝缘层(12)而成,以使与有源层(14)至少一部份相重叠。在内藏驱动部情况下,驱动部TFT与像素部TFT同为顶栅极型,且有源层(140)与有源层(14)为同一材料,并在有源层(140)下层具挟持绝缘层(12)并与第2电极(32)同一材料构成导电层(32D)。在像素部将防止开口率下降并同时形成补助电容,且可通过像素部TFT与驱动部TFT使有源层多结晶化退火时条件相同,并获得特性一致的TFT。
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公开(公告)号:CN1265680C
公开(公告)日:2006-07-19
申请号:CN01143686.7
申请日:2001-09-28
Applicant: 三洋电机株式会社
CPC classification number: H01L51/0013 , C23C14/042 , H01L27/3211 , H01L51/001 , H01L51/0011 , H01L51/0059 , H01L51/0062 , H01L51/0081 , H01L51/56
Abstract: 在通过将发光材料附着到基片(10)上来形成一层例如有机EL元件的发光层的情况中,在基片(10)和材料源(200)之间设有蒸发掩模(100),它包含有与形成具有多个单独图案的层对应的开口(110)并且其面积小于基片。使掩模(100)和材料源(200)以及基片(10)之间的相对位置滑动与基片(10)的像素尺寸对应的预定间距,从而在基片的预定区域中形成材料层(例如发光层64)。因此,可以通过例如蒸发作用在基片上高精度地形成材料层。
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公开(公告)号:CN1638580A
公开(公告)日:2005-07-13
申请号:CN200410103416.2
申请日:2004-12-27
Applicant: 三洋电机株式会社
CPC classification number: H01L51/5265 , H01L27/3213 , H01L27/3244 , H01L51/5215
Abstract: 本发明提供具有简易且正确地形成微小共振器构造的显示装置。该显示装置包含多个像素,通过两种以上的波长的发射光进行彩色显示的显示装置,各像素具有:形成于基板侧的下部反射膜(110),形成于下部反射膜(110)上方的上部反射膜(240),以及形成于该下部反射膜(110)与该上部反射膜之间的微小共振器构造,在下部反射膜(110)及上部反射膜(240)间插入有机发光组件层(120)。下部反射膜(110)由金属薄膜所构成,在其与有机发光组件层(120)之间具有起第一电极(200)作用的导电性共振间隔物层。该导电性共振间隔物层根据发射波长改变ITO的透明导电性金属氧化物层与SiNx等的透光层(210)的层积数或残留数而改变厚度。该厚度以下层的多结晶ITO作为蚀刻阻止层而从多结晶ITO上选择除去上层的非晶质ITO层或SiNx层,并依照成膜残留的ITO层或SiNx层的厚度改变其厚度,以使发射光由上述微小共振器构造增强后发射到外部。
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公开(公告)号:CN1204782C
公开(公告)日:2005-06-01
申请号:CN02140371.6
申请日:2002-07-01
Applicant: 三洋电机株式会社
CPC classification number: H01L51/525 , H01L51/5246 , H01L51/56
Abstract: 本发明提供一种EL显示面板的制造方法,可以更稳定地对形成有EL元件的显示基板元件面进行封装。将具有层压有机电致发光(EL)元件而形成的元件层(2)而构成的显示基板(3)的元件面,予以粘合于预先涂布有粘合剂(5)的封闭用玻璃(4)上。该粘合是对于以围绕显示基板(3)的元件层(2)的形状而涂布的粘合剂(5)的粘合面,施加压力以使该间隙到达预定值后,进行紫外线照射而使粘合剂固化。此时,设置有不会因该压力的施加而关闭的开口部(8),并在完成给定间隙的粘合之后,使该开口部(8)封闭,而完全将显示基板(3)的元件面封装。
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公开(公告)号:CN1577444A
公开(公告)日:2005-02-09
申请号:CN200410050039.0
申请日:2004-06-29
Applicant: 三洋电机株式会社
CPC classification number: G09G3/3233 , G09G2300/0426 , G09G2300/08 , G09G2320/043 , G09G2320/0626 , G09G2360/144 , G09G2360/145 , G09G2360/148 , H01L27/3227 , H01L27/3269 , H01L2251/5315
Abstract: 本发明提供一种电致发光显示装置及其制造方法,该电致发光显示装置,可因应外部光线的强度而自动补正显示部的发光强度,除了可减少构件数量的外,并可提高外光传感器的检测灵敏度。本发明的电致发光显示装置,是在同一玻璃基板(10A)上一体形成下列各元件:顶部发光型有机EL元件(40A);以顶部栅极型TFT形成用以驱动该有机EL元件的驱动用TFT(30A);以及由底部栅极型TFT所形成的外光传感器(70A)。通过底部栅极型TFT所形成的外光传感器(70A),使射入的外部光线不会受到栅极(73A)遮挡,而得以提高其检测的灵敏度。
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公开(公告)号:CN1527105A
公开(公告)日:2004-09-08
申请号:CN200410006147.8
申请日:2004-03-02
Applicant: 三洋电机株式会社
Inventor: 米田清
IPC: G02F1/133
CPC classification number: H01L29/78621 , H01L27/12 , H01L27/1214 , H01L27/3262 , H01L2029/7863
Abstract: 本发明提供一种电致发光显示装置,解决有机电场组件的微弱发光而成为亮度显示的问题。在形成于玻璃基板等透明绝缘性基板(100)上的多晶硅层所成主动层(101)上,形成栅极绝缘层(102),另形成在栅极绝缘层(102)上延伸的栅极(13g)于主动层(101)形成低浓度掺杂漏极构造(LDD)的源极·漏极。源极(13s)是由相互邻接而触接的P-层及P+层所构成该P+层是掺杂浓度1×1020/cc程度的高浓度层。P-层是由P+层向栅极(13g)方向延伸的掺杂浓度1×1018/cc程度的低浓度层,而且以相互邻接的P-层及P+层构成漏极(13d)。
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公开(公告)号:CN100431165C
公开(公告)日:2008-11-05
申请号:CN200410103416.2
申请日:2004-12-27
Applicant: 三洋电机株式会社
CPC classification number: H01L51/5265 , H01L27/3213 , H01L27/3244 , H01L51/5215
Abstract: 本发明提供具有简易且正确地形成微小共振器构造的显示装置。该显示装置包含多个像素,通过两种以上的波长的发射光进行彩色显示的显示装置,各像素具有:形成于基板侧的下部反射膜(110),形成于下部反射膜(110)上方的上部反射膜(240),以及形成于该下部反射膜(110)与该上部反射膜之间的微小共振器构造,在下部反射膜(110)及上部反射膜(240)间插入有机发光组件层(120)。下部反射膜(110)由金属薄膜所构成,在其与有机发光组件层(120)之间具有起第一电极(200)作用的导电性共振间隔物层。该导电性共振间隔物层根据发射波长改变ITO的透明导电性金属氧化物层与SiNx等的透光层(210)的层积数或残留数而改变厚度。
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公开(公告)号:CN1315201C
公开(公告)日:2007-05-09
申请号:CN03136939.1
申请日:2003-05-23
Applicant: 三洋电机株式会社
Inventor: 米田清
CPC classification number: H01L27/3272 , H01L51/0059 , H01L51/0077 , H01L51/5284 , H05B33/22
Abstract: 本发明涉及一种电致发光显示装置,其目的在于防止阴极层所导致的反射现象,并提高显示的对比度。本发明的有机电致发光显示装置其特征为:在元件玻璃基板(1)上形成具有发光层(2R)、(2G)、(2B)及阴极层(3)的有机EL元件,同时由阴极层(3)覆盖发光层(2R)、(2G)、(2B),在发光层(2R)、(2G)、(2B)的形成区域以外的元件玻璃基板(1)上,形成有用来防止阴极层(3)所导致的光线反射的防反射层(7)。因此,只有来自发光层(2R)、(2G)、(2B)的光会射出至外部,且可防止阴极层(3)所导致的反射现象,故可提高显示的对比度。
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