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公开(公告)号：CN102636118A
公开(公告)日：2012-08-15
申请号：CN201210107951.X
申请日：2012-04-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于表面微细结构测量技术领域，涉及一种激光三差动共焦theta成像检测方法。该方法采用共焦theta显微术的光路布置对被测样品进行扫描测量，将物镜的光瞳面分割为照明光瞳和收集光瞳，入射光束透过照明光瞳后被物镜会聚到被测表面，载有被测样品信息的反射光经过收集光瞳后，被聚光镜会聚于探测面上，在探测焦面上设置三个区域，测得这三个区域的响应并得出探测器响应特性方程，依据曲线在线性区间内的强度大小，或强度为零的位置，重构出被测样品的表面形貌和微观尺度。该方法结构简单，可有效兼顾分辨能力与量程范围，实现物体表面形貌和三维微细结构等的光学高分辨绝对测量。
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公开(公告)号：CN101726358B
公开(公告)日：2012-02-01
申请号：CN200910237438.0
申请日：2009-11-06
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01J3/02
Abstract: 本发明属于光电成像与测试技术领域，涉及一种共分划面全光谱标靶。本发明包括基底、多象限探测器、星点孔和分划线；其中，多象限探测器制作在基底分划线以外的区域上，分划线是多象限探测器的区域分割线，星点孔为通孔，位于基底中心处；基底是全光谱透射材质，分划线是具有标识特征的任意图形。本发明将可透射全光谱波段的材料应用于分划板基底，大大减少了人工或机械调整控制转换对测量精度的影响，该分划板可实现可见、红外、激光分划标靶合一的功能，具有无失调、精度高、体积小、重量轻等显著特点，可用于全光谱多光轴一致性检测系统中，实现高精度、无失调的分划瞄准。
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公开(公告)号：CN102147240A
公开(公告)日：2011-08-10
申请号：CN201010621159.7
申请日：2010-12-24
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/255 , G01B11/06 , G01B11/14 , G01N21/45 , G01M11/02
CPC classification number: G01M11/025 , G01B11/06 , G01B11/14 , G01B11/2441 , G01B11/255 , G01M11/0271
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种差动共焦(共焦)干涉元件多参数测量方法与装置。本发明的核心思想是利用差动共焦(共焦)测量系统测量球面元件表面曲率半径、透镜顶焦距、透镜折射率、透镜厚度以及镜组轴向间隙，利用面形干涉测量系统测量元件表面面形，可实现元件多个参数的同时测量，测量精度高。本发明首次将差动共焦(共焦)探测系统和面形干涉测量系统相融合，测量参数全面，且在元件多个参数测量过程中，无需重新调整光路，拆卸被测元件，对被测元件无损伤，测量速度快。
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公开(公告)号：CN101762240B
公开(公告)日：2011-07-27
申请号：CN201010000553.9
申请日：2010-01-13
Applicant: 北京理工大学
IPC: G01B11/14
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种差动共焦镜组轴向间隙测量方法与装置，该方法首先通过差动共焦定焦原理对镜组内各透镜表面实现高精度定位，并获得各定位点处差动共焦测头的位置坐标，然后利用光线追迹递推公式依次计算镜组内各轴向间隙。同时在测量光路中引入环形光瞳，遮挡近轴光线，形成空心的测量光锥，削减了像差对测量结果的影响。本发明使用差动共焦光锥对镜组内的透镜表面实现非接触高精度定位，具有工作距离长，测量速度快，测量过程中无需拆卸被测镜组等特点。可用于镜组内轴向间隙的非接触高精度测量。
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公开(公告)号：CN101509828B
公开(公告)日：2010-12-08
申请号：CN200910079330.3
申请日：2009-03-06
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种差动共焦-低相干干涉组合折射率及厚度测量方法与装置。该方法首先通过差动共焦定焦原理和低相干干涉原理分别确定被测样品的前表面位置和后表面位置对应的测量物镜和参考部分的位置，然后测量测量物镜的移动距离Δz和参考部分的移动距离Δl，带入公式计算被测样品的折射率和厚度。本发明首次提出利用差动共焦响应曲线过零点时对应显微物镜焦点的特性实现精确定焦，将差动共焦显微原理扩展到折射率和厚度测量领域，形成差动共焦测厚原理。本发明融合了差动共焦定焦原理与低相干干涉技术，具有测量精度高、抗环境干扰能力强的优点，可用于样品的折射率和厚度的检测。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN101852594A
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：CN201010173338.9
申请日：2010-05-10
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种超分辨激光偏振差动共焦成像方法与装置。该方法通过径向偏振光与光瞳滤波技术相结合，改善横向分辨力；通过轴向偏置的双探测器系统差动相减探测技术，改善轴向分辨力，继而显著改善系统空间分辨力和层析成像能力。该装置包括激光光源，依次放置在激光光源发射端方向的扩束器、偏振态调制系统、光瞳滤波器、分光镜，依次放置于分光镜透射光方向的物镜、样品，以及分光镜反射光方向反方向的差动共焦系统。本发明将径向偏振光分辨技术与光瞳滤波技术相结合，显著改善系统横向分辨力，其差动工作方式可显著改善系统轴向成像能力，可用于纳米制造领域中纳米级几何参数的高精度检测与计量。
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公开(公告)号：CN101776516A
公开(公告)日：2010-07-14
申请号：CN201010000554.3
申请日：2010-01-13
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种基于PSD位置探测的共分划面多光谱标靶，属于光电成像与测试技术领域。本发明的PSD位置探测共分划面多光谱标靶，包括基底、PSD、多杆靶组、多圆孔靶和分划线；其中，PSD制作在基底中心区域，分划线中心的延长线与PSD的中心线重合，多杆靶组由具有不同间距、杆长和杆宽的多杆靶构成，且其任意放置在PSD以外的区域；多圆孔靶放置在PSD以外的区域，关于PSD中心对称；基底是多光谱透射材质，分划线是具有标识特征的任意图形。本发明将可透射多光谱波段的材料应用于分划板基底，大大减少了人工或机械调整控制转换对测量精度的影响，该分划板可实现可见光、红外、激光分划标靶合一的功能，具有无失调、精度高、体积小、重量轻等显著特点。
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公开(公告)号：CN101354308A
公开(公告)日：2009-01-28
申请号：CN200810211257.6
申请日：2008-09-19
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种数字视差测量仪及测量方法。本发明包括光源、物镜、图像采集模块、计算机、机电平移台。光源通过目镜照明被测光学系统的分划板，光线透过望远物镜后进入物镜并在图像采集模块上成像，图像采集模块将所成图像传送给计算机，计算机控制机电平移台实现机电平移，机电平移台向计算机返回机电平移数据；物镜装卡于机电平移台上。本发明还可以包括分光系统，光线通过分光系统进入粗瞄摄像机，将采集到的视频信号传输给监视器，用于测量前的粗瞄对准。本发明用计算机来修正由环境变化引起的测量误差，具有精度高、速度快、客观性好的优点，可用于光学系统的检测与装配过程中的高精度视差测量。
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公开(公告)号：CN101271283A
公开(公告)日：2008-09-24
申请号：CN200810100859.4
申请日：2008-02-25
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明涉及一种光刻机物镜点光源工作条件下杂光系数测试装置，属于光电测试技术领域。本发明旨在解决影响光刻质量的成像物镜像面杂光这个关键成像性能的高精度测量与评估。本发明由点光源照明系统、光刻物镜、像方接收系统组成；光刻物镜放置在点光源孔的光路上。像方接收系统由小孔光阑、中继光学系统、积分球后端的牛角消光管、光电探测器、信号处理系统组成。点光源照明系统的光线通过光刻机物镜像方上的小孔光阑后的艾里斑像，然后由积分球探测，测得光刻机物镜点光源工作条件下的随照明视场变化的杂光系数。本发明装置具有探测信噪比高、精度高，功能强，可用于新研制和使用中的光刻机物镜成像质量的检测、监控与评估。
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公开(公告)号：CN101231158A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200810057898.0
申请日：2008-02-20
Applicant: 北京理工大学
Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域，涉及一种基于液体变焦透镜的微小物体三维外形尺寸的快速检测装置。本发明包括二维平移台、被测物体、液体变焦透镜、有限共轭物镜、聚焦镜、CCD摄像机、图像采集模块、计算机、液体变焦透镜控制器。在二维平移台上放置被测物体，经液体变焦透镜、有限共轭物镜、聚焦镜后成像在CCD摄像机的感光像面上。CCD摄像机通过图像采集模块与计算机连接；计算机通过液体变焦透镜控制器与液体变焦透镜连接。本发明将液体变焦透镜应用于微小物体三维外形尺寸的快速检测。本装置光学系统中没有机械移动部件，提高了仪器的测量速度与使用寿命。可用于机械加工、MEMS、微电子、生物医药等领域中进行快速的三维外形尺寸检测。
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