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公开(公告)号:CN1581428A
公开(公告)日:2005-02-16
申请号:CN200410056261.1
申请日:2004-08-06
Applicant: 三洋电机株式会社 , 关东三洋半导体股份有限公司
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L24/13 , H01L21/6835 , H01L21/6836 , H01L21/78 , H01L23/3114 , H01L24/11 , H01L24/12 , H01L2221/68327 , H01L2221/68372 , H01L2224/02313 , H01L2224/0401 , H01L2224/0558 , H01L2224/05644 , H01L2224/131 , H01L2224/13144 , H01L2924/00013 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01023 , H01L2924/01033 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/00014 , H01L2224/13099
Abstract: 一种半导体装置及其制造方法,其谋求改善由芯片尺寸封装件构成的半导体装置的制造方法,提高成品率和可靠性。在半导体基板(302)上仅在第一配线(301)存在的区域形成能露出第一配线的窗口(303)。由此通过增大半导体基板(302)与未图示的玻璃基板介由绝缘膜和树脂粘接的区域,防止发生裂纹和剥离。而且窗口(303)形成后,沿切割线形成切口(30),再把该切口用保护膜覆盖后进行用于分离半导体装置成各个半导体芯片的切割。因此,能极力抑制由刀片的接触导致的分离的半导体芯片的断面和边缘部剥离。
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公开(公告)号:CN1453865A
公开(公告)日:2003-11-05
申请号:CN03122991.3
申请日:2003-04-23
Applicant: 三洋电机株式会社
CPC classification number: H01L24/10 , H01L23/3114 , H01L24/13 , H01L2224/05548 , H01L2224/05556 , H01L2224/05573 , H01L2224/13 , H01L2224/13099 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01021 , H01L2924/01023 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01057 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/14 , H01L2924/00
Abstract: 一种半导体装置及其制造方法,在半导体芯片(2)的表面上形成绝缘膜(6a),在其绝缘膜(6a)上形成第1布线(5a)。在半导体芯片(2)的表面上粘接玻璃基板(3),在半导体芯片(3)的侧面以及背面覆盖绝缘膜(16a)。然后,设置与第1布线(5a)的侧面连接、并在半导体芯片(2)的背面上延伸的第2布线(9a)。并且,在第2布线(9a)上形成凸点焊盘等导电端子(8)。从而,可以降低具有球状导电端子的BGA(ball Grid Array)型的半导体装置的成本并提高其可靠性。
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公开(公告)号:CN1983612B
公开(公告)日:2010-07-21
申请号:CN200610166709.4
申请日:2006-12-08
Applicant: 三洋电机株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L23/485 , H01L21/50 , H01L21/60
CPC classification number: H01L27/14618 , H01L27/14636 , H01L31/0203 , H01L2224/05001 , H01L2224/05008 , H01L2224/05024 , H01L2224/05124 , H01L2224/05147 , H01L2224/05548 , H01L2224/05624 , H01L2224/05647 , H01L2224/10 , H01L2924/00014
Abstract: 一种半导体装置,在半导体基板(2)的表面上形成有光接收元件(1)(例如CCD、红外线传感器、CMOS传感器、照度传感器等光接收元件)。半导体基板(2)的背面配置多个球状的导电端子(11)。各个导电端子(11)经由配线层(9)而与半导体基板(2)的表面的焊盘电极(4)电气连接。在此,配线层(9)和导电端子(11)在所述半导体基板(2)的背面上、在垂直方向上看时除与光接收元件(1)的形成区域重叠的区域以外的区域上,在与所述光接收元件(1)的形成区域重叠的区域上不配置配线层(9)、导电端子(11)。从而能够解决输出图像上映入形成在半导体基板的背面上的配线图案这样的问题。
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公开(公告)号:CN101355058A
公开(公告)日:2009-01-28
申请号:CN200810128189.7
申请日:2008-07-21
CPC classification number: H01L23/5389 , H01L21/6836 , H01L23/3121 , H01L23/3185 , H01L24/12 , H01L2221/68327 , H01L2224/16 , H01L2924/01077 , H01L2924/01078 , H01L2924/12044 , H01L2924/14
Abstract: 本发明的目的在于提供一种可靠性高的半导体装置及其制造方法。该半导体装置具有:与半导体芯片(2a)内的电路元件连接且形成于该半导体芯片(2a)上的侧面部附近的焊盘电极(4);形成于所述焊盘电极(4)上的支承体(7);形成于所述半导体芯片(2a)的侧面部和背面部的绝缘膜(9);与所述焊盘电极(4)的背面连接、从所述半导体芯片(2a)的侧面部向背面部延伸而与所述绝缘膜相接的配线层(10);形成于所述支承体(7)的侧面部的第二保护膜(15a)。
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公开(公告)号:CN101174572A
公开(公告)日:2008-05-07
申请号:CN200710197182.6
申请日:2004-08-06
Applicant: 三洋电机株式会社 , 关东三洋半导体股份有限公司
IPC: H01L21/60 , H01L23/485
CPC classification number: H01L2224/13
Abstract: 一种半导体装置及其制造方法,其谋求改善由芯片尺寸封装件构成的半导体装置的制造方法,提高成品率和可靠性。在半导体基板(302)上仅在第一配线(301)存在的区域形成能露出第一配线的窗口(303)。由此通过增大半导体基板(302)与未图示的玻璃基板介由绝缘膜和树脂粘接的区域,防止发生裂纹和剥离。而且窗口(303)形成后,沿切割线形成切口(30),再把该切口用保护膜覆盖后进行用于分离半导体装置成各个半导体芯片的切割。因此,能极力抑制由刀片的接触导致的分离的半导体芯片的断面和边缘部剥离。
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公开(公告)号:CN100367451C
公开(公告)日:2008-02-06
申请号:CN200410056261.1
申请日:2004-08-06
Applicant: 三洋电机株式会社 , 关东三洋半导体股份有限公司
IPC: H01L21/00
CPC classification number: H01L24/13 , H01L21/6835 , H01L21/6836 , H01L21/78 , H01L23/3114 , H01L24/11 , H01L24/12 , H01L2221/68327 , H01L2221/68372 , H01L2224/02313 , H01L2224/0401 , H01L2224/0558 , H01L2224/05644 , H01L2224/131 , H01L2224/13144 , H01L2924/00013 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01023 , H01L2924/01033 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/00014 , H01L2224/13099
Abstract: 一种半导体装置及其制造方法,其谋求改善由芯片尺寸封装件构成的半导体装置的制造方法,提高成品率和可靠性。在半导体基板(302)上仅在第一配线(301)存在的区域形成能露出第一配线的窗口(303)。由此通过增大半导体基板(302)与未图示的玻璃基板介由绝缘膜和树脂粘接的区域,防止发生裂纹和剥离。而且窗口(303)形成后,沿切割线形成切口(30),再把该切口用保护膜覆盖后进行用于分离半导体装置成各个半导体芯片的切割。因此,能极力抑制由刀片的接触导致的分离的半导体芯片的断面和边缘部剥离。
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公开(公告)号:CN1983612A
公开(公告)日:2007-06-20
申请号:CN200610166709.4
申请日:2006-12-08
Applicant: 三洋电机株式会社
IPC: H01L27/146 , H01L23/485 , H01L21/50 , H01L21/60
CPC classification number: H01L27/14618 , H01L27/14636 , H01L31/0203 , H01L2224/05001 , H01L2224/05008 , H01L2224/05024 , H01L2224/05124 , H01L2224/05147 , H01L2224/05548 , H01L2224/05624 , H01L2224/05647 , H01L2224/10 , H01L2924/00014
Abstract: 一种半导体装置,在半导体基板(2)的表面上形成有光接收元件(1)(例如CCD、红外线传感器、CMOS传感器、照度传感器等光接收元件)。半导体基板(2)的背面配置多个球状的导电端子(11)。各个导电端子(11)经由配线层(9)而与半导体基板(2)的表面的焊盘电极(4)电气连接。在此,配线层(9)和导电端子(11)在所述半导体基板(2)的背面上、在垂直方向上看时除与光接收元件(1)的形成区域重叠的区域以外的区域上,在与所述光接收元件(1)的形成区域重叠的区域上不配置配线层(9)、导电端子(11)。从而能够解决输出图像上映入形成在半导体基板的背面上的配线图案这样的问题。
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公开(公告)号:CN1257550C
公开(公告)日:2006-05-24
申请号:CN03122991.3
申请日:2003-04-23
Applicant: 三洋电机株式会社
CPC classification number: H01L24/10 , H01L23/3114 , H01L24/13 , H01L2224/05548 , H01L2224/05556 , H01L2224/05573 , H01L2224/13 , H01L2224/13099 , H01L2924/01005 , H01L2924/01006 , H01L2924/01013 , H01L2924/01015 , H01L2924/01021 , H01L2924/01023 , H01L2924/01029 , H01L2924/01033 , H01L2924/01057 , H01L2924/01078 , H01L2924/01079 , H01L2924/01082 , H01L2924/014 , H01L2924/14 , H01L2924/00
Abstract: 一种半导体装置及其制造方法,在半导体芯片(2)的表面上形成绝缘膜(6a),在其绝缘膜(6a)上形成第1布线(5a)。在半导体芯片(2)的表面上粘接玻璃基板(3),在半导体芯片(3)的侧面以及背面覆盖绝缘膜(16a)。然后,设置与第1布线(5a)的侧面连接、并在半导体芯片(2)的背面上延伸的第2布线(9a)。并且,在第2布线(9a)上形成凸点焊盘等导电端子(8)。从而,可以降低具有球状导电端子的BGA(ball Grid Array)型的半导体装置的成本并提高其可靠性。
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