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公开(公告)号：CN211293676U
公开(公告)日：2020-08-18
申请号：CN201921540355.4
申请日：2019-09-17
Applicant: 东南大学
IPC: G05B19/042
Abstract: 本实用新型公开了基于电刺激的昆虫飞行行为控制的电路装置，该装置由上位机、协调器、电子背包三部分组成，其中上位机通过串口与协调器连接，协调器与电子背包采用无线通信的方式连接。上位机基于Labview平台实现，通过串口向下位机发送飞行指令；协调器部分主要包括USB/串口电路、第一微处理器、陶瓷天线，该部分实现了有线网络与无线网络的连接；电子背包由电刺激器、第二微处理器、陶瓷天线、模拟MEMS麦克风、九轴传感器和微电池组成，体积小、质量轻，可背伏在甲虫身上，是整个电路的执行装置。本实用新型可实时改变刺激信号参数并同时显示下位机采集到的昆虫飞行信息，且满足低成本、高可靠性、低功耗、多功能等设计要求。
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公开(公告)号：CN210572369U
公开(公告)日：2020-05-19
申请号：CN201920979954.X
申请日：2019-06-27
Applicant: 东南大学
Abstract: 本实用新型提出一种基于隧道磁阻效应的MEMS微流速传感器主要包括圆柱型硅毛发体、第一隧道磁阻传感器、第二隧道磁阻传感器、绝缘层和底层基座组成；其中，绝缘层位于底层基座的正上方，圆柱型硅毛发体安装在绝缘层的中心位置，第一隧道磁阻传感器和第二隧道磁阻传感器安装在绝缘层的两侧并关于圆柱型硅毛发体对称分布，圆柱型硅毛发体的顶部包含刻蚀的电磁激励线圈用于产生磁场。采用高灵敏度的隧道磁阻效应进行流速信号检测，具有饱和磁场低、工作磁场小、灵敏度高、温度系数小、测量带宽大等优点，同时提出的基于隧道磁阻效应的MEMS微流速传感器具有结构简单、体积小、灵敏度高、测量精度高等优点。
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公开(公告)号：CN202013362U
公开(公告)日：2011-10-19
申请号：CN201120051348.5
申请日：2011-03-01
Applicant: 东南大学
Abstract: 本实用新型公开了一种三轴集成硅微谐振式加速度计，包括上层微加速度计结构和下层玻璃基座；所述微加速度计结构键合在玻璃基座上，玻璃基座上设有信号引线，微加速度计结构上的电极与相应的信号引线连接，所述上层微加速度计结构包括位于左边的全解耦双轴硅微谐振式加速度计和位于右边的单轴硅微谐振式加速度计。本实用新型结构简单、紧凑、体积较小，交叉轴间机械耦合和电气耦合较小，更利于加工和封装。
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公开(公告)号：CN211718326U
公开(公告)日：2020-10-20
申请号：CN201920549684.9
申请日：2019-04-22
Applicant: 东南大学
Abstract: 本实用新型公开一种基于谐振器振幅比检测的双轴流体敏感装置，平面外立体毛发粘合在中层硅微传感器的几何中心，中层微硅传感器的结构由一个质量块基座、四个相同的弱耦合谐振器组和四个相同的平面外运动抑制弹性结构组成；其中四个相同的弱耦合谐振器组对称分布在质量块基座的上、下、左、右四个方向；弱耦合谐振器组通过二级力放大杠杆的输入直梁与质量块基座相连；四个相同的平面外运动抑制弹性结构对称分布在质量块基座的左上、右上、右下、左下四个方向，平面外运动抑制弹性结构通过平面外运动抑制弹性U形梁与质量块基座相连。本实用新型通过将弱耦合谐振器组和平面外运动抑制弹性结构组呈对称结构布置，实现平面内流速的双轴敏感。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN210720465U
公开(公告)日：2020-06-09
申请号：CN201921539883.8
申请日：2019-09-17
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/097 , B81B7/02
Abstract: 本实用新型公开了一种基于石墨烯谐振器的平面差分式加速度计装置的设计方案，提出了一种三层结构设计方案：上下两层为设有信号引线的玻璃衬底，中层为差分式石墨烯加速度计结构。中层差分式石墨烯加速度计结构由两个结构相同但反相布置的石墨烯谐振器、两个中部支撑块和一个外部支撑块组成。石墨烯谐振器的支撑块通过连接短梁跟中部支撑块相连，中部支撑块再通过另一连接短梁跟外部支撑块相连，最后外部支撑块通过四个顶点处的锚点固定在上下两层玻璃衬底上。本实用新型通过检测差分式石墨烯谐振器谐振频率的变化，实现对加速度的敏感。本实用新型具有体积小、重量轻、结构紧凑、灵敏度高、抗干扰能力强等优点。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN202119447U
公开(公告)日：2012-01-18
申请号：CN201120224033.6
申请日：2011-06-29
Applicant: 东南大学
IPC: G01C25/00
Abstract: 本实用新型公开一种硅微动调混合陀螺仪闭环检测装置，其包括信号器、力矩器和信号处理模块；信号器包括2对信号检测电极；力矩器包括2对力矩反馈电极；分别用于敏感陀螺仪上2个轴的输入角速度和平衡输入力矩。信号处理模块包括调制载波信号、预载高压、前置放大电路、信号解调电路、差分放大电路和交直流叠加电路。信号检测电极检测到的两轴信号通过前置放大后进行信号解调；每个解调后检测信号分别通过两个差分放大电路，与预载高压进行同相和反相运算后放大输出，输出的反馈电压信号通过交直流叠加电路与一对反相调制载波信号叠加，然后输出至力矩反馈电极。本实用新型采用电容检测和静电力反馈形式解决了硅微动调混合陀螺仪的调谐难题。
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公开(公告)号：CN211826130U
公开(公告)日：2020-10-30
申请号：CN201921540302.2
申请日：2019-09-17
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/097 , B81B7/02
Abstract: 本实用新型公开了一种基于双层静电弱耦合效应的石墨烯谐振式加速度计装置，提出了一种三层结构方案：上层为透明玻璃基底，中层为石墨烯加速度敏感结构，下层为透明玻璃基底。上层透明玻璃基底由锚点、信号引线、栅极电极、引出电极组成，与中层外部支撑框硅结构通过锚点固定在一起；中层石墨烯加速度敏感结构设有中层外部支撑块、连接短梁、中部支撑块、支撑块、扭梁结构、石墨烯带、质量块、源极电极、漏极电极。其中部支撑块通过连接短梁与外部支撑块连接；下层透明玻璃基底由锚点、信号引线、栅极电极、引出电极组成，与中层外部支撑框硅结构通过锚点固定在一起。本实用新型提出的方案结构合理，简单、易于加工实现，同时具有差分检测、检测难度低、灵敏度高、抗共模误差能力强等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN211626499U
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN201921462193.7
申请日：2019-09-04
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5621 , G01R33/09 , G01R33/00
Abstract: 本实用新型公开了一种基于隧道磁阻效应的高精度双质量硅微陀螺仪装置，该装置包括上、下两层：上层为硅敏感结构、下层为布有金属电极和隧道磁阻检测模块的玻璃基底结构。上层结构通过锚点键合在下层结构之上。其中，上层结构由两个完全相同的陀螺仪子结构、一对支撑梁以及一对锚点构成；下层结构由隧道磁阻检测模块、玻璃基底、驱动电极、驱动检测电极、正交电极、线圈输入接口、线圈输入电极、线圈输出接口、线圈输出电极、公共电极以及信号引线构成。本实用新型提出硅微陀螺仪使用微型线圈作为励磁机构，磁场稳定、场强可控、集成度高，同时使用差分式隧道磁阻检测结构，具有抗共模误差能力强、灵敏度高、测量精度高等优点。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN210323082U
公开(公告)日：2020-04-14
申请号：CN201920799916.6
申请日：2019-05-30
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/105 , G01P21/00
Abstract: 本实用新型公开了基于反馈电容力矩器的隧道磁阻式加速度计闭环控制电路。包括隧道磁阻式加速度计结构、隧道磁阻传感器模块、仪表放大电路、解调滤波电路、PID控制电路、反馈力施加电路、加速度信号。隧道磁阻式加速度计具有灵敏度高、噪声性能好的优点；隧道磁阻传感器模块采用推挽式桥结构，可增大隧道磁阻传感器的检测灵敏度，抑制信号中的共模干扰；同时隧道磁阻传感器模块采用交流调制的工作方式，可消除空间中磁场的干扰；利用PID控制电路，进行误差信号的跟踪，直至误差信号消失，可快速的实现闭环系统的校正；采用差动电容力矩器实现反馈力校正，可将惯性质量块约束在中心位置附近，实现隧道磁阻式加速度计的闭环控制，增大系统的稳定性。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
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公开(公告)号：CN206132803U
公开(公告)日：2017-04-26
申请号：CN201621166335.1
申请日：2016-10-26
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/12
Abstract: 本实用新型公开了一种基于间隙改变的隧道磁阻效应加速度计装置，包括顶层结构、底层结构、第一锚点和第二锚点，顶层结构通过分别设置在底层结构两端的第一锚点和第二锚点支撑在底层结构上。本实用新型采用高灵敏度的隧道磁阻效应进行加速度信号检测，具有饱和磁场低、工作磁场小、灵敏度高、温度系数小，测量带宽大等优点，提出隧道磁阻效应加速度计结构方案简单、紧凑、体积较小、灵敏度高、测量精度高。
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