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公开(公告)号：CN110879508A
公开(公告)日：2020-03-13
申请号：CN201910837249.0
申请日：2019-09-05
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 本发明公开一种抗蚀剂垫层组合物和使用抗蚀剂垫层组合物形成图案的方法，所述组合物包含：聚合物，包含由化学式1-1表示的第一部分和由化学式1-2表示的第二部分中的至少一者；热酸产生剂，包含由酸衍生的阴离子和衍生自pKa大于或等于7的碱的阳离子构成的盐；以及溶剂：化学式1-1到化学式1-2的定义与具体实施方式中所描述的定义相同。[化学式1-1] ，[化学式1-2]
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公开(公告)号：CN108388079A
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201810067086.8
申请日：2018-01-24
Applicant: 三星SDI株式会社
CPC classification number: G03F7/092 , C08G59/245 , C08G59/4238 , G03F7/0392 , G03F7/094 , G03F7/11 , H01L21/3081 , H01L21/3088
Abstract: 本申请公开一种抗蚀剂垫层组成物，其包含包括由化学式1和化学式2表示的部分的聚合物和溶剂，且本申请另公开一种使用所述抗蚀剂垫层组成物形成图案的方法。化学式1和化学式2的定义与实施方式中相同。[化学式1][化学式2]
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公开(公告)号：CN113138532B
公开(公告)日：2025-05-13
申请号：CN202110056902.7
申请日：2021-01-15
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 本发明公开一种抗蚀剂底层组合物，包含：(A)包含由化学式1表示的结构单元、由化学式2表示的化合物或其组合的聚合物；(B)包含其中由化学式3或化学式4表示的部分中的至少一个和由化学式7表示的部分彼此键结的结构的聚合物；以及(C)溶剂；且还公开一种使用抗蚀剂底层组合物形成图案的方法，化学式1到化学式4和化学式7的定义如说明书中所描述。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN119002177A
公开(公告)日：2024-11-22
申请号：CN202410320656.5
申请日：2024-03-20
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 提供一种抗蚀剂面层组合物以及使用所述抗蚀剂面层组合物来形成图案的方法。所述抗蚀剂面层组合物包括共聚物以及溶剂，所述共聚物包含由化学式M‑1表示的第一结构单元、由化学式M‑2表示的第二结构单元及包括由化学式M‑3A、化学式M‑3B、化学式M‑3C及化学式M‑3D表示的结构单元中的至少一者的第三结构单元。
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公开(公告)号：CN110879508B
公开(公告)日：2023-08-08
申请号：CN201910837249.0
申请日：2019-09-05
Applicant: 三星SDI株式会社
Abstract: 本发明公开一种抗蚀剂垫层组合物和使用抗蚀剂垫层组合物形成图案的方法，所述组合物包含：聚合物，包含由化学式1‑1表示的第一部分和由化学式1‑2表示的第二部分中的至少一者；热酸产生剂，包含由酸衍生的阴离子和衍生自pKa大于或等于7的碱的阳离子构成的盐；以及溶剂：化学式1‑1到化学式1‑2的定义与具体实施方式中所描述的定义相同。[化学式1‑1][化学式1‑2]
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