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公开(公告)号：CN105698687A
公开(公告)日：2016-06-22
申请号：CN201610222294.1
申请日：2016-04-12
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G01B11/02
CPC classification number: G01B11/022
Abstract: 一种飞秒激光等离子体通道长度的测量装置及测量方法，该装置包括：钛宝石激光器、聚焦透镜、金属法拉第笼、光束收集装置、高压电源、有机玻璃衬底、绝缘塑料杆、金属锥形电极和数码相机。本发明利用飞秒激光成丝诱导电晕放电，用电场将飞秒激光等离子体通道内部电离程度加强，使极不易被探测的弱电离区在电场的作用下变得易探测，并用数码相机拍摄激光诱导电晕放电的荧光图片，从而对飞秒激光等离子通道进行精确测量，简单易行，可直接测量飞秒激光等离子体通道的长度，为测量飞秒激光等离子体长度提供了更加精确、简便的方法。
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公开(公告)号：CN105652463A
公开(公告)日：2016-06-08
申请号：CN201610057039.6
申请日：2016-01-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G02B27/46
CPC classification number: G02B27/46
Abstract: 本发明涉及一种利用近匀强磁场抑制真空滤波器堵孔效应的方法，解决了目前传统真空滤波器由于高功率脉冲激光聚焦后的焦斑旁瓣(下称“‘裙边’”)作用于滤光元器件(下称“小孔”)的边缘产生的自由扩散的金属等离子体阻隔了激光脉冲后沿的通过而无法完美滤波的问题。本发明基于传统的真空滤波器，在其小孔处施加一定大小的近匀强磁场，使得高功率脉冲激光聚焦的裙边在小孔边缘产生的金属等离子体黏附在磁感线方向运动，降低了小孔中心处的等离子体密度，有效地解决了传统真空滤波器存在的堵孔效应，从而实现了传统真空滤波器良好滤波的作用。本发明具有调节方便、简单高效、实用性强等特点。
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公开(公告)号：CN103427323B
公开(公告)日：2016-02-10
申请号：CN201310371236.1
申请日：2013-08-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种单一高次谐波紫外单色光源，包括800nm强场偏振激光、光束整形器、光能量调控器、光相位调制器、汇聚透镜、长程相互作用气体盒、金属铝膜、真空腔体等组成。本发明能产生单一高次谐波。这种高单色高相干的紫外辐射可用于微纳结构的高精度加工和探测，以及高精度的全息相干成像等领域，应用广泛。
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公开(公告)号：CN105259667A
公开(公告)日：2016-01-20
申请号：CN201510757417.7
申请日：2015-11-09
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC classification number: G02B27/42 , G02B5/1819 , G02B7/00 , G02B27/62
Abstract: 本发明涉及飞秒脉冲展宽，是一种柱面展宽器光栅对的调节方法,调节系统包括柱面凸面镜、柱面凹面镜、宽带光源、小孔光阑、白片、光纤光谱仪及其安装的调整平台，待调整的第一光栅和第二光栅。第一光栅和第二光栅的调节采用类似的方法。调节光栅垂直于宽带光源的输出光，固定光纤光谱仪探头的位置，旋转光栅，使得衍射光的峰值波长与理论计算值相同，利用衍射光调节光栅对平行。本发明具有操作简单，精度高，适用范围广，不受光栅水平和竖直错开距离限制，光栅对的工作面可以朝向同一方向的优点。
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公开(公告)号：CN104914680A
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201510270184.8
申请日：2015-05-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于溶胶射流靶的LPP-EUV光源系统，由溶胶发生装置、溶胶喷射-循环装置、LPP-EUV发生装置和泵浦激光源所构成。首先由溶胶发生装置产生溶胶，再经溶胶喷射-循环装置而在LPP-EUV发生装置内形成溶胶射流靶。由泵浦激光源输出泵浦激光，进入LPP-EUV发生装置后作用于溶胶射流靶。本发明基于溶胶射流靶增强LPP-EUV光源的可靠性与稳定性，为EUV光刻系统的高效稳定运行提供有力保障。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN103311791B
公开(公告)日：2015-09-16
申请号：CN201310180241.4
申请日：2013-05-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种飞秒光学参量放大器，其特点是通过在光学参量放大器级间插入双折射晶体片在时间上将信号光与闲置光分离，然后利用泵浦激光脉冲的超短时间特性仅选择对其中一路激光进行放大，使得在每一级光学参量放大中泵浦光与信号光都可以工作在完全共线的条件下，消除空间啁啾，提高了转换效率。实验表明，本发明具有转换效率高、无空间啁啾和聚焦能力强的优点。
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公开(公告)号：CN103259165B
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：CN201310141432.X
申请日：2013-04-23
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种多通激光晶体通光口径扩大装置及其安装方法，该装置包括激光晶体、固定架和第一个螺栓和第二个螺栓，上述元部件的位置关系如下：所述的固定架包括两个相同的夹具，该夹具呈内直角而外圆的柱体结构，两个夹具的体内设有垂直于两个夹具的结合面的第一个螺孔和第二个螺孔，两个螺栓穿过所述的第一个螺孔和第二个螺孔后构成内具方形长孔的外圆柱体，所述的方形长孔与所述的外圆柱同心，在所述的固定架的方形内孔中放置拼接后的激光晶体，通过所述的第一个和第二个螺栓锁紧。本发明有效地扩大了激光晶体的口径，同时可以减小寄生振荡及热效应，具有易于调节，安装方便，结构稳固，成本较低的特点。
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公开(公告)号：CN104570377A
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：CN201510005270.6
申请日：2015-01-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
CPC classification number: G02B27/4233 , G02B5/08 , G02F1/3501 , H01S3/10
Abstract: 一种激光啁啾脉冲分束环路光栅压缩器，包括由互相平行的第一光栅和第二光栅构成的第一光栅对，由互相平行的第三光栅和第四光栅构成的第二光栅对，所述的第三光栅和第四光栅是所述的第一光栅和第二光栅镜像，还包括分束镜组和转折镜组。本发明中大能量激光啁啾脉冲被分光成左右两束，在环路布局的光栅压缩器中分别按顺时针方向和逆时针方向进行脉冲宽度压缩。使得光栅压缩器能够突破光栅破坏阈值的限制，显著提高激光啁啾脉冲放大系统的超强超短脉冲能量输出，也可以用于获得两个精确同步的超强超短激光脉冲。
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公开(公告)号：CN103151698B
公开(公告)日：2015-02-18
申请号：CN201310043867.0
申请日：2013-02-04
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种时域双峰脉冲泵浦抑制钛宝石多通放大器寄生振荡的方法，该方法利用了时域双峰泵浦脉冲的特性,调整种子光的延时以及多通放大器中单通时间间隔放大800nm种子光，使得钛宝石晶体在整个放大过程中的横向增益保持在一个很低的水平上，有效地抑制了钛宝石晶体中的寄生振荡，提高了种子光的放大效率。本发明具有调节方便、简单高效，实用性强的特点。
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