差动共焦内调焦法镜组光轴及间隙测量方法与装置

    公开(公告)号:CN101813458B

    公开(公告)日:2011-07-27

    申请号:CN201010121835.4

    申请日:2010-03-11

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦内调焦法镜组光轴及间隙测量方法与装置。该方法首先利用内调焦物镜结合自准直法对被测镜组的光轴进行精确调整,然后利用差动共焦定焦原理对被测镜组各表面实现高精度定位,并获得各定位点处差动共焦光锥的数值孔径角,最后利用光线追迹递推公式依次计算被测镜组各间隙。同时在测量光路中引入环形光瞳,形成空心的测量光锥,削减了像差对测量结果的影响。本发明将差动共焦技术与内调焦技术相融合,具有测量精度高、速度快、系统结构简单、工作距离长、测量过程中无需拆卸被测镜组等优点,可用于镜组光轴及间隙的非接触高精度测量。

    多焦全息差动共焦超大曲率半径测量方法与装置

    公开(公告)号:CN101858736B

    公开(公告)日:2012-04-25

    申请号:CN201010173084.0

    申请日:2010-05-10

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种多焦全息差动共焦超大曲率半径测量方法与装置。该方法首先利用差动共焦系统对多焦全息透镜的长焦距值进行校准,减小测量的系统误差,然后利用差动共焦定焦原理对被测件的猫眼位置和共焦位置实现非接触高精度定位,继而利用几何光学原理可以实现超大曲率半径的高精度测量。该装置包括点光源、第一分光镜、准直物镜、多焦全息透镜、差动共焦系统、调整架、测长系统和移动导轨。本发明首次将差动共焦高精度定焦原理与多焦全息透镜压缩光路原理相融合,具有被测件移动距离小、测量精度高、测量速度快、抗环境干扰能力强、对被测表面无损伤等优点,可用于超大曲率半径的高精度非接触测量。

    差动共焦透镜中心厚度测量方法与装置

    公开(公告)号:CN101793500B

    公开(公告)日:2011-08-03

    申请号:CN201010000555.8

    申请日:2010-01-13

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦透镜中心厚度测量方法与装置。该方法首先通过差动共焦定焦原理分别确定被测透镜前表面顶点和后表面顶点的位置,并获取差动共焦测头两次定位的位置坐标,然后利用光线追迹公式计算透镜中心厚度。同时在测量光路中引入环形光瞳,遮挡近轴光线,形成空心的测量光锥,削减了像差对测量结果的影响。该装置包括分光系统、物镜、差动共焦系统、测长系统和移动导轨;其中分光系统、物镜和被测透镜依次放在准直光源出射光线方向,差动共焦系统放置在分光系统反射方向,本发明利用差动共焦光锥对透镜表面精确定位,实现了透镜中心厚度的非接触高精度测量。

    差动共焦镜组轴向间隙测量方法

    公开(公告)号:CN101762240B

    公开(公告)日:2011-07-27

    申请号:CN201010000553.9

    申请日:2010-01-13

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦镜组轴向间隙测量方法与装置,该方法首先通过差动共焦定焦原理对镜组内各透镜表面实现高精度定位,并获得各定位点处差动共焦测头的位置坐标,然后利用光线追迹递推公式依次计算镜组内各轴向间隙。同时在测量光路中引入环形光瞳,遮挡近轴光线,形成空心的测量光锥,削减了像差对测量结果的影响。本发明使用差动共焦光锥对镜组内的透镜表面实现非接触高精度定位,具有工作距离长,测量速度快,测量过程中无需拆卸被测镜组等特点。可用于镜组内轴向间隙的非接触高精度测量。

    差动共焦内调焦法镜组光轴及间隙测量方法与装置

    公开(公告)号:CN101813458A

    公开(公告)日:2010-08-25

    申请号:CN201010121835.4

    申请日:2010-03-11

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦内调焦法镜组光轴及间隙测量方法与装置。该方法首先利用内调焦物镜结合自准直法对被测镜组的光轴进行精确调整,然后利用差动共焦定焦原理对被测镜组各表面实现高精度定位,并获得各定位点处差动共焦光锥的数值孔径角,最后利用光线追迹递推公式依次计算被测镜组各间隙。同时在测量光路中引入环形光瞳,形成空心的测量光锥,削减了像差对测量结果的影响。本发明将差动共焦技术与内调焦技术相融合,具有测量精度高、速度快、系统结构简单、工作距离长、测量过程中无需拆卸被测镜组等优点,可用于镜组光轴及间隙的非接触高精度测量。

    差动共焦透镜中心厚度测量方法与装置

    公开(公告)号:CN101793500A

    公开(公告)日:2010-08-04

    申请号:CN201010000555.8

    申请日:2010-01-13

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦透镜中心厚度测量方法与装置。该方法首先通过差动共焦定焦原理分别确定被测透镜前表面顶点和后表面顶点的位置,并获取差动共焦测头两次定位的位置坐标,然后利用光线追迹公式计算透镜中心厚度。同时在测量光路中引入环形光瞳,遮挡近轴光线,形成空心的测量光锥,削减了像差对测量结果的影响。该装置包括分光系统、物镜、差动共焦系统、测长系统和移动导轨;其中分光系统、物镜和被测透镜依次放在准直光源出射光线方向,差动共焦系统放置在分光系统反射方向,本发明利用差动共焦光锥对透镜表面精确定位,实现了透镜中心厚度的非接触高精度测量。

    多焦全息差动共焦超大曲率半径测量方法与装置

    公开(公告)号:CN101858736A

    公开(公告)日:2010-10-13

    申请号:CN201010173084.0

    申请日:2010-05-10

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种多焦全息差动共焦超大曲率半径测量方法与装置。该方法首先利用差动共焦系统对多焦全息透镜的长焦距值进行校准,减小测量的系统误差,然后利用差动共焦定焦原理对被测件的猫眼位置和共焦位置实现非接触高精度定位,继而利用几何光学原理可以实现超大曲率半径的高精度测量。该装置包括点光源、第一分光镜、准直物镜、多焦全息透镜、差动共焦系统、调整架、测长系统和移动导轨。本发明首次将差动共焦高精度定焦原理与多焦全息透镜压缩光路原理相融合,具有被测件移动距离小、测量精度高、测量速度快、抗环境干扰能力强、对被测表面无损伤等优点,可用于超大曲率半径的高精度非接触测量。

    共焦透镜中心厚度测量方法与装置

    公开(公告)号:CN101788271A

    公开(公告)日:2010-07-28

    申请号:CN201010128449.8

    申请日:2010-03-17

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种共焦透镜中心厚度测量方法与装置,该方法首先通过共焦定焦原理分别确定透镜前表面顶点和后表面顶点的位置,并获取共焦测头两次定位的位置坐标,然后利用光线追迹公式计算透镜中心厚度。同时在测量光路中引入环形光瞳,遮挡近轴光线,形成空心的测量光锥,削减了像差对测量结果的影响;该装置包括分光系统、物镜、共焦系统、测长系统和移动导轨;其中分光系统、物镜和被测透镜依次放在准直光源出射光线方向,共焦系统放置在分光系统反射方向,被测透镜表面与分光系统将光束反射至共焦系统,并配合共焦系统实现被测透镜前表面顶点和后表面顶点的精确定位,实现了透镜中心厚度的非接触高精度测量。

    共焦镜组轴向间隙测量方法与装置

    公开(公告)号:CN101782373A

    公开(公告)日:2010-07-21

    申请号:CN201010128405.5

    申请日:2010-03-17

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种共焦镜组轴向间隙测量的方法与装置,该方法首先通过共焦定焦原理对镜组内各透镜表面实现高精度定位,并获得各定位点处共焦测头的位置坐标,然后利用光线追迹递推公式依次计算镜组内各轴向间隙。同时在测量光路中引入环形光瞳,遮挡近轴光线,形成空心的测量光锥,削减了像差对测量结果的影响。本发明使用共焦光锥对镜组内的透镜表面实现非接触高精度定位,具有工作距离长,测量速度快,测量精度高,测量过程中无需拆卸被测镜组等特点。

    差动共焦镜组轴向间隙测量方法与装置

    公开(公告)号:CN101762240A

    公开(公告)日:2010-06-30

    申请号:CN201010000553.9

    申请日:2010-01-13

    Abstract: 本发明属于光学精密测量技术领域,涉及一种差动共焦镜组轴向间隙测量方法与装置,该方法首先通过差动共焦定焦原理对镜组内各透镜表面实现高精度定位,并获得各定位点处差动共焦测头的位置坐标,然后利用光线追迹递推公式依次计算镜组内各轴向间隙。同时在测量光路中引入环形光瞳,遮挡近轴光线,形成空心的测量光锥,削减了像差对测量结果的影响。本发明使用差动共焦光锥对镜组内的透镜表面实现非接触高精度定位,具有工作距离长,测量速度快,测量过程中无需拆卸被测镜组等特点。可用于镜组内轴向间隙的非接触高精度测量。

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