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公开(公告)号：CN109142785A
公开(公告)日：2019-01-04
申请号：CN201811049089.5
申请日：2018-09-10
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/08 , G01P15/105 , G01P15/13
CPC classification number: G01P15/0894 , G01P15/105 , G01P15/131
Abstract: 本发明提供如了一种基于3D打印的水平轴敏感的隧道磁阻加速度计装置，包括：顶部隧道磁阻传感元件结构、中部敏感部件结构、底部隧道磁阻传感元件结构，中部敏感部件结构为3D打印而成；中部结构通过3D立体支撑梁支撑在基座之上，分别位于中部结构的上下两侧，且关于中部结构上下对称布置。本发明采用3D打印代替硅微加工工艺，尺寸精确、加工便捷；敏感部件采用3D立体支撑梁，在测量上具有可靠性好、灵敏度高、抗干扰能力强等优点，支撑梁和质量块都使用尼龙材料进行3D打印而来，其在水平方向有较好的位移能力，同时在垂直方向有更好的抑制能力；立体支撑梁采用双层“U型”梁相反布置，能有效增强敏感部件的稳定性，提高装置的可靠性。
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公开(公告)号：CN108493271A
公开(公告)日：2018-09-04
申请号：CN201810203249.0
申请日：2018-03-13
Applicant: 东南大学
IPC: H01L31/024 , H01L25/16 , H01L35/28
Abstract: 本发明提供了一种用于非制冷型红外探测器的芯片级超微型制冷机，包括外层封装层结构和内层制冷机结构，外层封装层结构包括真空封装壳、防辐射层、散热层，真空封装壳顶部设置有红外敏感窗口；内层制冷机结构包括上层结构、中层结构、下层结构。本发明通过对纳米薄膜热电层的加热和制冷，维持温度恒定，有效阻断支撑结构与外部环境通过基座进行热交换，同时在基座底部铺设了隔热层，进一步抑制了外部环境的热传导。环形悬臂梁设置和支撑结构进一步防止热传导，同时隔热层设置又进一步抑制了内部热传导交换，实现红外探测器与外界环境的热隔离。同时，通过沉积、生长防辐射层，抑制热辐射，并采用真空封装的方法，阻止内外部的热对流交换。
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公开(公告)号：CN107807255A
公开(公告)日：2018-03-16
申请号：CN201710975734.5
申请日：2017-10-19
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/08
Abstract: 本发明公开了一种基于微型液压放大的隧道磁阻式加速度计装置，包括顶层加速度转换结构、中间层液压放大结构和底层信号敏感结构，顶层加速度转换结构包括质量块、质量块基板；中间层液压放大结构包括屏蔽膜、液压放大器、液压放大结构体；底层信号敏感结构包括隧道磁阻励磁结构、第一隧道磁阻传感器、第二隧道磁阻传感器、间距调整电极、绝缘层、基座。本发明的基于微型液压放大的隧道磁阻式加速度计装置，基于微型液压放大和间隙改变磁场强度的隧道磁阻式加速度计首次在加速度计上集成微型液压放大器，既保证上部质量块可以获得较大的运动角度(大量程)，又通过液压放大器放大位移，具有结构简单、灵敏度高、测量精度高等优点。
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公开(公告)号：CN108592900B
公开(公告)日：2021-05-18
申请号：CN201810394218.8
申请日：2018-04-27
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5656
Abstract: 本发明提供一种四立柱体状质量块硅微机械陀螺仪，包括上层质量块结构、中层硅微传感器结构、下层衬底结构，上层质量块结构包括四个圆柱体质量块，所述四个圆柱体质量块分别粘合在硅微传感器结构的四个质量块托盘中心，中层硅微传感器结构通过锚点键合在下层衬底上；中层微硅传感器结构包括位于中心的检测子结构、连接在检测子结构四周的四个质量块托盘、连接在相邻两质量块托盘之间的驱动子结构，相邻两质量托盘之间还通过检测耦合梁连接；下层衬底上设有电极引线。本陀螺仪能够实现垂直轴角速度敏感，具有驱动及检测频率低，灵敏度高等优点。
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公开(公告)号：CN110658753A
公开(公告)日：2020-01-07
申请号：CN201910875106.9
申请日：2019-09-17
Applicant: 东南大学
IPC: G05B19/042
Abstract: 本发明公开了基于电刺激的昆虫飞行行为控制的电路装置，该装置由上位机、协调器、电子背包三部分组成，其中上位机通过串口与协调器连接，协调器与电子背包采用无线通信的方式连接。上位机基于Labview平台实现，通过串口向下位机发送飞行指令；协调器部分主要包括USB/串口电路、第一微处理器、陶瓷天线，该部分实现了有线网络与无线网络的连接；电子背包由电刺激器、第二微处理器、陶瓷天线、模拟MEMS麦克风、九轴传感器和微电池组成，体积小、质量轻，可背伏在甲虫身上，是整个电路的执行装置。本发明可实时改变刺激信号参数并同时显示下位机采集到的昆虫飞行信息，且满足低成本、高可靠性、低功耗、多功能等设计要求。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN108225295A
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201711308363.1
申请日：2017-12-11
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5621
CPC classification number: G01C19/5621
Abstract: 本发明公开了一种基于音叉驱动效应的三轴微陀螺仪，包括上层陀螺仪结构和下层玻璃衬底，上层陀螺仪结构由左机械结构、右机械结构、中间机械结构、上横梁、下横梁、短梁以及锚点组成，中间机械结构中设计了基于音叉驱动的转向机构，通过对左、右机械结构的X轴单一方向驱动，实现其X轴的简谐驱动和中间机械结构敏感质量Y轴的简谐驱动，保证了不同轴之间驱动频率的一致性。当外界有角速度输入时，敏感质量受到科里奥利力而产生位移。本发明采用双敏感质量设计和变间距式电容差分检测，能够抑制温度，结构应力，加速度等共模干扰；本发明结构对称布置，稳定性好，抗干扰能力强。
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公开(公告)号：CN108387755B
公开(公告)日：2020-07-07
申请号：CN201810110188.3
申请日：2018-02-05
Applicant: 东南大学
IPC: G01P5/24
Abstract: 本发明公开了一种基于毛发结构的谐振式流速传感器测控装置，包括：谐振式毛发传感器、两个驱动测控电路、激励产生电路，所述谐振式毛发传感器上设有两组信号敏感电极以及驱动电极；所述每个驱动测控电路包括C/V检测电路、精密整流电路、滤波采样电路、FPGA驱动控制模块、DA驱动接口模块、比较器模块；所述谐振式毛发传感器的敏感电极与C/V检测电路、精密整流电路、滤波采样电路、FPGA驱动控制模块、DA驱动接口模块依次连接后输入至驱动电极；所述C/V检测电路的输出同时连接至比较器模块，且比较器模块连接至FPGA驱动控制模块，FPGA驱动控制模块连接至激励产生电路。本发明将幅值和频率分开处理控制，避免了幅值和频率之间的干扰，有效地提高了测量的精度。
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公开(公告)号：CN108387755A
公开(公告)日：2018-08-10
申请号：CN201810110188.3
申请日：2018-02-05
Applicant: 东南大学
IPC: G01P5/24
Abstract: 本发明公开了一种基于毛发结构的谐振式流速传感器测控装置，包括：谐振式毛发传感器、两个驱动测控电路、激励产生电路，所述谐振式毛发传感器上设有两组信号敏感电极以及驱动电极；所述每个驱动测控电路包括C/V检测电路、精密整流电路、滤波采样电路、FPGA驱动控制模块、DA驱动接口模块、比较器模块；所述谐振式毛发传感器的敏感电极与C/V检测电路、精密整流电路、滤波采样电路、FPGA驱动控制模块、DA驱动接口模块依次连接后输入至驱动电极；所述C/V检测电路的输出同时连接至比较器模块，且比较器模块连接至FPGA驱动控制模块，FPGA驱动控制模块连接至激励产生电路。本发明将幅值和频率分开处理控制，避免了幅值和频率之间的干扰，有效地提高了测量的精度。
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公开(公告)号：CN109142785B
公开(公告)日：2021-03-23
申请号：CN201811049089.5
申请日：2018-09-10
Applicant: 东南大学
IPC: G01P15/08 , G01P15/105 , G01P15/13
Abstract: 本发明提供如了一种基于3D打印的水平轴敏感的隧道磁阻加速度计装置，包括：顶部隧道磁阻传感元件结构、中部敏感部件结构、底部隧道磁阻传感元件结构，中部敏感部件结构为3D打印而成；中部结构通过3D立体支撑梁支撑在基座之上，分别位于中部结构的上下两侧，且关于中部结构上下对称布置。本发明采用3D打印代替硅微加工工艺，尺寸精确、加工便捷；敏感部件采用3D立体支撑梁，在测量上具有可靠性好、灵敏度高、抗干扰能力强等优点，支撑梁和质量块都使用尼龙材料进行3D打印而来，其在水平方向有较好的位移能力，同时在垂直方向有更好的抑制能力；立体支撑梁采用双层“U型”梁相反布置，能有效增强敏感部件的稳定性，提高装置的可靠性。
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公开(公告)号：CN108225295B
公开(公告)日：2021-01-05
申请号：CN201711308363.1
申请日：2017-12-11
Applicant: 东南大学
IPC: G01C19/5621
Abstract: 本发明公开了一种基于音叉驱动效应的三轴微陀螺仪，包括上层陀螺仪结构和下层玻璃衬底，上层陀螺仪结构由左机械结构、右机械结构、中间机械结构、上横梁、下横梁、短梁以及锚点组成，中间机械结构中设计了基于音叉驱动的转向机构，通过对左、右机械结构的X轴单一方向驱动，实现其X轴的简谐驱动和中间机械结构敏感质量Y轴的简谐驱动，保证了不同轴之间驱动频率的一致性。当外界有角速度输入时，敏感质量受到科里奥利力而产生位移。本发明采用双敏感质量设计和变间距式电容差分检测，能够抑制温度，结构应力，加速度等共模干扰；本发明结构对称布置，稳定性好，抗干扰能力强。
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