公开(公告)号：CN103427323A

公开(公告)日：2013-12-04

申请号：CN201310371236.1

申请日：2013-08-22

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 尉鹏飞 ,  曾志男 ,  苗境 ,  姜甲明 ,  葛晓春 ,  李闯 ,  李儒新

IPC: H01S3/10 ,  G02F1/35

Abstract: 一种单一高次谐波紫外单色光源，包括800nm强场偏振激光、光束整形器、光能量调控器、光相位调制器、汇聚透镜、长程相互作用气体盒、金属铝膜、真空腔体等组成。本发明能产生单一高次谐波。这种高单色高相干的紫外辐射可用于微纳结构的高精度加工和探测，以及高精度的全息相干成像等领域，应用广泛。

公开(公告)号：CN103427323B

公开(公告)日：2016-02-10

申请号：CN201310371236.1

申请日：2013-08-22

Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所

Inventor： 尉鹏飞 ,  曾志男 ,  苗境 ,  姜甲明 ,  葛晓春 ,  李闯 ,  李儒新

IPC: H01S3/10 ,  G02F1/35

Abstract: 一种单一高次谐波紫外单色光源，包括800nm强场偏振激光、光束整形器、光能量调控器、光相位调制器、汇聚透镜、长程相互作用气体盒、金属铝膜、真空腔体等组成。本发明能产生单一高次谐波。这种高单色高相干的紫外辐射可用于微纳结构的高精度加工和探测，以及高精度的全息相干成像等领域，应用广泛。