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公开(公告)号：CN118502107A
公开(公告)日：2024-08-16
申请号：CN202410456020.3
申请日：2024-04-16
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种高功率激光多通放大器光路校正方法，其特征在于，在增益介质表面附近设置可变光阑，增益介质和可变光阑中心共轴且安装在平移台上，移动平移台使得可变光阑中心移至增益介质原中心位置处，将可变光阑口径调节至与激光光斑大小一致，通过调节泵浦激光反射镜使得泵浦激光脉冲均可通过可变光阑，通过调节种子激光反射镜使得种子激光脉冲多次通过可变光阑，然后移动平移台使得增益介质移至原中心位置处，并将可变光阑口径调节至不影响激光传输。该光路校正方法简单易行，移动增益介质时对多通放大器内光路无影响，通过增益介质精确定位可以提升多通放大器输出光束质量。
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公开(公告)号：CN103928837B
公开(公告)日：2017-01-25
申请号：CN201410160166.X
申请日：2014-04-21
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种高功率激光分离啁啾脉冲多程放大系统，由激光种子脉冲源、脉冲展宽器、DPA再生腔、双通DPA模块和脉冲压缩器构成。激光种子脉冲源输出种子脉冲，首先经脉冲展宽器展宽为啁啾脉冲，然后通过DPA再生腔和双通DPA模块对其进行功率放大，最终利用脉冲压缩器对放大后的啁啾脉冲进行压缩。该系统通过在CPA框架内串联多级DPA模块的方式，且DPA模块具有多程脉冲放大的功能，可提高其脉冲功率放大能力且有效抑制非线性效应的影响。
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公开(公告)号：CN103901699A
公开(公告)日：2014-07-02
申请号：CN201410056863.0
申请日：2014-02-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 一种基于脉冲分割的飞秒激光脉冲宽度压缩装置，特点在于其构成是在激光脉冲行进的光路上包括依次的第一色散补偿装置、脉冲分割装置、第二色散补偿装置、光谱展宽装置、脉冲合束装置和第三色散补偿装置。本发明适用于将能量远大于10mJ的，乃至焦耳量级的飞秒激光脉冲压缩至仅包含数个光周期的宽度的飞秒激光脉冲。
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公开(公告)号：CN112162466A
公开(公告)日：2021-01-01
申请号：CN202010965090.3
申请日：2020-09-15
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明一种用于EUV光源中液滴靶的一体化锡原料罐装系统,基于极紫外(EUV)光源中液滴靶对锡材料的要求，主要由熔锡罐、晶纤维加热腔、真空泵、液位开关、热电偶、氮气瓶、储液罐、废液罐、高温球阀及管道组件、加热套、加热带、过滤器、自动控制装置等构成，集熔锡、过滤与罐装于一体，采用电阻丝加热方式熔锡，整个系统与氮气保护气氛及真空泵相连。通过调节熔锡罐内的气体压力，熔化后的锡液经过滤后流入储液罐，整个过程采用真空熔炼，惰性气体保护下罐装，极大程度地避免了氧化。此外，通过控制熔锡罐内的液位，保证最后1cm锡液不流入储液罐中，从而进一步降低锡液中的氧化物含量。该装置集成化程度高，操作安全方便，适用于EUV光源锡原料的罐装。
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公开(公告)号：CN111736433A
公开(公告)日：2020-10-02
申请号：CN202010660667.X
申请日：2020-07-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于椭球面镜-球面镜组合光收集的LPP-EUV光源系统，包括泵浦激光脉冲源、带有光学窗片的真空室、凸透镜、靶材、椭球面镜和球面镜。由泵浦激光脉冲源产生泵浦激光脉冲，泵浦激光脉冲通过光学窗片进入真空室，再经凸透镜聚焦而作用于靶材。泵浦激光脉冲作用于靶材而产生EUV光辐射，所产生的EUV光辐射经球面镜和椭球面镜反射而聚焦。本发明采用椭球面镜-球面镜组合的方式提高EUV光收集效率，从而进一步提升LPP-EUV光源的功率输出能力。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN111509549A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010278955.9
申请日：2020-04-10
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/11
Abstract: 一种高峰值功率飞秒激光负/正啁啾脉冲级联放大系统，其特点在于该系统是以负啁啾脉冲放大为前端，以正啁啾脉冲放大为后端的混合式高峰值功率飞秒激光系统。系统包括，钛宝石锁模振荡器、负啁啾脉冲放大前端、脉冲净化装置、正啁啾脉冲放大后端。本发明不仅可以提升高峰值功率飞秒激光的对比度,而且在不引入高阶色散补偿元件的条件下，能够有效地补偿激光系统的残余四阶色散，最终实现对比度高于10-12、脉宽为傅里叶变换极限值的高峰值功率飞秒激光输出。此外，本发明还能抑制了激光放大过程中的光谱红移，从而获得更宽的放大光谱和更短的傅里叶变换极限脉宽。
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公开(公告)号：CN104914680B
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：CN201510270184.8
申请日：2015-05-25
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: G03F7/20
Abstract: 一种基于溶胶射流靶的LPP-EUV光源系统，由溶胶发生装置、溶胶喷射-循环装置、LPP-EUV发生装置和泵浦激光源所构成。首先由溶胶发生装置产生溶胶，再经溶胶喷射-循环装置而在LPP-EUV发生装置内形成溶胶射流靶。由泵浦激光源输出泵浦激光，进入LPP-EUV发生装置后作用于溶胶射流靶。本发明基于溶胶射流靶增强LPP-EUV光源的可靠性与稳定性，为EUV光刻系统的高效稳定运行提供有力保障。
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公开(公告)号：CN102545011A
公开(公告)日：2012-07-04
申请号：CN201210042435.3
申请日：2012-02-22
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
IPC: H01S3/10
Abstract: 一种超强超短激光脉冲超连续谱的调控装置及其调控方法，利用一束激光G(t)经过可变衰减片和一个时间延迟线后，与经过可移动反射镜的另一束激光G(f)平行入射到一个凹面镜上，G(t)与G(f)经凹面镜反射后交叉聚焦。在激光成丝所产生的等离子体通道内，由于双光束干涉而形成一个空间等离子体光栅，利用该等离子体光栅能够增强成丝过程中所产生的超连续谱，并且可以实现超连续谱能量在两束激光之间的控制与转移。本发明装置和方法可以在超强激光场中对超短脉冲的光谱主动操控，且所涉及的光路结构简单，调节方便。
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公开(公告)号：CN113644528A
公开(公告)日：2021-11-12
申请号：CN202110819626.5
申请日：2021-07-20
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种高峰值功率飞秒激光的多路分束装置和方法，该装置主要包括光栅压缩器、分束系统、延迟系统、终端压缩系统。放大的纳秒激光先经光栅压缩器压缩至皮秒量级，然后经分束系统分束为多路皮秒激光，多路皮秒激光经延迟系统后注入到终端压缩系统进行分路压缩，输出多路高峰值功率飞秒激光。本发明将激光的压缩分为两个阶段，并且在中间过程完成多路分束，大大降低了现有技术难度，节约成本，具有调节方便、简单高效、实用性强等特点。
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公开(公告)号：CN111509547A
公开(公告)日：2020-08-07
申请号：CN202010228488.9
申请日：2020-03-27
Applicant: 中国科学院上海光学精密机械研究所
Abstract: 本发明公开了一种超高峰值功率飞秒激光级联混合压缩系统，该系统包括光栅压缩器、扩束器和啁啾镜压缩器，放大激光先经光栅压缩器压缩到皮秒量级，再经扩束器扩束，最后经啁啾镜压缩器压缩到飞秒量级输出。本发明适用于超高峰值功率飞秒激光的压缩，可以大大降低现有技术的难度，节约成本，具有调节方便、简单高效、实用性强等特点。
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