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公开(公告)号：CN101734611B
公开(公告)日：2011-08-31
申请号：CN200910241981.8
申请日：2009-12-16
Applicant: 北京大学
IPC: H01L21/302 , B81C1/00 , B82B3/00
Abstract: 本发明公开了一种基于无掩膜深反应离子刻蚀制备黑硅的方法。所述方法包括：对所述制备黑硅的方法的所采用的设备进行初始化和等离子稳定，以使等离子体进行辉光放电；控制所述深反应离子刻蚀制备黑硅的工艺参数，采用刻蚀与钝化的方式交替对硅片进行处理；其中，所述参数包括：等离子体气体流量、刻蚀平板功率、钝化平板功率、线圈功率和刻蚀、钝化周期、温度。本发明直接对硅片表面进行等离子体处理，通过调节选取合适的刻蚀工艺参数，在无需任何纳米掩膜的条件下即可在硅片表面生成大范围、高密度的纳米结构。并且，该制备黑硅的方法效率高、成本低，且能够与其他微加工工艺集成。
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公开(公告)号：CN101577174B
公开(公告)日：2011-07-20
申请号：CN200910080540.4
申请日：2009-03-20
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种静电驱动导体薄膜的MEMS可调电感及制备方法。本发明采用体硅和表面微机械加工技术相结合的三维微机械加工方法，利用体硅微机械加工技术的方法刻蚀硅片V型槽，在V型槽内制作静电驱动的固定极板，利用表面微机械加工技术的方法制备可调电感的静电驱动的可动导体薄膜(包括“蟹脚”状悬臂梁和导体薄膜平板)和平面螺旋线圈。本发明采用静电驱动可动导体薄膜，对微电感的电感量进行连续可调，可调范围大。可调电感器件尺寸小、加工工艺与IC工艺相兼容，易于封装，适于大规模生产，在无线通讯领域有广泛应用价值。
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公开(公告)号：CN101830425A
公开(公告)日：2010-09-15
申请号：CN200910237298.7
申请日：2009-11-12
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明涉及一种可变刚度梁及其制备方法、致动方法，该可变刚度梁包括：框架结构；嵌套于所述框架结构中的填充部分；位于所述填充部分上的绝缘层；及位于所述绝缘层上的加热部件。本发明的可变刚度梁具有单片集成、自适应性等技术特点，应用面广，附加值高，可克服现有技术的不足。
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公开(公告)号：CN101229432A
公开(公告)日：2008-07-30
申请号：CN200810000930.1
申请日：2008-01-08
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明公开了一种动作仿真控制方法及其系统，其方法为利用信号采集器采集运动对象的运动信息，将其转换为动作图形后与定义的动作图形进行匹配，发送匹配成功的动作图形对应的控制指令控制游戏中的角色动作，实现仿真；本发明的一种动作仿真控制系统包括一硬件系统用于动作信息的采集和传输，一软件系统，用于动作信息的处理。本发明的仿真系统不仅可靠性强，成本低，而且体积小，设计灵活。
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公开(公告)号：CN111898174B
公开(公告)日：2024-10-18
申请号：CN202010758940.2
申请日：2020-07-31
Applicant: 北京大学
IPC: G06F30/12 , G06F111/20
Abstract: 本发明提供了一种基于标准化模块及磁学式互连的自由可重构系统。该系统包括：标准传感模块、标准供能模块和标准底板处理电路，标准传感模块分别与标准供能模块和标准底板处理电路利用磁力辅助实现互连自对准，所述标准传感模块用户按需从标准传感模块库中自由选取，标准供能模块根据用户需求从标准供能模块库中自由选取，整个系统实现基于磁学互连的自由可重构。本发明的系统基于单套标准化可控工艺，兼备性能高效、可靠、抗干扰；用户可以根据不同应用场景随时随地“搭建”满足自身需求的集成化智能微系统，实现成本低、多次复用且简便易行的标准化应用，具有多功能、标准化、集成化、自供能、可重构等五大优势。
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Patent Agency Ranking
公开(公告)号：CN106449134B
公开(公告)日：2018-10-19
申请号：CN201610953666.8
申请日：2016-11-03
Applicant: 北京大学
Abstract: 一种基于激光图形化的自由式微型超级电容器及制造方法，属于微能源能量存储技术领域。自下而上的结构分别是固态电解质、柔性电极与金属集流体；在电纺丝纳米纤维上滴涂碳纳米管得到柔性电极。本发明提出的自由式微型超级电容器，与传统的三明治结构超级电容器相比，采用平面式叉指结构电极，极大的降低了器件厚度，提升了器件柔性，可以更好的与柔性电子器件集成，并且同时利用电纺丝纳米纤维高比表面积与碳纳米管高电导性的优势，制备轻便稳定的柔性电极，进一步提高了能量与功率密度。本发明与其他微型超级电容器相比，创新性的通过电解质转移的方式，无需额外衬底，进一步降低了器件的厚度，避免了复杂的转移工艺对器件带来可能的伤害。
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公开(公告)号：CN106876147A
公开(公告)日：2017-06-20
申请号：CN201710035582.0
申请日：2017-01-18
Applicant: 北京大学
Abstract: 本发明提供了一种基于织物的自充电能量设备及其制备方法。该设备包括：柔性电极、固态电解质和柔性隔膜，在柔性隔膜的两侧覆盖固态电解质，将两侧覆盖固态电解质的柔性隔膜夹于两片柔性织物电极中间，固态电解质与柔性织物电极接触，得到柔性超级电容器。将柔性织物电极与柔性超级电容器贴附于衣物表面，并且柔性织物电极与柔性超级电容器通过整流桥连接。本发明提供的基于织物的自充电能量设备，采用通用的柔性织物电极，易于贴附于各类衣物表面，可以同时应用于能量采集与能量存储器件中，制备工艺简单、集成度高。
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公开(公告)号：CN104021782B
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：CN201410189774.3
申请日：2014-05-06
Applicant: 北京大学
Abstract: 一种自驱动无噪音录音键盘乐器，包括键盘、液晶显示屏、r型复合式发电机、整流桥、测量设备、电脑软件。琴键的每一个白键下面对应一个r型复合式发电机，发电机的压电模块输出连接至整流桥，输出连接至液晶显示屏。发电机的摩擦模块输出连接至测量设备；其记录的电信号输出至电脑软件。当按下琴键时，压电模块产生形变，产生电能驱动相应的液晶显示屏，起到指示按键音的作用。当演奏乐曲时，摩擦模块产生形变，测量设备会记录摩擦模块产生的电信号，电脑软件将电信号转化为数字声音，将演奏的音乐转化为数字音乐信息，实现录音的效果。应用本键盘乐器进行录音时，仅录制琴键按下时产生的声音，其它外界声音一概不会被记录，从而实现无噪音录音。
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公开(公告)号：CN103944442B
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201310021766.3
申请日：2013-01-21
Applicant: 北京大学科技开发部
IPC: H02N1/04
CPC classification number: H02N1/04 , H02N1/002 , Y10T29/49004
Abstract: 本发明公开了一种折叠式微型震动发电机及其制造方法。本发电机包括一三明治可折叠基底，可折叠基底由两层挠性绝缘基底和位于两挠性绝缘基底之间的感应电极构成，感应电极由两互补的梳齿状电极构成；其中，可折叠基底上、下表面分别周期性分布第一摩擦结构单元、第二摩擦结构单元，第一摩擦结构单元与感应电极的奇数梳齿部分对应，第二摩擦结构单元与感应电极的偶数梳齿部分对应；可折叠基底可沿所述感应电极的梳齿间隙折成锯齿状，即构成折叠式微型震动发电机。本发明发电机可极大提高单位面积的输出功率且易于制备，同时利用折叠结构本身的挠性，在保证输出功率的基础上，有效提高能量转换效率。
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